JPS63219520A - 真空熱処理炉 - Google Patents
真空熱処理炉Info
- Publication number
- JPS63219520A JPS63219520A JP5366587A JP5366587A JPS63219520A JP S63219520 A JPS63219520 A JP S63219520A JP 5366587 A JP5366587 A JP 5366587A JP 5366587 A JP5366587 A JP 5366587A JP S63219520 A JPS63219520 A JP S63219520A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ventilation
- fan
- heating chamber
- heated
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims abstract description 82
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 45
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 6
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 abstract description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 206010022000 influenza Diseases 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- TUBQDCKAWGHZPF-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzothiazol-2-ylsulfanylmethyl thiocyanate Chemical compound C1=CC=C2SC(SCSC#N)=NC2=C1 TUBQDCKAWGHZPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は真空熱処理炉に関する。
被熱物を真空雰囲気下で加熱する場合に真空熱処理炉が
利用される０例えば、高速度鋼やステンレス鋼等を真空
雰囲気下で加熱し、引続き不活性ガスで急速冷却して焼
入れするような場合である、かかる場合、加熱後の被熱
物を効率的に冷却し、併せて該被熱物に歪が生じるのを
防止するためこれを均一冷却することが要請される。
利用される０例えば、高速度鋼やステンレス鋼等を真空
雰囲気下で加熱し、引続き不活性ガスで急速冷却して焼
入れするような場合である、かかる場合、加熱後の被熱
物を効率的に冷却し、併せて該被熱物に歪が生じるのを
防止するためこれを均一冷却することが要請される。
本発明は上記要請に応える真空熱処理炉に関するもので
ある。
ある。
〈従来の技術、その問題点〉
従来、炉内に断熱材で囲繞されたヒータ内装の加熱室及
び熱交換器並びにファンを装備した真空熱処理炉が使用
されている。該真空熱処理炉は、開閉可能な加熱室で真
空加熱した被熱物を、熱交換器で冷却したガスをファン
で循環させて該被熱物へ接触させることにより冷却する
ものである。
び熱交換器並びにファンを装備した真空熱処理炉が使用
されている。該真空熱処理炉は、開閉可能な加熱室で真
空加熱した被熱物を、熱交換器で冷却したガスをファン
で循環させて該被熱物へ接触させることにより冷却する
ものである。
ところで、被熱物の形状によっては、加熱後の被熱物を
ガスで冷却する際に、該ガスを炉の軸方向に並行して＠
環させる場合がある０例えば、被熱物が比較的長尺のも
のである場合、これを横置き状態で加熱すると該被熱物
に湾曲等の歪を生じるため、いわゆる竪型の真空熱処理
炉を使用して、該炉内に被熱物を懸吊した状態で加熱し
そして冷却するが、この際に冷却用ガスを炉の軸方向に
並行して循環させている。しかしかかる場合、従来の真
空熱処理炉によると、炉の構成上の制約もあって、冷却
用ガスを例えば炉の上方向から下方向へと一方向でのみ
循環させているため、上下方向に懸吊した状態の被熱物
の下部が冷却され難く、したがって該被熱物全体を冷却
するのに長時間を要し、しかも上下方向に懸吊した状態
の被熱物の上部が下部よりも早く冷却されるため、該被
熱物に形状や物性面で歪が生じるという問題点がある。
ガスで冷却する際に、該ガスを炉の軸方向に並行して＠
環させる場合がある０例えば、被熱物が比較的長尺のも
のである場合、これを横置き状態で加熱すると該被熱物
に湾曲等の歪を生じるため、いわゆる竪型の真空熱処理
炉を使用して、該炉内に被熱物を懸吊した状態で加熱し
そして冷却するが、この際に冷却用ガスを炉の軸方向に
