JPS63227988A - 送風装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的コ （産業上の利用分野） この発明は圧力容器内の気体を循環させるのに好適する
送風装置に関する。

（従来の技術） たとえば、大気圧あるいは高気圧横放電励起形のガスレ
ーザ装置においては、ＣＯ２、Ｎ２、Ｈｅなどを混合し
てなるレーザガスあるいはエキシマ用のレーザガスが収
容された圧力容器を有する。この圧力容器内には陽極と
陰極とからなる主電極が離間対向して配置され、この主
電極で発生する放電エネルギによって上記レーザガスを
励起してレーザ光を発振させるようにしている。

上記圧力容器内には送風装置が設けられている。

この送風装置は圧力容器内のレーザガスを循環させ、一
対の主電極間の放電で励起されることによって劣化した
レーザガスを新鮮なものに交換し、レーザ光の発振効率
が低下するのを防止するというガスレーザ装置の性能を
維持する上で重要な役割を持つ。

上記送風装置はファンと、このファンを回転駆動する駆
動源とから構成されている。上記ファンは圧力容器の内
部に配設され、駆動源は外部に配設されている。したが
って、上記駆動源の動力を上記ファンに伝達するために
は、これらを機械的に結合しなければならない。しかし
ながら、上記ファンと駆動源とを機械的に結合する構造
にすると、たとえば上記駆動源の駆動軸などを圧力容器
の側壁に回転自在な状態で貫通させなければならないか
ら、上記圧力容器の気密が保てなくなるということがあ
る。

そこで、圧力容器の内部に配置されるファンと外部に配
置される駆動源とを磁気結合し、この駆動源の駆動力を
上記圧力容器の気密に破ることなく上記ファンに伝達す
ることが行われている。従来、このような磁気結合の構
造としては第４図に示すように圧力容器ａの内部に回転
自在に設けられたファンｂの一端に永久磁石からなる円
盤状の第１のカブラＣを取付ける一方、圧力容器ａの外
部に配設された駆動源ｄの回転軸ｅに永久磁石からなる
円盤状の第２のカブラｆを取付ける。そして、上記第１
のカブラＣと第２のカブラｆとを圧力容器ａの側壁ｇを
介して対向させることにより、これらの磁気結合で上記
回転軸ｅの回転に上記ファンｂを連動させるようにして
いる。

このような磁気結合構造によると、大きな伝達力を得る
ためには上記第１、第２のカブラｃ、　ｆの面積を増大
させなければならない。しかしながら、カブラｃＳｆの
面積を増大させると、装置全体が大形化してしまうから
、その面積をあまり大きくすることができず、結果的に
は十分な伝達力を存する磁気結合構造とすることができ
ないということがあった。

（発明が解決しようとする問題点） この発明は上記事情にもとずきなされたもので、その目
的とするところは、装置の大形化を招いたり、圧力容器
内の気密を損なうなどのことなく十分大きな駆動力で圧
力容器内部のファンを駆動することができるようにした
送風装置を提供することにある。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段及び作用）上記問題点を
解決するためにこの発明は、圧力容器の対向する一対の
側壁に両端を気密に接続して設けられたモータの固定子
と、この固定子の外周面に回転自在に設けられた永久磁
石からなるモータの回転子と、この回転子の外周面に設
けられたファン−＃楡と、上記固定子に給電して上記回
転子を回転駆動させるる電源部とを具備する。

そして、上記ファンをモータの回転子として回転駆動す
る。

（実施例） 以下、この発明の一実施例を第１図乃至第３図を参照し
て説明する。第３図はガスレーザ装置を示し、このガス
レーザ装置は圧力容器１を備えている。この圧力容器１
は円筒状の外筒２と内筒３とによって環状の空間４が形
成されてなる。この空間４にはＣ０２、Ｎ　２　、Ｈｅ
などのガスを混合したレーザガスが収容され、そのレー
ザガスは後述する送風装置５によって上記空間４を同図
に矢印ａで示す方向に強制的に循環させられるようにな
っている。また、上記空間４には上下方向に離間対向し
た一対の主電極６がレーザガスの流れ方向に対して交差
する方向に沿って配設されている。、これら主電極６間
を通過したレーザガスは上記空間４に配設された熱交換
器７によって冷却される。また、一対の主電極６の両側
には予備電離電極を構成する上部ビン電極８と下部ビン
電極９とがこれらの端部を離間対向させて配設されてい
る。

