JPS6321887B2 - - Google Patents
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- JPS6321887B2 JPS6321887B2 JP11416179A JP11416179A JPS6321887B2 JP S6321887 B2 JPS6321887 B2 JP S6321887B2 JP 11416179 A JP11416179 A JP 11416179A JP 11416179 A JP11416179 A JP 11416179A JP S6321887 B2 JPS6321887 B2 JP S6321887B2
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 本発明はパターン形成装置に関する。[Detailed description of the invention] The present invention relates to a pattern forming apparatus.
プリント基板、高密度モジユール用配線パター
ン、フオトマスク等の各種パターンの形成を従来
例を第１図に示す。図に於いて、レーザ発振器１
から発生したレーザ光又は凹レンズ３によつて拡
大され、コリメートレンズ４によつて平行光にさ
れて原画５に照射される。原画５を通過したレー
ザ光は投影レンズ６を経て試料７の表面に集光照
射される。この際、投影レンズ６は原画５の像を
試料７の表面に縮小投影されるように配置されて
おり、試料面には、原画５の縮少像が瞬時にして
焼付けられる。 FIG. 1 shows conventional examples of forming various patterns such as printed circuit boards, wiring patterns for high-density modules, and photomasks. In the figure, laser oscillator 1
The laser beam generated from the laser beam is magnified by the concave lens 3, converted into parallel light by the collimating lens 4, and irradiated onto the original image 5. The laser beam that has passed through the original image 5 is condensed and irradiated onto the surface of the sample 7 via a projection lens 6. At this time, the projection lens 6 is arranged so that the image of the original image 5 is projected in a reduced size onto the surface of the sample 7, and the reduced image of the original image 5 is instantaneously printed on the sample surface.
以上の従来例では、試料面に加工したいと思う
像の拡大像を一旦原画に作り、これを光路中にセ
ツトしてやる必要があり、像が変ると、そのたび
に原画を交換してやらなければならない。 In the conventional example described above, it is necessary to create an enlarged original image of the image that is desired to be processed on the sample surface, and then set this in the optical path, and whenever the image changes, the original image must be replaced.
本発明の目的は、光路中の原画を交換すること
なく、即時新しい原画に入れかえて試料面上に照
射できるようにしたパターン形成装置を提供する
ものである。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a pattern forming apparatus that can immediately irradiate a sample surface with a new original image without replacing the original image in the optical path.
本発明の要旨は、第１に透過形液晶表示装置を
光路中に設けた点にある。第２にこの透過形液晶
表示装置への表示画像（パターン）の制御を外部
から自動的に行うようにした点にある。以下、本
発明を詳述する。 The gist of the present invention is, firstly, that a transmissive liquid crystal display device is provided in the optical path. Second, the display image (pattern) on this transmissive liquid crystal display device is automatically controlled from the outside. The present invention will be explained in detail below.
第２図は本発明の実施例を示す図である。図に
於いて新しく設けたものは、透過形液晶表示装置
１０、信号制御部１１、撮像管１２、撮像レンズ
１４、原画１３である。透過形液晶表示装置１０
は、信号制御部１１によつて制御をうける。この
際の制御は、透過形液晶表示装置に対してどの画
像パターンを表示させるかということ、及びその
表示時期の設定である。信号制御部１１によつて
制御をうけた表示装置１０に対してコリメータレ
ンズ４を介して送出されてきた平行レーザ光から
入射する。この表示装置１０に入射したレーザ光
は上記画像パターンに対応する位置を介して該表
示装置１０の投影レンズ６側に出力する。この出
力したレーザ光は投影レンズ６を介して試料７に
照射し、試料面上に画像パターンを形成する。 FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of the present invention. Newly provided items in the figure are a transmissive liquid crystal display device 10, a signal control section 11, an image pickup tube 12, an image pickup lens 14, and an original image 13. Transmissive liquid crystal display device 10
is controlled by the signal control section 11. The control at this time is to determine which image pattern is to be displayed on the transmissive liquid crystal display device and to set the display timing. Parallel laser light transmitted through the collimator lens 4 enters the display device 10 controlled by the signal control unit 11 . The laser light incident on the display device 10 is output to the projection lens 6 side of the display device 10 via a position corresponding to the image pattern. This output laser light is irradiated onto the sample 7 through the projection lens 6 to form an image pattern on the sample surface.
