JPS63225543A - Production of base material for optical fiber - Google Patents

Production of base material for optical fiber

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JPS63225543A
JPS63225543A JP62058393A JP5839387A JPS63225543A JP S63225543 A JPS63225543 A JP S63225543A JP 62058393 A JP62058393 A JP 62058393A JP 5839387 A JP5839387 A JP 5839387A JP S63225543 A JPS63225543 A JP S63225543A
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JP
Japan
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atmosphere
porous glass
glass body
optical fiber
dehydration
Prior art date
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Pending
Application number
JP62058393A
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Japanese (ja)
Inventor
Akira Iino
顕 飯野
Mikio Kokayu
小粥 幹夫
Yoshikazu Matsuda
松田 美一
Kunihiro Matsubara
邦弘 松原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
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Publication of JPS63225543A publication Critical patent/JPS63225543A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2201/00Type of glass produced
    • C03B2201/06Doped silica-based glasses
    • C03B2201/08Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant
    • C03B2201/12Doped silica-based glasses doped with boron or fluorine or other refractive index decreasing dopant doped with fluorine

Abstract

PURPOSE:To produce the titled base material free from a structural fault, by forming at least one of the dehydrating atmosphere of a gaseous compd. contg. fluorine and the transparent vitrifying atmosphere by means of the reducing atmosphere and introducing a porous glass body thereinto and subjecting it to dehydration and transparent vitrification. CONSTITUTION:A porous glass body 1 for an optical transmission body which consists of a porous glass layer 2 for a core and a porous glass layer 3 for a cladding and has SiO2 as an essential component is inserted into a reactor core pipe 7 provided with a heating oven 4 and an electric heater 8 to the outer circumference. After the inside of the reactor core pipe 7 is regulated to the dehydrating atmosphere incorporating both a gaseous compd. contg. fluorine selected from among SiF4, CF4, SF6, CClF3, CCl3F and reducing gas selected from among CO, SO, NO, H2, and D2 and the porous glass body is heated with the heater 8 and dehydrated, this is subjected to transparent vitrification in the transparent vitrifying atmosphere contg. the above-mentioned reducing gas if necessary.

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野1 本発明は光伝送分野で用いられる光ファイバの母材を製
造する方法に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Industrial Application Field 1 The present invention relates to a method for manufacturing a preform of an optical fiber used in the field of optical transmission.

「従来の技術1 光ファイバを応用したシステムは公衆通信のみならず、
各種プラントの計装などを含む広範囲の分野で活用され
ており、その光ファイバ母材は、もっばらVAD法、O
VD法、MCVD法ナトニより製造される。
“Conventional technology 1: Systems that apply optical fibers are not only used for public communications, but also for
It is used in a wide range of fields including instrumentation of various plants, and its optical fiber base material is widely used in VAD, O
Manufactured by VD method and MCVD method.

これら各法により製造された光ファイバ母材からは、理
論限界に近い低損失の光ファイバが得らるが、より低損
失の光ファイバを得るには、上述した製造方法における
プロセスの十分な管理、吟味が必要である。
Optical fiber preforms manufactured by each of these methods yield optical fibers with low loss close to the theoretical limit, but in order to obtain optical fibers with even lower losses, sufficient control of the process in the manufacturing methods described above is required. , requires close examination.

特に、光ファイバの使用波長を1.1終濡帯としたとき
、 OH基による吸収ピーク(波長1.391Lm)の
裾が影響するので、上記光ファイバ母材の製造工程にお
いて低損失化のための脱水処理が不可欠となる。
In particular, when the optical fiber is used at a wavelength of 1.1 Lm, the tail of the absorption peak due to OH groups (wavelength 1.391 Lm) is affected, so it is necessary to reduce loss in the manufacturing process of the optical fiber base material. Dehydration treatment is essential.

一般に、WAD法、OVD法により製造した多孔質ガラ
ス体(光ファイバ母材の前身)の脱水手段として、塩素
ガス雰囲気中にて当該多孔質ガラス体を脱水処理するこ
とが多いが、フッ素化合物ガスを含む雰囲気中にて上記
多孔質ガラス体を脱水処理した場合、その多孔質ガラス
体の透明ガラス化温度をさげる上で有効であると報告さ
れている。
Generally, as a means of dehydrating a porous glass body (predecessor of an optical fiber base material) manufactured by the WAD method or OVD method, the porous glass body is often dehydrated in a chlorine gas atmosphere, but fluorine compound gas It has been reported that dehydration of the porous glass body in an atmosphere containing the above is effective in lowering the transparent vitrification temperature of the porous glass body.