上記一対の主電極６は高電圧スイッチ１１と主コンデン
サ１２を介して高電圧パルス電源１３に接続され、また
上記上部ビン電極８と下部ピン電極９とはピーキングコ
ンデンサ１４を介して上記主電極６の回路に接続されて
いる。したがって、高電圧スイッチ１１が閉じられると
、上部ビン電極８と下部ピン電極９との間に生じる放電
で空間４の一対の主電極６間の部分が予備電離され、つ
いで一対の主電極６間に主放電が発生してレーザガスが
励起されることにより、レーザ光が図示せぬ共振器の出
力鏡から出力されるようになっている。

上記送風装置５は第１図と第２図とに示すように構成さ
れている。すなわち、圧力容器１の離間対向した側壁１
５の対応する箇所にはそれぞれ短管状の隔壁体１６が一
端を気密に固着して設けられている。これら隔壁体１６
には外周面にコイル１７が巻回されたモータの一部品と
しての固定子１８の両端が気密に接続されている。すな
わち、固定子１８は隔壁体１６を介して一対の側壁１５
間に架設されている。

上記コイル１７の端部は一方の隔壁体１６から圧力容器
１の外部に導出され、側壁１５の外面に設けられた制御
部１８を介して図示せぬ電源部に接続されていて、子の
電源部から給電されるようになっている。

また、上記固定子１８の外周面には上記固定子１８とで
モータを構成する回転子１９が回転自在に外嵌されてい
る。この回転子１９は永久磁石によって筒状に形成され
ていて、その両端部が各々軸受２１により上記隔壁体１
６に回転自在に支持されている。この回転子１９の外周
面にはファン２２を構成する多数の羽根が周方向に等間
隔で設けられている。

このように構成されたガスレーザ装置においては、一対
の主電極６間に高電圧を印加してレーザ光を発振させる
場合、圧力容器１の空間４内のレーザガスを循環させる
ために送風装置５を作動させる。つまり、モータの固定
子１８のコイル１７に通電する。すると、このコイル１
７によって発生する磁場と、永久磁石からなる回転子１
９の磁場との反発力によって上記回転子１９が回転する
ことになる。したがって、この回転子１９と一体　・に
回転するファン２２により空間４内のレーザガスが循環
させられる。

上記固定子１８による回転子１９の駆動トルクの増大は
、固定子１８のコイル１７の巻数や供給電力あるいは回
転子１９の永久磁石の強さを変えるなどモータ自身のト
ルクを変えることによって解決できる。したがって、駆
動トルクを増大させ、ファン２２によるレーザガスの循
環性能を向上させれば、ガスレーザ装置によるレーザ光
の発振性能も向上させることができる。しかも、駆動ト
ルクの増大を計るために、従来のように大きな面積のカ
ブラを用いて装置の大形化を招くようなことがないばか
りか、とくに部品点数の増大を招いたり、構造の複雑化
を招くということもない。

なお、この発明におけるファンとしては、クロスフロー
ファンだけでなく軸流ファンであってもよく、その点は
なんら限定されない。ま、た、この発明の送風装置はガ
スレーザ装置だけでなく他の装置にも適用でき、要は圧
力容器内の流体を循環させる必要がある装置であればよ
い。

［発明の効果］ 以上述べたようにこの発明は、圧力容器の対向する一対
の側壁に両端を気密に接続してモータの固定子を設け、
この固定子に永久磁石からなるモータの回転子を回転自
在に支持し、この回転子の外周面にファンを設けるよう
にした。したがって、モータ自身の性能によって駆動ト
ルクを増大させることができるから、従来のように大き
な駆動トルクを得るために装置を大形化させるというこ
とをせずにすむ。また、従来の構造に比べて部品の増大
や構造の複雑化を招くということもない。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す送風装置の一部断面
した側面図、第２図は同じく第１図■−■線に沿う断面
図、第３図はガスレーザ装置の概略的構成図、第４図は
従来の磁気結合構造の説明図である。 １・・・圧力容器、１５・・・側壁、１６・・・隔壁体
、１８・・・固定子、１９・・・回転子、２２・・・フ
ァン。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第１図 第２図 第３図 み 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 圧力容器の対向する一対の側壁に両端を気密に接続して
   設けられたモータの固定子と、この固定子の外周面に回
   転自在に設けられた永久磁石からなるモータの回転子と
   、この回転子の外周面に設けられたファンと、上記固定
   子に給電して上記回転子を回転駆動させる電源部とを具
   備したことを特徴とする送風装置。