JPS63222288A - 螢光板モニタ - Google Patents
螢光板モニタInfo
- Publication number
- JPS63222288A JPS63222288A JP62057177A JP5717787A JPS63222288A JP S63222288 A JPS63222288 A JP S63222288A JP 62057177 A JP62057177 A JP 62057177A JP 5717787 A JP5717787 A JP 5717787A JP S63222288 A JPS63222288 A JP S63222288A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phosphor plate
- fluorescent plate
- scale
- conductive
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract description 14
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 10
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
- Y02T10/60—Other road transportation technologies with climate change mitigation effect
- Y02T10/62—Hybrid vehicles
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野Ｊ
この発明は、例えば荷電粒子装置などにおける荷電粒子
ビームモニタする螢光板モニタに胸するものであるっ 〔従来の技術Ｊ 物置に高速粒子を当てるとそこから光を発することは古
くから知られており、それを利用した螢光板モニタは荷
電粒子装置で広く用いられている。
ビームモニタする螢光板モニタに胸するものであるっ 〔従来の技術Ｊ 物置に高速粒子を当てるとそこから光を発することは古
くから知られており、それを利用した螢光板モニタは荷
電粒子装置で広く用いられている。
１３図は、一般に用いられている螢光板モニタの断面図
である。モニタは光を発する螢光板（１）、それを支え
る支持台（２）、支持棒（３）、それ等を駆動するｆ−
動機ｍ（４Ｊ、大気中で観測するためののぞき窓（５）
で構成される。（６）はビームであり、その光路を示す
。
である。モニタは光を発する螢光板（１）、それを支え
る支持台（２）、支持棒（３）、それ等を駆動するｆ−
動機ｍ（４Ｊ、大気中で観測するためののぞき窓（５）
で構成される。（６）はビームであり、その光路を示す
。
次に動作について説明する。螢光板（１）としては一般
にセラミックが用いられる。高速粒子群即ちビームが螢
光板（１）に当たると、当った位置から光が発生し、の
ぞき窓（５）で１測される。光の強度はビーム強度にほ
ぼ比例する九め、観測された光を適当に処理すれば、ビ
ーム断面の強度分布が分かる。ビームのエネルギーが高
い場合は、螢光板から出る放射線が強いため、直接のぞ
き窓（５）で観測することはできないが、その場合は、
テレビカメラを設置して遠隔でテレビ観測する。また、
エネルギーの高いビームの場合は、螢光板としてセラミ
ックの代わりにアルミ板が使われることもある。
にセラミックが用いられる。高速粒子群即ちビームが螢
光板（１）に当たると、当った位置から光が発生し、の
ぞき窓（５）で１測される。光の強度はビーム強度にほ
ぼ比例する九め、観測された光を適当に処理すれば、ビ
ーム断面の強度分布が分かる。ビームのエネルギーが高
い場合は、螢光板から出る放射線が強いため、直接のぞ
き窓（５）で観測することはできないが、その場合は、
テレビカメラを設置して遠隔でテレビ観測する。また、
エネルギーの高いビームの場合は、螢光板としてセラミ
ックの代わりにアルミ板が使われることもある。
観測が終われば、ビーム通過の邪魔にならないように、
移動機構（４）で螢光板（１）をビーム光！ （６）よ
りはずす。
移動機構（４）で螢光板（１）をビーム光！ （６）よ
りはずす。
〔発明が解決しようとする問題点」
従来の螢光板モニタは以上の工うに構成されているので
、ビーム強度の最も５虫い部分が真空チェンバー中心に
対してどの位置にあるか、ビーム断面の径はいくらかな
どの情報を得ようとする時、螢光＆（１）がアルミ板の
場合は、アルミ板上を場つけ、目盛をうつことができる
が、セラミック等のような硬い物質ではそれがでさず１
例えばペン等で目盛を簀くことも、真空度を悪くするた
め避けられていたので、ビームの径、位置などの正確な
情報が得られないという問題点があった。
、ビーム強度の最も５虫い部分が真空チェンバー中心に
対してどの位置にあるか、ビーム断面の径はいくらかな
どの情報を得ようとする時、螢光＆（１）がアルミ板の
場合は、アルミ板上を場つけ、目盛をうつことができる
が、セラミック等のような硬い物質ではそれがでさず１
例えばペン等で目盛を簀くことも、真空度を悪くするた
め避けられていたので、ビームの径、位置などの正確な
情報が得られないという問題点があった。
また、セラミックのような絶縁物の場合、ビームがセラ
ミックを通過できない程低いエネルギーの時は、セラミ
ック上に電荷が蓄積され、放電を起こし、ビームの観測
に障害を来たすという問題点がめった。
ミックを通過できない程低いエネルギーの時は、セラミ
ック上に電荷が蓄積され、放電を起こし、ビームの観測
に障害を来たすという問題点がめった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、ビームの径を直接読み取ることができると共