並行して循環させている。しかしかかる場合、従来の真
空熱処理炉によると、炉の構成上の制約もあって、冷却
用ガスを例えば炉の上方向から下方向へと一方向でのみ
循環させているため、上下方向に懸吊した状態の被熱物
の下部が冷却され難く、したがって該被熱物全体を冷却
するのに長時間を要し、しかも上下方向に懸吊した状態
の被熱物の上部が下部よりも早く冷却されるため、該被
熱物に形状や物性面で歪が生じるという問題点がある。
〈発明が解決しようとする問題点、その解決手段〉
本発明は、叙上の如き従来の問題点を解決して、前述し
た要請に応える、改良された真空熱処理炉を提供するも
のである。
た要請に応える、改良された真空熱処理炉を提供するも
のである。
しかして本発明は、
炉内に断熱材で囲繞されたヒータ内装の加熱室及び熱交
換器並びにファンが装備され、開閉可能な該加熱室で真
空加熱した被熱物を、熱交換器で冷却したガスをファン
で循環させて該被熱物へ接触させることにより冷却する
真空熱処理炉において、加熱室の外周域に該加熱室と連
通可能な２系統の通風路が区画形成され、また加熱室と
ファンとの間には熱交換器を覆うように断面略６学形の
回動回部なフランジ付き通風筒が装着されて、該通風筒
には通風部材が摺接されており、通風筒及び通風部材に
は複数の通風口が開設されていて、通風筒を回動させて
通風口を介し上記２系統の通風路を交互に切替利用する
ことにより、真空加熱した被熱物へ交互に相対向する軸
方向から冷却したガスを循環させて接触させるようにし
てなる真空熱処理炉に係る。
換器並びにファンが装備され、開閉可能な該加熱室で真
空加熱した被熱物を、熱交換器で冷却したガスをファン
で循環させて該被熱物へ接触させることにより冷却する
真空熱処理炉において、加熱室の外周域に該加熱室と連
通可能な２系統の通風路が区画形成され、また加熱室と
ファンとの間には熱交換器を覆うように断面略６学形の
回動回部なフランジ付き通風筒が装着されて、該通風筒
には通風部材が摺接されており、通風筒及び通風部材に
は複数の通風口が開設されていて、通風筒を回動させて
通風口を介し上記２系統の通風路を交互に切替利用する
ことにより、真空加熱した被熱物へ交互に相対向する軸
方向から冷却したガスを循環させて接触させるようにし
てなる真空熱処理炉に係る。
本発明において肝要な点は、加熱室とファンとの間に装
着した通風筒の切替操作により、加熱後の被熱物へ交互
に相対向する軸方向例えば交互に上方向と下方向から冷
却用ガスを循環させて接触させ、よって該被熱物を短時
間で効率的に均一冷却し、該被熱物に歪が生じるのを防
止する処にある。
着した通風筒の切替操作により、加熱後の被熱物へ交互
に相対向する軸方向例えば交互に上方向と下方向から冷
却用ガスを循環させて接触させ、よって該被熱物を短時
間で効率的に均一冷却し、該被熱物に歪が生じるのを防
止する処にある。
以下、図面に基いて本発明の構成を更に詳細に説明する
。
。
〈実施例〉
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は該
−実施例の通風筒を示す底面図、第３図は該通風筒の正
面図である。
−実施例の通風筒を示す底面図、第３図は該通風筒の正
面図である。
開閉可能な炉本体１１の内部に、断熱材１２で囲繞され
た加熱室１３及び熱交換器１４並びにファン１５が装備
されており、加熱室１３にはヒータ１６が内装されてい
て、その上下の開口１３ａ、１３ｂには扉１７．１８が
装着され、図面の場合、扉１７は上下に昇降し、１７％
１８は前後に移動して、該加熱室１．，３をその上下で
開閉し得るようになっている。
た加熱室１３及び熱交換器１４並びにファン１５が装備
されており、加熱室１３にはヒータ１６が内装されてい
て、その上下の開口１３ａ、１３ｂには扉１７．１８が
装着され、図面の場合、扉１７は上下に昇降し、１７％
１８は前後に移動して、該加熱室１．，３をその上下で
開閉し得るようになっている。
また、加熱室１３の外周域には該加熱室１３と連通可能
な２系統の通風路２１〜２４（但し、通風路２３．２４
は図示しない、以下同じ）が形成されており、図面の場
合、一方の系統の通風路２１．２２は左右周域で、他方
の系統の通風路２３．２４は前後周域で、それぞれ形成
されている。
な２系統の通風路２１〜２４（但し、通風路２３．２４
は図示しない、以下同じ）が形成されており、図面の場
合、一方の系統の通風路２１．２２は左右周域で、他方
の系統の通風路２３．２４は前後周域で、それぞれ形成
されている。
更に、加熱室１３とファン１５との間には熱交換器１４
を覆うように断面略６学形のフランジ付き通風筒３１が
装着されており、該通風筒３１はそのフランジ部３２の
下側が炉外設置のモータ４１で駆動する歯車４２と噛合
することによって回動可能となっている。
を覆うように断面略６学形のフランジ付き通風筒３１が