すなわち、多孔質ガラス体をフッ素化合物ガスを含む雰
囲気中で脱水処理した場合、フッ素がその多孔質ガラス
体に浸透するので、爾後の透明ガラス化温度がさがり、
透明ガラス化炉(電気炉)の運転コストの節減すること
ができる。
That is, when a porous glass body is dehydrated in an atmosphere containing fluorine compound gas, fluorine permeates into the porous glass body, so that the subsequent transparent vitrification temperature is lowered.
The operating cost of a transparent vitrification furnace (electric furnace) can be reduced.

r発明が解決しようとする問題点」 しかし、多孔質ガラス体をフッ素化合物ガスを含む雰囲
気中で脱水処理した場合、その処理工程において構造欠
陥が生じ、これがつざのような問題を惹き起こす。
"Problems to be Solved by the Invention" However, when a porous glass body is subjected to dehydration treatment in an atmosphere containing fluorine compound gas, structural defects occur during the treatment process, which causes problems.

すなわち、多孔質ガラス体を脱水処理、透明ガラス化処
理して得た光ファイバ母材から光ファイバをつくり、こ
れを心線として光ケーブルを構成した場合、当該光ケー
ブル内にわずかでもH2分子が発生すると、そのH2分
子が光ファイバ中に拡散して上記構造欠陥と反応し、水
素ロス増による吸収ピーク(波長152%層)が出現す
る。
In other words, when an optical fiber is made from an optical fiber base material obtained by dehydrating and vitrifying a porous glass body and using this as a core wire to construct an optical cable, even a small amount of H2 molecules will occur within the optical cable. , the H2 molecules diffuse into the optical fiber and react with the structural defects, and an absorption peak (wavelength 152% layer) appears due to increased hydrogen loss.

したがって、上記光ファイバの場合、長期安定性に欠け
る。
Therefore, the above optical fiber lacks long-term stability.

本発明は上記の問題点に鑑み、水素ロス増の原因となる
構造欠陥の発生を抑制することができる光ファイバ母材
の製造方法を提供しようとするものでおる。
In view of the above-mentioned problems, the present invention seeks to provide a method for manufacturing an optical fiber preform that can suppress the occurrence of structural defects that cause increased hydrogen loss.

r問題点を解決するための手段」 本発明は所期の目的を達成するため、S t02を主成
分とする光伝送体用の多孔質ガラス体を、加熱条件下で
脱水ならびに透明ガラス化して光ファイバ母材を得る方
法において、上記脱水雰囲気を、少なくともフッ素を含
む化合物ガスにより形成するとともに、当該脱水雰囲気
、上記透明ガラス化雰囲気のうち、少なくともその一方
を還元性雰囲気により形成し、これら雰囲気中に上記多
孔質ガラス体を入れて、当該多孔質ガラス体を脱水なら
びに透明ガラス化することを特徴とする。
In order to achieve the intended purpose of the present invention, a porous glass body for an optical transmission body containing S t02 as a main component is dehydrated and made into transparent vitrification under heating conditions. In the method for obtaining an optical fiber preform, the dehydration atmosphere is formed by a compound gas containing at least fluorine, and at least one of the dehydration atmosphere and the transparent vitrification atmosphere is formed by a reducing atmosphere, and It is characterized in that the porous glass body is placed inside and the porous glass body is dehydrated and made into transparent vitrification.

r作用1 本発明の脱水処理では、フッ素を含む化合物ガスにより
脱水雰囲気を形成しているので、当該雰囲気中で脱水さ
れた後の多孔質ガラス体を透明ガラス化するとき、その
透明ガラス化温度を低くすることができる。
r Effect 1 In the dehydration treatment of the present invention, a dehydration atmosphere is formed using a compound gas containing fluorine. can be lowered.

さらに本発明では、上記脱水雰囲気、透明ガラス化雰囲
気のうち、少なくともその一方を還元性雰囲気により形
成しているので、当該雰囲気中で多孔質ガラス体を処理
して得た光ファイバ母材には構造欠陥がなく、その光フ
ァイバ母材からは波長1.52#L鵬での吸収ピークの
ない光ファイバ、すなわち長期安定性のある光ファイバ
が得られる。
Furthermore, in the present invention, at least one of the dehydration atmosphere and the transparent vitrification atmosphere is formed in a reducing atmosphere, so that the optical fiber preform obtained by processing the porous glass body in the atmosphere is An optical fiber with no structural defects and no absorption peak at a wavelength of 1.52 #L, that is, an optical fiber with long-term stability, can be obtained from the optical fiber preform.