に真空チェンバーの中心位置に対するビームの位置も測
定でさ、さらに螢光板上での放電も防止することができ
る螢光板モニタを得ることを目的とする。
たもので、ビームの径を直接読み取ることができると共
に真空チェンバーの中心位置に対するビームの位置も測
定でさ、さらに螢光板上での放電も防止することができ
る螢光板モニタを得ることを目的とする。
〔問題点を解決するための手段］
この発明に係る螢光板モニタは螢光板上に、導電性の支
持部材と電気的に接続した導電性スケール部材を設置し
たものである。
持部材と電気的に接続した導電性スケール部材を設置し
たものである。
［作用Ｊ
この発明における導電性スケール部材に、ビームが当っ
ても螢光板とは瀧つ比色の光を発するか−ｉｋ 士Ｍ
ｅ Ｍ程度の低いエネルギー＠域では光を発しないので
、螢光板上で目盛の役目をＩＩｉ比すことができる。さ
らに、螢光板上に蓄積されようとする電荷Ｆｉ導電性ス
ケール部材より導電性支持部材を通ってアースに流れる
ため、電荷の蓄積は生じず、螢光板上での放電は起きな
い。
ても螢光板とは瀧つ比色の光を発するか−ｉｋ 士Ｍ
ｅ Ｍ程度の低いエネルギー＠域では光を発しないので
、螢光板上で目盛の役目をＩＩｉ比すことができる。さ
らに、螢光板上に蓄積されようとする電荷Ｆｉ導電性ス
ケール部材より導電性支持部材を通ってアースに流れる
ため、電荷の蓄積は生じず、螢光板上での放電は起きな
い。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図はこの発明の一寅施例による螢光板モニタを示す断面
図である。図において、 （ＩＪはセラミック製螢光板
、 （２Ｌ （３） ｎ各々この螢光板（１）を支持す
る４電性の支持台及び支持棒である。（力は螢光板（１
）上に設置された導電性スケール部材で％導電性の支持
台（２）及び支持棒（３）と電気的に接続している。ス
グール部材（７）としてＬ例えば銅のスケールメツシュ
を用いる。
図はこの発明の一寅施例による螢光板モニタを示す断面
図である。図において、 （ＩＪはセラミック製螢光板
、 （２Ｌ （３） ｎ各々この螢光板（１）を支持す
る４電性の支持台及び支持棒である。（力は螢光板（１
）上に設置された導電性スケール部材で％導電性の支持
台（２）及び支持棒（３）と電気的に接続している。ス
グール部材（７）としてＬ例えば銅のスケールメツシュ
を用いる。
第２図（ａ） （ｂ） ＃−ｉ各々螢光板（１）と、そ
れを支える支持台（２）と、スケールメツシュ（７）の
部分の拡大平面図及び側面図を示し、螢光板（１）と、
スケールメツシュ（７）は、固定＆ （８）を使って支
持台（２）にネジ（９）止めされる。支持台（２）と、
真空チェンバー中心の位置関係は正確に分るため、スケ
ールメツシュ（７）が容易に精度□良く支持台（２）に
取り付けられるように、％２図に示すように支持台（２
）には案内枠（ｌＯ）が取りつけられている。
れを支える支持台（２）と、スケールメツシュ（７）の
部分の拡大平面図及び側面図を示し、螢光板（１）と、
スケールメツシュ（７）は、固定＆ （８）を使って支
持台（２）にネジ（９）止めされる。支持台（２）と、
真空チェンバー中心の位置関係は正確に分るため、スケ
ールメツシュ（７）が容易に精度□良く支持台（２）に
取り付けられるように、％２図に示すように支持台（２
）には案内枠（ｌＯ）が取りつけられている。
またスケールメツシュ（７）は電気的に支持台（２）及
び支持棒（３）を通して真空チェンバーにつながり、ア
ースに流れるように固定板（８）、ネジ（９）１案内枠
（１０）、支持台（２）、支持棒等の支持部材は＃１１
！性のものが用いられている。
び支持棒（３）を通して真空チェンバーにつながり、ア
ースに流れるように固定板（８）、ネジ（９）１案内枠
（１０）、支持台（２）、支持棒等の支持部材は＃１１
！性のものが用いられている。
次に動作について説明する。ビーム（６）がスケールメ
ツシュ（力を通して螢光板（１）に当たると、螢光板（
１）の部分は光り、スケールメツシュ（７）の部分ハ光
うない。従って、スケールメツシュの部分は黒く見え、
スケールメツシュの間隔が分っていればビームの径、ビ
ームの最も強い部分が、真空チェンバーの中心からどの
くらい離れているか知ることができる。また、スケール
メツシュが光るほどエネルギーの高いビームでも、光の
色が異なるため、先と同じ効果が期待できる。また、ビ
ームが螢光板を通過できない程エネルギーが低くても、
螢光板上に蓄積されようとする電荷は、スケールメツシ
ュ（７）を通して真空チェンバーに流れるなめ、蓄積さ
れず、螢光板上での放電は起きない。
ツシュ（力を通して螢光板（１）に当たると、螢光板（
１）の部分は光り、スケールメツシュ（７）の部分ハ光
うない。従って、スケールメツシュの部分は黒く見え、
スケールメツシュの間隔が分っていればビームの径、ビ
ームの最も強い部分が、真空チェンバーの中心からどの
くらい離れているか知ることができる。また、スケール
メツシュが光るほどエネルギーの高いビームでも、光の
色が異なるため、先と同じ効果が期待できる。また、ビ
ームが螢光板を通過できない程エネルギーが低くても、
螢光板上に蓄積されようとする電荷は、スケールメツシ
ュ（７）を通して真空チェンバーに流れるなめ、蓄積さ
れず、螢光板上での放電は起きない。
なお、上記実施例ではスケールメツシュ（７）として銅
を用いたが、他の金属でもよく、導電性を示すものであ
ればよい。また、スケールメツシュ（７）を角型のもの
としたが、スケールとして使用できるものであれば型は
何でもよく、さらにメツシュの太さも等間隔で変えられ
れば読み取りが非常に楽となる。
を用いたが、他の金属でもよく、導電性を示すものであ
ればよい。また、スケールメツシュ（７）を角型のもの