透過形液晶表示装置１０は、レーザ光の入射面
に対してガラス−透明電極−液晶本体部−透明電
極−ガラス−偏光板を一体化させて形成させた構
造となつている。上記２つの透明電極は相互にマ
トリツクスになるように配置されている。このマ
トリツクス構成の電極によつて表示位置の設定が
行われる。マトリツクス電極の選択制御が信号制
御部１１によつてなされる。 The transmission type liquid crystal display device 10 has a structure in which glass, a transparent electrode, a liquid crystal main body, a transparent electrode, a glass, and a polarizing plate are integrally formed on a plane of incidence of laser light. The two transparent electrodes are mutually arranged in a matrix. The display position is set by the electrodes in this matrix configuration. Selection control of the matrix electrodes is performed by the signal control section 11.
信号制御部１１への表示画像パターンは撮像管
１２で撮像された原画１３である。信号制御部１
１は、撮像管１２から得られる映像信号を一時的
にメモリに記憶させ、表示モードに該メモリから
読出し表示装置１０に表示させている。信号制御
１１の具体的構成図を第３図に示す。先ず、撮像
管１２からの映像信号を信号変換部１１０に入力
し、メモリ１１２に記憶可能なデータ、例えば２
値信号に変換する。この変換された映像信号を書
込み読出し回路１１１を介してメモリ１１２に送
り、アドレスに従つてメモリ１１２に記憶させ
る。メモリ１１２は、１つの表示パターン分の容
量を持つものであつても、複数の表示パターン分
の容量を持つものであつてもよい。表示に際して
は、書込み読出し回路１１１を読出しモードとし
てメモリ１１２を駆動し信号変換部１１３に必要
なデータを読出す。この信号変換部１１３は、メ
モリ１１２から読出された２値信号を液晶表示装
置１０を駆動するに必要な信号、即ちＸ、Ｙ信号
に変換する。このＸ、Ｙ信号を表示装置１０に送
り、必要な表示を行う。信号変換部１１０，１１
３、読出し書込み回路１１１は制御回路１１４の
制御をうける。この制御回路１１４での制御は、
第１にモード指定、第２にそのタイミング指定で
ある。制御回路１１４は、更に、レーザ発振器１
の制御も行つている。モータ用テレビ１５はつい
ては省略している。 The display image pattern to the signal control unit 11 is the original image 13 captured by the image pickup tube 12 . Signal control section 1
1 temporarily stores a video signal obtained from an image pickup tube 12 in a memory, and reads it from the memory and displays it on the display device 10 in a display mode. A specific configuration diagram of the signal control 11 is shown in FIG. First, a video signal from the image pickup tube 12 is input to the signal converter 110, and data that can be stored in the memory 112, for example, 2
Convert to value signal. This converted video signal is sent to the memory 112 via the write/read circuit 111 and stored in the memory 112 according to the address. The memory 112 may have a capacity for one display pattern, or may have a capacity for a plurality of display patterns. For display, the write/read circuit 111 is set to read mode to drive the memory 112 and read necessary data to the signal converter 113. This signal converter 113 converts the binary signal read from the memory 112 into signals necessary to drive the liquid crystal display device 10, that is, X and Y signals. These X and Y signals are sent to the display device 10 to perform necessary display. Signal converter 110, 11
3. The read/write circuit 111 is controlled by the control circuit 114. The control in this control circuit 114 is as follows:
The first is the mode specification, and the second is the timing specification. The control circuit 114 further includes the laser oscillator 1
is also under control. The motor television 15 is omitted.
次に具体的数値事例に基づく説明を行う。レー
ザ光のパワー密度は液晶を損傷しない程度に選
ぶ。例えば、104W／cm2以下になるようにビーム
径を約300mmとし、レーザ出力は7MWを用いた。
透過形液晶表示装置５を通過したレーザ光は約1/
１００に縮少投影するための投影レンズ１０に入り、
液晶表示された平面像を試料７の表面に1/100の
寸法で焼付けた。この時の試料面上に最大パワー
密度は約108W／cm2に達した。試料７は、ガラス
基板上に数100Åの金属膜を蒸着したものを使用
し、レーザ光が照射すると、金属膜が除去され、
液晶パターンが1/100の寸法でそのまま瞬時に転
写できた。 Next, we will provide an explanation based on specific numerical examples. The power density of the laser beam is selected so as not to damage the liquid crystal. For example, the beam diameter was set to about 300 mm so as to be 10 4 W/cm 2 or less, and the laser output was 7 MW.
The laser light passing through the transmission type liquid crystal display device 5 is approximately 1/
enters a projection lens 10 for reduction projection to 100;
A planar image displayed on a liquid crystal display was printed on the surface of sample 7 at a size of 1/100. At this time, the maximum power density on the sample surface reached approximately 10 8 W/cm 2 . Sample 7 used a glass substrate with a metal film deposited several hundred angstroms thick, and when irradiated with laser light, the metal film was removed.