以下、その理由を述べる。The reasons for this will be explained below.

多孔質ガラス体を、フッ素を含む化合物ガス中で処理す
ると、(1)式に示すようにパーオキシリンケージ(P
s+xoxy Linkage)が発生し、コノパーオ
キシリンケージは、光ファイバ母材の段階でも残存する
When a porous glass body is treated in a compound gas containing fluorine, peroxy linkage (P
s+xoxy Linkage) occurs, and the conoperoxy linkage remains even at the stage of the optical fiber preform.

・・・・・・・・・・(1) パーオキシリンケージは、光ファイバ母材を紡糸(加熱
延伸)した際、(2)式の反応を起して切れる。
(1) When the optical fiber base material is spun (heated and drawn), the peroxy linkage causes the reaction of formula (2) and breaks.

1si−0−0−!3iミ +5i−0−0°+st=
  +’e  ・・・・=  (2)ここに水素分子が
存在すると、(3)式のようになる。
1si-0-0-! 3i Mi +5i-0-0°+st=
+'e...= (2) If a hydrogen molecule exists here, the equation (3) will be obtained.

=st+ 1/2 H2−+=Sil(a*aas**
********++ (3)上記における=siHは
、波長4.4#L腸付近にきわめて多きな吸収ピークを
もち、その伸縮振動の第3倍音が、波長1.527Ll
lの吸収ピークを惹き起こす。
=st+ 1/2 H2-+=Sil(a*aas**
********++ (3) =siH in the above has an extremely large absorption peak near the wavelength 4.4#L intestine, and the third harmonic of its stretching vibration is at the wavelength 1.527Ll.
giving rise to an absorption peak of l.

本発明方法では、さらに多孔質ガラス体を、 Heとと
もに還元剤(例えばCO)を含有させた雰囲気に曝す。
In the method of the present invention, the porous glass body is further exposed to an atmosphere containing He and a reducing agent (eg, CO).

こうした場合、前記(1)式により脱水された後の多孔
質ガラス体中のパーオキシリンケージは、(4)式の反
応により還元され、変化する。
In such a case, the peroxy linkage in the porous glass body after being dehydrated by the above formula (1) is reduced and changed by the reaction of formula (4).

=st−o−o−si=+co→=si−0−9i=+
CO2・・・・Φ・・・・・・・(0すなわちパーオキ
シリンケージは、 1si−0−8iミに変化する。
=st-o-o-si=+co→=si-0-9i=+
CO2...Φ...(0 or peroxy linkage changes to 1si-0-8imi).

かかるミ5i−0−8ii結合はきわめて強固であり、
上記紡糸時において、その結合が殆ど切断されない。
Such Mi5i-0-8ii bond is extremely strong;
During the above-mentioned spinning, the bonds are hardly broken.

これは、電子スピン共鳴(E S R)測定において、
1si−0’や、!Jiiiが殆ど検出されないことか
ら推定できる。
This is the case in electron spin resonance (ESR) measurements.
1si-0'! This can be estimated from the fact that Jiii is hardly detected.

このように=Si−0−9iEi結合が、上記紡糸によ
うも切断されないので、光ファイバ母材には=Stが生
ぜず、かくて当該母材中に水素が侵入しても。
In this way, since the =Si-0-9iEi bond is not broken during the above-described spinning, =St is not generated in the optical fiber preform, even if hydrogen enters the preform.

=SiHが発生しない。=SiH does not occur.

ゆえに1本発明方法により製造された光ファイバ母材か
ら、光ファイバをつくる場合、 SiHに起因すると考
えられる波長1.52#L腸の吸収ピークの発生を抑制
することができ、長期安定性のある光ファイバが得られ
る。
Therefore, when producing an optical fiber from the optical fiber preform produced by the method of the present invention, it is possible to suppress the occurrence of the intestinal absorption peak of wavelength 1.52#L, which is thought to be caused by SiH, and to maintain long-term stability. An optical fiber is obtained.

r実 施 例1 以下1本発明方、法の実施例につき、図面を参照して説
明する。
Example 1 An example of the method of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第1図は多孔質ガラス体を脱水ならびに透明ガラス化す
るための手段を例示たものである。
FIG. 1 illustrates a means for dehydrating a porous glass body and converting it into transparent vitrification.