としたが、スケールとして使用できるものであれば型は
何でもよく、さらにメツシュの太さも等間隔で変えられ
れば読み取りが非常に楽となる。
また、螢光板としてセラミックを用いたが、これも他の
材料の螢光板であってもよい。
材料の螢光板であってもよい。
〔発明の効果ｊ
以上のように、この発明によれば、螢光板上に導電性の
支持部材と電気的に接続し六環電性スケール部材を投置
して螢光板モニタを構成したので、ビームの径や位置を
読みとることができ、さらに、螢光板上での放電も防ぐ
ことができる効果がある。
支持部材と電気的に接続し六環電性スケール部材を投置
して螢光板モニタを構成したので、ビームの径や位置を
読みとることができ、さらに、螢光板上での放電も防ぐ
ことができる効果がある。
第１図はこの発明の一実施例による螢光板モニタを示す
断面図、第２図（ａ） （ｂ）は各々この発明の一実施
例による螢光板モニタの主要部を拡大して示す乎面図及
び側面図、並びに第３図は従来の螢光板モニタを示す断
面図である。 （１）・・・螢光板、（２）・・・支持台、（３）・・
・支持棒、（６）・・・ビーム、（７）・・・スケール
部材、（８）・・・固定板、（１０）・・・案内枠 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
断面図、第２図（ａ） （ｂ）は各々この発明の一実施
例による螢光板モニタの主要部を拡大して示す乎面図及
び側面図、並びに第３図は従来の螢光板モニタを示す断
面図である。 （１）・・・螢光板、（２）・・・支持台、（３）・・
・支持棒、（６）・・・ビーム、（７）・・・スケール
部材、（８）・・・固定板、（１０）・・・案内枠 なお、図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (3)
- （１）ビームの光路中に設置され、上記ビームの照射に
より発光する螢光板、この螢光板上に設置された導電性
スケール部材、並びに上記螢光板及び上記スケール部材
を支持し、上記スケール部材と電気的に接続された導電
性支持部材を備えた螢光板モニタ。 - （２）螢光板はセラミックよりなる特許請求の範囲第１
項記載の螢光板モニタ。 - （３）導電性スケール部材は金属メッシュである特許請
求の範囲第１項又は第２項記載の螢光板モニタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62057177A JPS63222288A (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 | 螢光板モニタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62057177A JPS63222288A (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 | 螢光板モニタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63222288A true JPS63222288A (ja) | 1988-09-16 |
| JPH0523718B2 JPH0523718B2 (ja) | 1993-04-05 |
Family
ID=13048244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62057177A Granted JPS63222288A (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 | 螢光板モニタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63222288A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02109244A (ja) * | 1988-10-17 | 1990-04-20 | Sony Corp | イオンビーム装置 |
| JPH02239561A (ja) * | 1989-03-10 | 1990-09-21 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 荷電粒子ビームモニタ |
| JP2008027614A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Fujitsu Ltd | 荷電粒子の入射角モニタ素子 |
-
1987
- 1987-03-11 JP JP62057177A patent/JPS63222288A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02109244A (ja) * | 1988-10-17 | 1990-04-20 | Sony Corp | イオンビーム装置 |
| JPH02239561A (ja) * | 1989-03-10 | 1990-09-21 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 荷電粒子ビームモニタ |
| JP2008027614A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Fujitsu Ltd | 荷電粒子の入射角モニタ素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0523718B2 (ja) | 1993-04-05 |
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