A liquid crystal pattern with a size of 1/100 could be transferred instantly.
以上の実施例に於いて、表示パターンの種類を
光路以外で設定できるため極めて汎用性の高いパ
ターン形成が可能になつた。更に、パターンの拡
大、縮少もメモリのデータそのものを拡大、縮少
可能なため、汎用性が高まつた。 In the above embodiments, the type of display pattern can be set outside the optical path, making it possible to form extremely versatile patterns. Furthermore, since it is possible to enlarge or reduce the pattern, the data itself in the memory can be enlarged or reduced, increasing versatility.
次に、他の実施例を説明する。上記実施例で
は、信号制御部１１への入力情報を撮像管１７か
ら与えたが、この他に第４図、第５図の如きやり
方もある。第４図は、ビデオ信号記録部１６を設
け、該ビデオ信号記録部１６からの情報を原画情
報として与えてなるものである。第５図は、ビデ
オ信号を無線方式によつて伝達してなるものであ
つて、ビデオ信号送信器１８から無線によりビデ
オ信号をビデオ信号受信器１７に送り、更に信号
制御部１１に原画情報として入力せしめている。
但し、この２つの実施例ではメモリ１１２は必ず
しも必要としない。前者の実施例によれば、パタ
ーン情報をビデオ記録部にストツクしておくこと
により、必要なパターンを必要な時に形成するこ
とができる利点を持つ。後者の実施例によれば、
パターン形成を行う部所とそのパターン供給部所
とが離れている場合の遠隔操作に好適である。 Next, another embodiment will be described. In the above embodiment, the input information to the signal control section 11 is given from the image pickup tube 17, but there are other methods as shown in FIGS. 4 and 5. In FIG. 4, a video signal recording section 16 is provided, and information from the video signal recording section 16 is provided as original image information. In FIG. 5, a video signal is transmitted by a wireless method, and the video signal is transmitted wirelessly from a video signal transmitter 18 to a video signal receiver 17, and is further sent to the signal control unit 11 as original image information. I am forced to input it.
However, in these two embodiments, the memory 112 is not necessarily required. The former embodiment has the advantage that by storing pattern information in the video recording section, a necessary pattern can be formed when necessary. According to the latter embodiment:
This is suitable for remote control when the part where the pattern is formed and the part where the pattern is supplied are separated.
本発明によれば、電気信号として原画を扱うこ
とができるようになつたため、原画の入れ換え、
連続転写加工等の操作が高速に実行できるように
なつた。 According to the present invention, since it is now possible to handle the original picture as an electrical signal, it is possible to replace the original picture,
Operations such as continuous transfer processing can now be executed at high speed.
第１図は従来例図、第２図は本発明の実施例
図、第３図、第４図および第５図は本発明の他の
実施例図である。
１……レーザ発振器、７……試料、１０……透
過形液晶表示装置、１１……信号制御部、１２…
…撮像管。
FIG. 1 is a diagram of a conventional example, FIG. 2 is a diagram of an embodiment of the present invention, and FIGS. 3, 4, and 5 are diagrams of other embodiments of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Laser oscillator, 7...Sample, 10...Transmissive liquid crystal display device, 11...Signal control unit, 12...
...Image tube.
Claims (1)
される透過形液晶表示装置と、原画を撮像する撮
像管は、該撮像管で撮像した原画を読出して上記
透過形液晶表示装置を駆動する制御部と、該駆動
によつて上記表示装置から得られる原画対応の透
過レーザ光を投影する投影レンズと、該投影レン
ズの出力光が照射される試料と、より成るパター
ン形成装置。 ２ レーザ発振器と、該発振器のレーザ光が照射
される透過形液晶表示装置と、原画を記録するビ
デオ記録部と、該ビデオ記録部からの原画を読出
して上記透過形液晶表示装置を駆動する制御部
と、該駆動によつて上記表示装置から得られる原
画対応の透過レーザ光を投影する投影レンズと、
該投影レイズの出力光が照射される試料と、より
成るパターン形成装置。 ３ 上記ビデオ記録部は遠隔に設けられており、
この記録部からの原画はビデオ送信器からビデオ
受信器を介して上記制御部に送出されてなる特許
請求の範囲第２項記載のパターン形成装置。[Scope of Claims] 1. A laser oscillator, a transmissive liquid crystal display device to which the laser beam of the oscillator is irradiated, and an image pickup tube for capturing an original image, read out the original image captured by the image pickup tube and display the above-mentioned transmissive liquid crystal display. A pattern forming device comprising: a control unit that drives the device; a projection lens that projects transmitted laser light corresponding to an original image obtained from the display device by the driving; and a sample that is irradiated with the output light of the projection lens. . 2. A laser oscillator, a transmissive liquid crystal display device that is irradiated with laser light from the oscillator, a video recording section that records an original image, and a control that reads out the original image from the video recording section and drives the transmissive liquid crystal display device. a projection lens that projects transmitted laser light corresponding to the original image obtained from the display device by the driving;
A pattern forming apparatus comprising: a sample to which output light of the projection laser beam is irradiated; 3. The video recording section mentioned above is located remotely.