第1図において1石英系の多孔質ガラス体1はコア用の
多孔質ガラス層2とクラッド用の多孔質ガラス層3とか
らなる。
In FIG. 1, a quartz-based porous glass body 1 consists of a porous glass layer 2 for a core and a porous glass layer 3 for a cladding.

一例として、コア用多孔質ガラス層2は5i02−Ge
02系からなり、クラッド用の多孔質ガラス層3は純粋
S i02からなる。
As an example, the core porous glass layer 2 is made of 5i02-Ge.
The porous glass layer 3 for cladding is made of pure Si02.

第1図において、加熱炉4はガス入口5、ガス出口6を
有する石英製の炉心管7と、その炉心管7の外周に設け
られた電気ヒータ8とで構成されている。
In FIG. 1, a heating furnace 4 is comprised of a quartz core tube 7 having a gas inlet 5 and a gas outlet 6, and an electric heater 8 provided around the outer periphery of the furnace core tube 7.

第2図の光ファイバ母材11は、上述した多孔質ガラス
体1を本発明方法により処理して得たものであり、かか
る光ファイバ母材11はコア用ガラス12、クラッド用
ガラス13を備えている。
The optical fiber preform 11 shown in FIG. 2 is obtained by processing the above-mentioned porous glass body 1 by the method of the present invention, and the optical fiber preform 11 includes a core glass 12 and a cladding glass 13. ing.

第3図は上述した多孔質ガラス体lを作製するための手
段(WAD法)を例示したものである。
FIG. 3 illustrates a method (WAD method) for producing the porous glass body 1 described above.

第3図において、コア合成用のバーナ21およびクラッ
ド合成用のバーナ22.23.24は、いずれも多重管
構造(四重管構造)からなり、これらの基端部には所定
のガス供給系が接続されている。
In FIG. 3, the burner 21 for core synthesis and the burners 22, 23, and 24 for cladding synthesis each have a multi-tube structure (quadruple tube structure), and a predetermined gas supply system is installed at their base end. is connected.

第3図において、排気管25は、多孔質ガラス体!、各
バーナ21〜24等と対応して所定の位置に配置されて
おり、これら各バーナ21〜24、排気管25は1周知
の通り、反応容器(図示せず)に組みつけられている。
In FIG. 3, the exhaust pipe 25 is made of porous glass! , are arranged at predetermined positions corresponding to the burners 21 to 24, etc., and the burners 21 to 24 and the exhaust pipe 25 are assembled into a reaction vessel (not shown) as is well known.

第3図のWAD法において、上述した多孔質ガラス体l
をつくるとき、コア合成用のバーナ21には5iC14
、GeCl4,12 e02 、Arなどが供給され、
クラッド合成用の各バーナ22.23.24には5il
141H2102。
In the WAD method shown in FIG.
When making 5iC14 in the burner 21 for core synthesis.
, GeCl4,12 e02 , Ar, etc. are supplied,
5il for each burner 22, 23, 24 for cladding synthesis
141H2102.

Arなどが供給され、これら各バーナ21%22.23
%24へ供給した各ガスの火炎加水分解反応により生成
されたガラス微粒子が、回転しながら上昇するターゲッ
ト(図示せず)に噴射かつ堆積されて、5i02−Ge
O2(Δ・曹0.3K)からなるコア用多孔質ガラスW
!2と純粋5if2からなるクラッド用多孔賀ガラス層
3.すなわち、多孔質ガラス体lが作製される。
Ar, etc. are supplied, and each of these burners 21% 22.23
Glass particles generated by the flame hydrolysis reaction of each gas supplied to the 5i02-Ge
Porous glass W for core made of O2 (Δ・Soda 0.3K)
! 3. A porous glass layer for cladding consisting of 2 and pure 5if2. That is, a porous glass body l is produced.

かかる多孔質ガラス体lが単一モード用であるとき、透
明ガラス化後におけるコア用ガラス12:クラッド用ガ
ラス13が1ニアとなるように、コア用多孔質ガラス層
2とクラッド用多孔質ガラス層3との外径比が設定され
る。
When the porous glass body l is for a single mode, the porous glass layer 2 for the core and the porous glass for the cladding are arranged so that the ratio of the glass 12 for the core and the glass 13 for the cladding after transparent vitrification is 1 nia. The outer diameter ratio with layer 3 is set.