装着されており、該通風筒３１はそのフランジ部３２の
下側が炉外設置のモータ４１で駆動する歯車４２と噛合
することによって回動可能となっている。
更にまた、通風筒３１の各面には炉本体１１へと固定さ
れた２片の通風部材５１．５２が摺接されており、いず
れも図面の場合、通風筒３１のフランジ部３２には左右
に通風口３２ａ、３２ｂが、通風筒３１の上側足部３３
には前後に通風口３３ａ、３３ｂが、通風筒３１の下側
足部３４には左右に通風口３４ａ、３４ｂが、通風筒３
１の上側足部３３と下側足部３４とを区画する中棚３５
には左右に通風口３５ａ、３５ｂが、それぞれ形成され
、その一方、通風部材５１のフランジ部５３には左右に
通風口５３ａ、５３ｂと前後に通風口５３ｃ 、５３ｄ
が（但し、通風口５３ｃ 、５３ｄは図示しない、以下
同じ）１通風部材５１の足部５４には左右に通風口５４
ａ、５４ｂが、通風部材５２の頭部５５には左右に通風
口５５ａ、５５ｂが、通風部材５２の足部５６には前後
に通風Ｌ１５６ａ、５６ｂが（但し、通風口５６ａ、５
６ｂは図示しない、以下同じ）が、それぞれ開設されて
いる。
れた２片の通風部材５１．５２が摺接されており、いず
れも図面の場合、通風筒３１のフランジ部３２には左右
に通風口３２ａ、３２ｂが、通風筒３１の上側足部３３
には前後に通風口３３ａ、３３ｂが、通風筒３１の下側
足部３４には左右に通風口３４ａ、３４ｂが、通風筒３
１の上側足部３３と下側足部３４とを区画する中棚３５
には左右に通風口３５ａ、３５ｂが、それぞれ形成され
、その一方、通風部材５１のフランジ部５３には左右に
通風口５３ａ、５３ｂと前後に通風口５３ｃ 、５３ｄ
が（但し、通風口５３ｃ 、５３ｄは図示しない、以下
同じ）１通風部材５１の足部５４には左右に通風口５４
ａ、５４ｂが、通風部材５２の頭部５５には左右に通風
口５５ａ、５５ｂが、通風部材５２の足部５６には前後
に通風Ｌ１５６ａ、５６ｂが（但し、通風口５６ａ、５
６ｂは図示しない、以下同じ）が、それぞれ開設されて
いる。
そして、上記通風口５３ｃ、５３ｄの相当部分には通風
筒３１のフランジ部３２よりも下方に前記通風路２３．
２４の分離された図示しない延長路が形成され、該延長
路の先端開口２３ａ、２４ａは通風口５６ａ、５６ｂの
相当部分で熱交換器１４へと位置決めされている。
筒３１のフランジ部３２よりも下方に前記通風路２３．
２４の分離された図示しない延長路が形成され、該延長
路の先端開口２３ａ、２４ａは通風口５６ａ、５６ｂの
相当部分で熱交換器１４へと位置決めされている。
既に明らかなように、回動可能な通風筒３１と固定され
た２片の通風部材５１．５２との間の各面相互関係は、
フランジ部３２とフランジ部５２とが、上側足部３３と
足部５４とが、下側足部３４と足部５６とが、また中１
１１３５と頭部５５とが、それぞれ摺接しており、これ
らの各面に開設されている前記各通風口が、各面におけ
る対応関係で、通風筒３１を回動させることによって適
宜連通ずるようになっているのである。
た２片の通風部材５１．５２との間の各面相互関係は、
フランジ部３２とフランジ部５２とが、上側足部３３と
足部５４とが、下側足部３４と足部５６とが、また中１
１１３５と頭部５５とが、それぞれ摺接しており、これ
らの各面に開設されている前記各通風口が、各面におけ
る対応関係で、通風筒３１を回動させることによって適
宜連通ずるようになっているのである。
いうまでもないが１図示した実施例は本発明の好適例で
あり、本発明が該実施例に限定されるというものではな
い６例えば、図示した実施例では通風路が各系統で２木
づつ形成されているが、これらは１本づつでもよい０通
風筒及び通風部材の各通風口は、通風路の本数に対応さ
せて増加又は減少させればよい、また、通風筒は一方向
へのみ回動させてもよいが、交互に逆方向へ往復回動さ
せてもよく、その駆動はモータによる場合に限らず、シ
リンダによってもよいのである。
あり、本発明が該実施例に限定されるというものではな
い６例えば、図示した実施例では通風路が各系統で２木
づつ形成されているが、これらは１本づつでもよい０通
風筒及び通風部材の各通風口は、通風路の本数に対応さ
せて増加又は減少させればよい、また、通風筒は一方向
へのみ回動させてもよいが、交互に逆方向へ往復回動さ
せてもよく、その駆動はモータによる場合に限らず、シ
リンダによってもよいのである。
く作用〉
次に本発明の作用を図示した実施例に基いて説明する。
加熱室１３で被熱物Ａを所定通り加熱した後、扉１７．
１８を開くその一方で炉本体１１へ冷却用の例えば窒素
ガスを導入する。そして、炉外設置のモータ１９でファ
ン１５を作動させ、また熱交換器１４も作動させて、更
にモータ４１で通風筒３１を回動させる。
１８を開くその一方で炉本体１１へ冷却用の例えば窒素
ガスを導入する。そして、炉外設置のモータ１９でファ
ン１５を作動させ、また熱交換器１４も作動させて、更
にモータ４１で通風筒３１を回動させる。