3. The pattern forming apparatus according to claim 2, wherein the original image from the recording section is sent from a video transmitter to the control section via a video receiver.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11416179A JPS5638888A (en) | 1979-09-07 | 1979-09-07 | Pattern forming method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11416179A JPS5638888A (en) | 1979-09-07 | 1979-09-07 | Pattern forming method |
Related Child Applications (2)
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| JP1086802A Division JPH0259A (en) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | Pattern projecting device |
| JP1086803A Division JPH02307A (en) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | Pattern forming equipment and its method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPS5638888A JPS5638888A (en) | 1981-04-14 |
| JPS6321887B2 true JPS6321887B2 (en) | 1988-05-10 |
Family
ID=14630681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11416179A Granted JPS5638888A (en) | 1979-09-07 | 1979-09-07 | Pattern forming method |
Country Status (1)
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| JP (1) | JPS5638888A (en) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59220923A (en) * | 1983-05-31 | 1984-12-12 | Toshiba Corp | Pattern formation of semiconductor integrated circuit |
| JPS605685U (en) * | 1983-06-22 | 1985-01-16 | 東芝テック株式会社 | vibrating electric razor |
| JPS63129619A (en) * | 1986-11-20 | 1988-06-02 | Toshiba Corp | Pattern exposure method and mask for exposure and transfer of pattern |
| JP2602266B2 (en) * | 1987-03-02 | 1997-04-23 | 株式会社日立製作所 | Laser marker and laser oscillator using the same |
| JPH01157791A (en) * | 1987-12-15 | 1989-06-21 | Komatsu Ltd | Laser transfer processor |
| CH673680A5 (en) * | 1987-12-21 | 1990-03-30 | Bbc Brown Boveri & Cie | |
| JP2644865B2 (en) * | 1988-12-16 | 1997-08-25 | 株式会社日立製作所 | Laser marker |
| JPH02237011A (en) * | 1989-03-09 | 1990-09-19 | Mitsubishi Electric Corp | Reticle for reduction projection aligner, reduction projection aligner, large-scale ic manufacture and large-scale ic |
| JP2520041B2 (en) * | 1989-08-31 | 1996-07-31 | 株式会社小松製作所 | Laser printing device |
| JP2799080B2 (en) * | 1991-03-18 | 1998-09-17 | 株式会社日立製作所 | Laser processing method and apparatus, transmission type liquid crystal element, wiring pattern defect correcting method and apparatus |
| JP2671868B2 (en) * | 1995-05-29 | 1997-11-05 | 井関農機株式会社 | Rotary tilling equipment |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5035275A (en) * | 1973-02-14 | 1975-04-03 | ||
| JPS515953A (en) * | 1974-07-03 | 1976-01-19 | Nippon Electron Optics Lab | SHIRYOHYOMENNIKANSURU 2 JIDENSHISOSAZONO KANSATSUHOHOOYOBISOCHI |
| JPS5187912A (en) * | 1975-01-30 | 1976-07-31 | Sony Corp | |
| JPS5187970A (en) * | 1975-01-31 | 1976-07-31 | Hitachi Ltd | |
| JPS53136968A (en) * | 1977-05-04 | 1978-11-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Photomask |
-
1979
- 1979-09-07 JP JP11416179A patent/JPS5638888A/en active Granted
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5035275A (en) * | 1973-02-14 | 1975-04-03 | ||
| JPS515953A (en) * | 1974-07-03 | 1976-01-19 | Nippon Electron Optics Lab | SHIRYOHYOMENNIKANSURU 2 JIDENSHISOSAZONO KANSATSUHOHOOYOBISOCHI |
| JPS5187912A (en) * | 1975-01-30 | 1976-07-31 | Sony Corp | |
| JPS5187970A (en) * | 1975-01-31 | 1976-07-31 | Hitachi Ltd | |
| JPS53136968A (en) * | 1977-05-04 | 1978-11-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Photomask |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5638888A (en) | 1981-04-14 |
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