上述した手段で作製された多孔質ガラス体1を第1図の
手段で脱水ならびに透明ガラス化するとき、炉心管7内
は、フッ素を含む化合物ガスを介して脱水雰囲気に、か
つ、例えばCOを含む還元性雰囲気に保持されるととも
に、これら雰囲気内すなわち炉心管7内が、電気ヒータ
8により高温に保持される。
When the porous glass body 1 produced by the method described above is dehydrated and made into transparent vitrification by the method shown in FIG. At the same time, this atmosphere, that is, the inside of the furnace tube 7 is maintained at a high temperature by an electric heater 8.

多孔質ガラス体1は、かかる雰囲気内に挿入されて脱水
ならびに透明ガラス化され、光ファイバ母材11となる
The porous glass body 1 is inserted into such an atmosphere, dehydrated and made into transparent glass, and becomes an optical fiber preform 11.

つぎに、本発明の具体例とその比較例について説明する
Next, specific examples of the present invention and comparative examples thereof will be explained.

具体例 第1図の手段で多孔質ガラス体lを脱水、透明ガラス化
するとき、つざの態様で実施した。
Specific Example When a porous glass body 1 was dehydrated and made into transparent vitrification by the means shown in FIG. 1, it was carried out in the following manner.

脱水工程のとき、電気ヒータ8により、炉心管7内にお
ける最高温部を800℃に保持するとともに、その炉心
管7内の脱水雰囲気をHe:241/■inとCO: 
1mjl /sinと5iFs:1101/sinとで
形成し、多孔質ガラス体lを引下速度:150■m/h
にて移動させて当該lす材lを脱水した。
During the dehydration process, the electric heater 8 maintains the highest temperature part in the furnace core tube 7 at 800°C, and the dehydration atmosphere in the furnace core tube 7 is adjusted to He: 241/■in and CO:
1 mjl/sin and 5iFs: 1101/sin, and the porous glass body l was drawn down at a speed of 150 m/h.
The lubricant l was dehydrated by moving the lubricant in a vacuum cleaner.

透明ガラス化丁程のとき、炉心管7の上記最高温部を1
400℃に保持するとともに、炉心管7内の透す1ガラ
ス化雰囲気を、He:24見/■inで形成し、上記引
下速度で脱水後の母材lを透明ガラス化した。
At the stage of transparent vitrification, the temperature of the above-mentioned highest temperature part of the furnace tube 7 is set to 1.
While maintaining the temperature at 400° C., a transparent vitrification atmosphere in the furnace tube 7 was formed with He: 24 mm/cm, and the base material 1 after dehydration was transformed into transparent vitrification at the above-mentioned drawing speed.

これら脱水工程、透明ガラス化工程を経て得られた光フ
ァイバ母材11を加熱延伸により減径した後、これば無
水合成石英管をジャケットして紡糸用プリフォームロッ
ドとした。
After the optical fiber preform 11 obtained through these dehydration steps and transparent vitrification steps was reduced in diameter by heating and drawing, it was jacketed with an anhydrous synthetic quartz tube to obtain a preform rod for spinning.

かかるプリフォームロッドから光ファイバを紡糸すると
き、その紡糸温度を約2000℃、線引速度を80■l
■ifl 、 1lil引張力を15gに設定して、光
ファイバを紡糸するとともに、その紡糸直後の光ファイ
バを紫外線硬化性樹脂により被覆した。
When spinning an optical fiber from such a preform rod, the spinning temperature is approximately 2000°C and the drawing speed is 80 l.
(2) An optical fiber was spun with a tensile force of 15 g for 1 lil, and the optical fiber immediately after spinning was coated with an ultraviolet curable resin.

かくて得られた単一モード光ファイバの外径は125μ
層φであり、その被覆外径は400終層φであった。
The outer diameter of the single mode optical fiber thus obtained was 125μ.
The outer diameter of the coating was 400, the final layer was φ.

上記のようにして、三本のプリフォームロッドから単一
モード被覆光ファイバをつくり、これら光ファイバのカ
ットオフ波長を測定したところ、各カットオフ波長は、
1.2〜1.3μ■の範囲内にあった。
As described above, single mode coated optical fibers were made from three preform rods, and the cutoff wavelengths of these optical fibers were measured.
It was within the range of 1.2 to 1.3μ.

上記において、紡糸により得られた各光ファイバから、
それぞれ1000■長ずつ分取し、これらを100℃、
 tootの水素雰囲気中入れ、30分間処理して取り
出した後、空気中(室温)に24時間放置した。
In the above, from each optical fiber obtained by spinning,
Take a 1000cm length each and heat them at 100°C.
The sample was placed in a hydrogen atmosphere, treated for 30 minutes, taken out, and left in the air (room temperature) for 24 hours.