図示した状態において窒素ガスは、ファン１５→下室２
３→通風口３２ａ、３２ｂ→通風ロ５３ａ、５３ｂ＋通
風路２１，２２→上室２４→開口１３ａ→加熱室１３．
被熱物Ａ＋開口１３ｂ→中間室２５→通風ｏ３５ａ、３
５ｂ→通風ｏ５５ａ、５５ｂ→熱交換器１４→フアン１
５の順で循環し、その結果、被熱物Ａは熱交換器１４で
冷却された上→下方向の窒素ガス流で冷却される。
３→通風口３２ａ、３２ｂ→通風ロ５３ａ、５３ｂ＋通
風路２１，２２→上室２４→開口１３ａ→加熱室１３．
被熱物Ａ＋開口１３ｂ→中間室２５→通風ｏ３５ａ、３
５ｂ→通風ｏ５５ａ、５５ｂ→熱交換器１４→フアン１
５の順で循環し、その結果、被熱物Ａは熱交換器１４で
冷却された上→下方向の窒素ガス流で冷却される。
そして、通風筒３１が図示した状態から９０度回転する
と、窒素ガスは、ファン１５→下室２３→通風ａ３３ａ
、３３ｂ−＋通風ロ５４ａ、５４ｂ→中間室２５→開口
１３ｂ→加熱室１３．被熱物Ａ→上室２４→通風路２３
．２４→通風口５３ｃ、５３ｄ→通風ロ３２ａ、３２ｂ
→前記延長路を介してその先端開口２３ａ、２４ａ→通
風ロ３４ａ、３４ｂ−＋通風Ｃ］５６ａ、５６ｂ−＋熱
交換器１４→ファン１５の順で循環し、その結果、被熱
物Ａは熱交換器１４で冷却された下→上方向の窒素ガス
流で冷却される。
と、窒素ガスは、ファン１５→下室２３→通風ａ３３ａ
、３３ｂ−＋通風ロ５４ａ、５４ｂ→中間室２５→開口
１３ｂ→加熱室１３．被熱物Ａ→上室２４→通風路２３
．２４→通風口５３ｃ、５３ｄ→通風ロ３２ａ、３２ｂ
→前記延長路を介してその先端開口２３ａ、２４ａ→通
風ロ３４ａ、３４ｂ−＋通風Ｃ］５６ａ、５６ｂ−＋熱
交換器１４→ファン１５の順で循環し、その結果、被熱
物Ａは熱交換器１４で冷却された下→上方向の窒素ガス
流で冷却される。
以下は上記の繰返しであり、かくして被熱物Ａは、交互
に相対向する軸方向からの冷却された循環窒素ガスによ
り短時間で均一冷却されるのである。
に相対向する軸方向からの冷却された循環窒素ガスによ
り短時間で均一冷却されるのである。
〈発明の効果〉
以上説明した通りであるから、本発明には、真空加熱後
の被熱物を短時間で効率的に冷却することができ、しか
も該被熱物を均一冷却することによって、被熱物に形状
や物性面での歪が生じるのを防止できるという効果があ
る。
の被熱物を短時間で効率的に冷却することができ、しか
も該被熱物を均一冷却することによって、被熱物に形状
や物性面での歪が生じるのを防止できるという効果があ
る。
第１図は本発明の一実施例を示す縦断面図、第２図は該
−実施例の通風筒を示す底面図、第３図は該通風筒の正
面図である。 １１・・炉本体、１２φφ断熱材 １３・自熱熱室、１４争・熱交換器 １５・・ファン、２１．２２・・通風路３１・・通風筒
、５１．５２・争通風部材３２ａ、３２ｂ、３３ａ、３
３ｂ、３４ａ、３４ｂ、３５ａ、３５ｂ、５３ａ、５３
ｂ、５４ａ、５４ｂ、５５ａ、５５ｂ＊ｅ通風ロＡ一番
被熱物 特許出願人 大同特殊鋼株式会社 代理人 弁理士 入 山 宏 正 第１図
−実施例の通風筒を示す底面図、第３図は該通風筒の正
面図である。 １１・・炉本体、１２φφ断熱材 １３・自熱熱室、１４争・熱交換器 １５・・ファン、２１．２２・・通風路３１・・通風筒
、５１．５２・争通風部材３２ａ、３２ｂ、３３ａ、３
３ｂ、３４ａ、３４ｂ、３５ａ、３５ｂ、５３ａ、５３
ｂ、５４ａ、５４ｂ、５５ａ、５５ｂ＊ｅ通風ロＡ一番
被熱物 特許出願人 大同特殊鋼株式会社 代理人 弁理士 入 山 宏 正 第１図
Claims (1)
- １、炉内に断熱材で囲繞されたヒータ内装の加熱室及び
熱交換器並びにファンが装備され、開閉可能な該加熱室
で真空加熱した被熱物を、熱交換器で冷却したガスをフ
ァンで循環させて該被熱物へ接触させることにより冷却
する真空熱処理炉において、加熱室の外周域に該加熱室
と連通可能な２系統の通風路が区画形成され、また加熱
室とファンとの間には熱交換器を覆うように断面略Ｈ字
形の回動可能なフランジ付き通風筒が装着されて、該通
風筒には通風部材が摺接されており、通風筒及び通風部
材には複数の通風口が開設されていて、通風筒を回動さ
せて通風口を介し上記２系統の通風路を交互に切替利用
することにより、真空加熱した被熱物へ交互に相対向す
る軸方向から冷却したガスを循環させて接触させるよう
にしてなる真空熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5366587A JPH0826392B2 (ja) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | 真空熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5366587A JPH0826392B2 (ja) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | 真空熱処理炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63219520A true JPS63219520A (ja) | 1988-09-13 |
