JPH0523718B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば荷電粒子装置などにおける
荷電粒子ビームモニタする螢光板モニタに関する
ものである。

〔従来の技術〕

物質に高速粒子を当てるとそこから光を発する
ことは古くから知られており、それを利用した螢
光板モニタは荷電粒子装置で広く用いられてい
る。第３図は、一般に用いられている螢光板モニ
タの断面図である。モニタは光を発する螢光板
１、それを支える支持台２、支持棒３、それ等を
駆動する移動機構４、大気中で観測するためのの
ぞき窓５で構成される。６はビームであり、その
光路を示す。

次に動作について説明する。螢光板１としては
一般にセラミツクが用いられる。高速粒子群即ち
ビームが螢光板１に当たると、当つた位置から光
が発生し、のぞき窓５で観測される。光の強度は
ビーム強度にほぼ比例するため、観測された光を
適当に処理すれば、ビーム断面の強度分布が分か
る。ビームのエネルギーが高い場合は、螢光板か
ら出る放射線が強いため、直接のぞき窓５で観測
することはできないが、その場合は、テレビカメ
ラを設置して遠隔でテレビを観測する。また、エ
ネルギーの高いビームの場合は、螢光板としてセ
ラミツクの代わりにアルミ板が使われることもあ
る。観測が終われば、ビーム通過の邪魔にならな
いように、移動機構４で螢光板１をビーム光路６
よりはずす。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の螢光板モニタは以上のように構成されて
いるので、ビーム強度の最も強い部分が真空チエ
ンバー中心に対してどの位置にあるか、ビーム断
面の径はいくらかなどの情報を得ようとする時、
螢光板１がアルミ板の場合は、アルミ板上を傷つ
け、目盛をうつことができるが、セラミツク等の
ような硬い物質ではそれができず、例えばペン等
で目盛を書くことも、真空度を悪くするため避け
られていたので、ビームの径、位置などの正確な
情報が得られないという問題点があつた。

また、セラミツクのような絶縁物の場合、ビー
ムがセラミツクを通過できない程低いエネルギー
の時は、セラミツク上に電荷が蓄積され、放電を
起こし、ビームの観測に障害を来たすという問題
点があつた。

この発明は上記のような問題点を解消するため
になされたもので、ビームの径を直接読み取るこ
とができると共に真空チエンバーの中心位置に対
するビームの位置も測定でき、さらに螢光板上で
の放電も防止することができる螢光板モニタを得
ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る螢光板モニタは螢光板上に、導
電性の支持部材と電気的に接続した導電性スケー
ル部材を設置したものである。

〔作用〕

この発明における導電性スケール部材は、ビー
ムが当つても螢光板とは違つた色の光を発する
か、数十MeM程度の低いエネルギー領域では光
を発しないで、螢光板上で目盛の役目をはたすこ
とができる。さらに、螢光板上に蓄積されようと
する電荷は導電性スケール部材より導電性支持部
材を通つてアースに流れるため、電荷の蓄積は生
じず、螢光板上での放電は起きない。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明す
る。第１図はこの発明の一実施例による螢光板モ
ニタを示す断面図である。図において、１はセラ
ミツク製螢光板、２，３は各々この螢光板１を支
持する導電性の支持台及び支持棒である。７は螢
光板１上に設置された導電性スケール部材で、導
電性の支持台２及び支持棒３と電気的に接続して
いる。スケール部材７としては例えば銅のスケー
ルメツシユを用いる。

第２図ａ，ｂは各々螢光板１と、それを支える
支持台２と、スケールメツシユ７の部分の拡大平
面図及び側面図を示し、螢光板１と、スケールメ
ツシユ７は、固定板８を使つて支持台２にネジ９
止めされる。支持台２と、真空チエンバー中心の
位置関係は正確に分るため、スケールメツシユ７
が容易に精度良く支持台２に取り付けられるよう
に、第２図に示すように支持台２には案内枠１０
が取りつけられている。

またスケールメツシユ７は電気的に支持台２及
び支持棒３を通して真空チエンバーにつながり、
アースに流れるように固定板８、ネジ９、案内枠
１０、支持台２、支持棒等の支持部材は導電性の
ものが用いられている。

次に動作について説明する。ビーム６がスケー
ルメツシユ７を通して螢光板１に当たると、螢光
板１の部分は光り、スケールメツシユ７の部分は
光らない。従つて、スケールメツシユの部分は黒
く見え、スケールメツシユの間隔が分つていれば
ビームの径、ビームの最も強い部分が、真空チエ
ンバーの中心からどのくらい離れているか知るこ
とができる。また、スケールメツシユが光るほど
エネルギーの高いビームでも、光の色が異なるた
め、先と同じ効果が期待できる。また、ビームが
螢光板を通過できない程エネルギーが低くても、
螢光板上に蓄積されるようとする電荷は、スケー
ルメツシユ７を通して真空チヤンバーに流れるた
め、蓄積されず、螢光板上での放電は起きない。

なお、上記実施例ではスケールメツシユ７とし
て銅を用いたが、他の金属でもよく、導電性を示
すものであればよい。また、スケールメツシユ７
を角型のものとしたが、スケールとして使用でき
るものであれば型は何でもよく、さらにメツシユ
の太さも等間隔で変えられれば読み取りが非常に
楽となる。

また、螢光板としてセラミツクを用いたが、こ
れも他の材料の螢光板であつてもよい。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、螢光板上に
導電性の支持部材と電気的に接続した導電性スケ
ール部材を設置して螢光板モニタを構成したの
で、ビームの径や位置を読みとることができ、さ
らに、螢光板上での放電も防ぐことができる効果
がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による螢光板モニ
タを示す断面図、第２図ａ，ｂは各々この発明の
一実施例による螢光板モニタの主要部を拡大して
示す平面図及び側面図、並びに第３図は従来の螢
光板モニタを示す断面図である。 １……螢光板、２……支持台、３……支持棒、
６……ビーム、７……スケール部材、８……固定
板、１０……案内枠。なお、図中、同一符号は同
一又は相当部分を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ビームの光路中に設置され、上記ビームの照
   射により発光する螢光板、この螢光板上に設置さ
   れた導電性スケール部材、並びに上記螢光板及び
   上記スケール部材を支持し、上記スケール部材と
   電気的に接続された導電性支持部材を備えた螢光
   板モニタ。 ２ 螢光板はセラミツクよりなる特許請求の範囲
   第１項記載の螢光板モニタ。 ３ 導電性スケール部材は金属メツシユである特
   許請求の範囲第１項又は第２項記載の螢光板モニ
   タ。