その後、上記各光ファイバの波長−損失特性をモノクロ
メータにより測定し、これら光ファイバに波長1.52
1Lmの吸収ピークが現われるか否かを確認したところ
、いずれの光ファイバにも、その吸収ピークが認められ
なかった。
After that, the wavelength-loss characteristics of each of the above optical fibers were measured using a monochromator, and the wavelength 1.52
When it was confirmed whether or not an absorption peak of 1 Lm appeared, no absorption peak was observed in any of the optical fibers.

これは前記各式で説明した通り、水素と反応して当該吸
収ピークを発生させる構造欠陥が光ファイバ存在しない
ことを示している。
As explained in the above formulas, this indicates that there is no structural defect in the optical fiber that reacts with hydrogen to generate the absorption peak.

比較例 多孔質ガラス体の脱水および透明ガラス化、プリフォー
ムロッドの作製、光ファイバの紡糸とそめ被覆など、こ
れらの工程を介してそれぞれ三木の単一モード被覆光フ
ァイバをつくるとき、透明ガラス化雰囲気を還元性雰囲
気にしない以外は、具体例と同様にした。
Comparative Example When Miki's single mode coated optical fiber is made through these processes, such as dehydration and transparent vitrification of a porous glass body, preparation of a preform rod, and optical fiber spinning and coating, transparent vitrification is performed. The same procedure as in the specific example was carried out except that the atmosphere was not a reducing atmosphere.

これら光ファイバのカットオフ波長は、前記と同様、1
.2〜1.3#L■の範囲内であった。
The cutoff wavelength of these optical fibers is 1
.. It was within the range of 2 to 1.3 #L■.

さらに紡糸により得られた各光ファイバから、それぞれ
1000■長ずつ分取したものを、具体例と同様に水素
処理し、空気中(室温)に24時間放置したた、該6光
ファイバの波長−損失特性をモノクロメータにより測定
し、これら光ファイバに波長1.52IL層の吸収ピー
クが現われるか否かを確認  ゛したところ、いずれの
光ファイバにも、その吸収ピークが現われた。
Further, from each optical fiber obtained by spinning, 1,000 cm lengths were taken out, treated with hydrogen in the same manner as in the specific example, and left in air (room temperature) for 24 hours. The loss characteristics were measured using a monochromator to confirm whether or not the absorption peak of the IL layer at a wavelength of 1.52 appeared in these optical fibers, and it was found that the absorption peak appeared in all of the optical fibers.

上記吸収ピークが現われたことにより、これら光ファイ
バには構造欠陥があると推定できる。
From the appearance of the above absorption peak, it can be presumed that these optical fibers have a structural defect.

本発明方法の場合、脱水処理、透明ガラス化処理する多
孔質ガラス体は、OVD法により作製されたもの、ゾル
ゲル法を介して作製されたものでもよい。
In the case of the method of the present invention, the porous glass body to be subjected to the dehydration treatment and the transparent vitrification treatment may be produced by an OVD method or a sol-gel method.

本発明方法の場合、脱水処理を先行し、透明ガラス化処
理を後行してよいほか、脱水処理、透明ガラス化処理を
同時に行なってもよい。
In the case of the method of the present invention, the dehydration treatment may be performed first and the transparent vitrification treatment may follow, or the dehydration treatment and the transparent vitrification treatment may be performed simultaneously.

また、前記実施例では脱水雰囲気を、フッ素を含む化合
物ガスにより形成し、これにCOガス等の還元性ガスを
含有させて還元性雰囲気としたが、かかる脱水雰囲気を
還元性雰囲気とせず、透明ガラス化工程を還元性雰囲気
としてよい。
In addition, in the above embodiment, the dehydration atmosphere was formed using a compound gas containing fluorine, and a reducing gas such as CO gas was added to the dehydration atmosphere to create a reducing atmosphere. The vitrification step may be performed in a reducing atmosphere.

本発明方法の脱水雰囲気は、 5iFnのほか、CF4
 。
In addition to 5iFn, the dehydration atmosphere of the method of the present invention contains CF4
.

SF6 、CG12F2 、CGIh 、CChFなど
、フッ素を含む化合物ガスを一つ以上含んでいればよい
It is sufficient if it contains one or more compound gases containing fluorine, such as SF6, CG12F2, CGIh, and CChF.

本発明方法の透明ガラス化雰囲気も、COガスのほか、
SOガス、NOガスなど、任意の還元剤を一つ以上含ん
でいればよい。
The transparent vitrification atmosphere of the method of the present invention also includes CO gas,
It is sufficient if it contains one or more arbitrary reducing agents such as SO gas and NO gas.