| JPH0826392B2 JPH0826392B2 (ja) | 1996-03-13 |
Family
ID=12949145
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5366587A Expired - Lifetime JPH0826392B2 (ja) | 1987-03-09 | 1987-03-09 | 真空熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0826392B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03188214A (ja) * | 1989-12-15 | 1991-08-16 | Kobe Steel Ltd | 真空熱処理炉 |
| CN107142363A (zh) * | 2017-05-12 | 2017-09-08 | 洛阳西格马炉业股份有限公司 | 一种双循环真空热处理炉 |
-
1987
- 1987-03-09 JP JP5366587A patent/JPH0826392B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03188214A (ja) * | 1989-12-15 | 1991-08-16 | Kobe Steel Ltd | 真空熱処理炉 |
| CN107142363A (zh) * | 2017-05-12 | 2017-09-08 | 洛阳西格马炉业股份有限公司 | 一种双循环真空热处理炉 |
| CN107142363B (zh) * | 2017-05-12 | 2018-09-07 | 洛阳西格马炉业股份有限公司 | 一种双循环真空热处理炉 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0826392B2 (ja) | 1996-03-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7625204B2 (en) | Gas cooling type vacuum heat treating furnace and cooling gas direction switching device therefor | |
| JPH05230528A (ja) | 真空炉におけるガス循環冷却促進法 | |
| US6913449B2 (en) | Apparatus for the treatment of metallic workpieces with cooling gas | |
| JPS63219520A (ja) | 真空熱処理炉 | |
| JPH031476Y2 (ja) | ||
| JPH05157461A (ja) | 加熱炉 | |
| US5944515A (en) | Reversing air flow oven | |
| JPH0414446Y2 (ja) | ||
| JPS61243115A (ja) | 真空熱処理装置 | |
| JPH0138877Y2 (ja) | ||
| JP3525074B2 (ja) | バッチオーブン | |
| JPH01274039A (ja) | 冷熱環境試験装置 | |
| EP1224337B1 (en) | Apparatus for supporting material to be treated in continuously operated thermal treatment furnaces | |
| JPS60152616A (ja) | 熱処理装置 | |
| JPH07294506A (ja) | ガスクロマトグラフ | |
| JPH0599572A (ja) | 連続式真空炉 | |
| JPH0518682A (ja) | 熱風循環炉 | |
| JP2978425B2 (ja) | 炉内の攪拌方法、攪拌装置および炉 | |
| US4361468A (en) | Flue housing for a coke oven | |
| JPS6140830A (ja) | ガス循環炉 | |
| JPH0255486B2 (ja) | ||
| JPH0618232Y2 (ja) | 真空熱処理炉 | |
| JPH0324593Y2 (ja) | ||
| JPH01177314A (ja) | 加熱炉における炉内冷却方法 | |
| JPS585249Y2 (ja) | ガスクロマトグラフ |