本発明の場合、加熱炉の炉心管としてカーボン製のもの
が用いられることがある。
In the case of the present invention, a carbon tube may be used as the furnace core tube of the heating furnace.

「発明の効果1 以上説明した通り、本発明に係る光ファイバ母材の製造
方法は、脱水雰囲気を、少なくともフッ素を含む化合物
ガスにより形成し、当該脱水雰囲気、透明ガラス化雰囲
気のうち、少なくともその−・方を還元性雰囲気により
形成し、これら雰囲気中に上記多孔質ガラス体を入れて
、所定の多孔質ガラス体を脱水ならびに透明ガラス化す
るから、透明ガラス化温度が低くなるのはもちろん、水
素ロス増の原因となる構造欠陥の発生を抑制することが
できる。
“Effect of the Invention 1 As explained above, the method for manufacturing an optical fiber preform according to the present invention forms a dehydration atmosphere using a compound gas containing at least fluorine, and at least - and are formed in a reducing atmosphere, and the porous glass body is placed in this atmosphere to dehydrate and vitrify the predetermined porous glass body, so the transparent vitrification temperature is low, of course. It is possible to suppress the occurrence of structural defects that cause increased hydrogen loss.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明方法の一実施例を略示した説明図、第2
図は本発明方法により製造された光ファイバ母材の断面
図、第3図は本発明に用いる多孔質ガラス体の製造例を
略示した説明図である。 l・・・・・・多孔質ガラス体 2・・・・・・コア用多孔質ガラス層 3・・・・・・クラッド用多孔質ガラス層4・・・・・
・加熱炉 5・・・・・・加熱炉のガス入口 6・・・・・・加熱炉のガス出口 ア・・・・・・加熱炉の炉心管 8・・・・・・加熱炉の電気ヒータ 11・・・・・・光ファイバ母材 12・・−・・・コア用ガラス 13・・・・・・クラッド用ガラス 代理人 弁理士 斎 藤 義 雄 第3図 手続補正歯 昭和63年 1月29日
FIG. 1 is an explanatory diagram schematically showing an embodiment of the method of the present invention, and FIG.
The figure is a sectional view of an optical fiber preform manufactured by the method of the present invention, and FIG. 3 is an explanatory diagram schematically showing an example of manufacturing a porous glass body used in the present invention. l... Porous glass body 2... Porous glass layer for core 3... Porous glass layer for cladding 4...
・Heating furnace 5...Heating furnace gas inlet 6...Heating furnace gas outlet a...Heating furnace core tube 8...Heating furnace electricity Heater 11...Optical fiber base material 12...Glass for core 13...Glass for cladding Agent Patent attorney Yoshio Saifuji Figure 3 Procedure correction teeth 1988 1 29th of the month

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)SiO_2を主成分とする光伝送体用の多孔質ガ
ラス体を、加熱条件下で脱水ならびに透明ガラス化して
光ファイバ母材を得る方法において、上記脱水雰囲気を
、少なくともフッ素を含む化合物ガスにより形成すると
ともに、当該脱水雰囲気、上記透明ガラス化雰囲気のう
ち、少なくともその一方を還元性雰囲気により形成し、
これら雰囲気中に上記多孔質ガラス体を入れて、当該多
孔質ガラス体を脱水ならびに透明ガラス化することを特
徴とする光ファイバ母材の製造方法。
(1) In a method for obtaining an optical fiber base material by dehydrating and transparent vitrifying a porous glass body for an optical transmission body mainly composed of SiO_2 under heating conditions, the dehydration atmosphere is replaced with a compound gas containing at least fluorine. and at least one of the dehydration atmosphere and the transparent vitrification atmosphere is formed by a reducing atmosphere,
A method for producing an optical fiber preform, which comprises placing the porous glass body in such an atmosphere to dehydrate and turn the porous glass body into transparent vitrification.
(2)脱水雰囲気中に多孔質ガラス体を入れて、その多
孔質ガラス体を脱水した後、当該多孔質ガラス体を透明
ガラス化雰囲気中に入れて、当該多孔質ガラス体の透明
ガラス化する特許請求の範囲第1項記載の光ファイバ母
材の製造方法。
(2) After placing a porous glass body in a dehydration atmosphere and dehydrating the porous glass body, the porous glass body is placed in a transparent vitrification atmosphere to vitrify the porous glass body into transparent glass. A method for manufacturing an optical fiber preform according to claim 1.
(3)脱水雰囲気と透明ガラス化雰囲気とを共有する雰
囲気中に多孔質ガラス体を入れて、当該多孔質ガラス体
の脱水と透明ガラス化とを同時に行なう特許請求の範囲
第1項記載の光ファイバ母材の製造方法。
(3) The light according to claim 1, wherein a porous glass body is placed in an atmosphere that shares a dehydration atmosphere and a transparent vitrification atmosphere, and dehydration and transparent vitrification of the porous glass body are simultaneously performed. Method for manufacturing fiber base material.
(4)脱水雰囲気がSiF_4、CF_4、SF_6、
CCl_2F_2、CCl_F_3、CCl_3Fの一
つ以上を含んでいる特許請求の範囲第1項ないし第3項
いずれかに記載の光ファイバ母材の製造方法。
(4) Dehydration atmosphere is SiF_4, CF_4, SF_6,
The method for manufacturing an optical fiber preform according to any one of claims 1 to 3, which contains one or more of CCl_2F_2, CCl_F_3, and CCl_3F.
(5)還元性雰囲気がCOガス、SOガス、NOガスの
一つ以上を含んでいる特許請求の範囲第1項ないし第3
項いずれかに記載の光ファイバ母材の製造方法。
(5) Claims 1 to 3, wherein the reducing atmosphere contains one or more of CO gas, SO gas, and NO gas.
A method for manufacturing an optical fiber preform according to any one of Items 1 to 3.
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002026645A1 (en) * 2000-09-27 2002-04-04 Corning Incorporated Process for drying porous glass preforms
US6748767B2 (en) 1998-07-02 2004-06-15 Lucent Technologies Inc. Drawing an optical fiber from a sol-gel preform treated with a non-oxygenated sulfur halide
JP2004523454A (en) * 2000-12-22 2004-08-05 コーニング インコーポレイテッド Processing of soot and preforms using reducing agents
WO2005097693A1 (en) * 2004-04-07 2005-10-20 Heraeus Tenevo Gmbh Method for producing a hollow cylinder from synthetic quartz glass, using a retaining device
JP2008094633A (en) * 2006-10-05 2008-04-24 Sumitomo Electric Ind Ltd Method for producing optical fiber preform
JP2013035722A (en) * 2011-08-09 2013-02-21 Furukawa Electric Co Ltd:The Methods for manufacturing optical fiber base material and optical fiber
EP2712848A1 (en) 2012-09-27 2014-04-02 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Hydrogen-assisted fluorination of soot bodies
EP3950613A1 (en) 2020-08-06 2022-02-09 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Alternative fluorinating agents for the production of fluorinated quartz glass

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6748767B2 (en) 1998-07-02 2004-06-15 Lucent Technologies Inc. Drawing an optical fiber from a sol-gel preform treated with a non-oxygenated sulfur halide
WO2002026645A1 (en) * 2000-09-27 2002-04-04 Corning Incorporated Process for drying porous glass preforms
WO2002026646A3 (en) * 2000-09-27 2002-10-31 Corning Inc Process for drying porous glass preforms
KR100819581B1 (en) 2000-12-22 2008-04-04 코닝 인코포레이티드 Treating soot preforms with a reducing agent
EP1351897A4 (en) * 2000-12-22 2005-06-15 Corning Inc Treating soot preforms with a reducing agent
JP2004523454A (en) * 2000-12-22 2004-08-05 コーニング インコーポレイテッド Processing of soot and preforms using reducing agents
WO2005097693A1 (en) * 2004-04-07 2005-10-20 Heraeus Tenevo Gmbh Method for producing a hollow cylinder from synthetic quartz glass, using a retaining device
JP2008094633A (en) * 2006-10-05 2008-04-24 Sumitomo Electric Ind Ltd Method for producing optical fiber preform
JP2013035722A (en) * 2011-08-09 2013-02-21 Furukawa Electric Co Ltd:The Methods for manufacturing optical fiber base material and optical fiber
EP2712848A1 (en) 2012-09-27 2014-04-02 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Hydrogen-assisted fluorination of soot bodies
US9416044B2 (en) 2012-09-27 2016-08-16 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Hydrogen-supported fluorination of soot bodies
EP3950613A1 (en) 2020-08-06 2022-02-09 Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG Alternative fluorinating agents for the production of fluorinated quartz glass
US11884571B2 (en) 2020-08-06 2024-01-30 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Alternative fluorinating agents for the production of fluorinated quartz glass

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