JPH0259A - Pattern projecting device - Google Patents

Pattern projecting device

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JPH0259A
JPH0259A JP1086802A JP8680289A JPH0259A JP H0259 A JPH0259 A JP H0259A JP 1086802 A JP1086802 A JP 1086802A JP 8680289 A JP8680289 A JP 8680289A JP H0259 A JPH0259 A JP H0259A
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JP
Japan
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image
display device
liquid crystal
video signal
pattern
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JP1086802A
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Takeoki Miyauchi
宮内 建興
Katsuro Mizukoshi
克郎 水越
Mikio Hongo
幹雄 本郷
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Hitachi Ltd
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Hitachi Ltd
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  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Abstract

PURPOSE:To accomplish the projection of any image based on a video signal on an object by reading the video signal from a video input part, driving a transmissive liquid crystal display device, and projecting transmitting light responding to an image on the object. CONSTITUTION:A signal control part 11 temporarily stores the image signal of an original image 13 picked up by means of an image pickup tube 12 in a memory, reads it in a display mode, and makes the transmissive liquid crystal display device 10 display it. A laser beam sent through a collimator lens 4 is made incident on the display device 10. The incident laser beam is outputted on the side of a projecting lens 6 through a position responding to an image pattern and projected on a sample 7. Then, the image pattern is formed on the surface of the sample. By such a constitution, the type of a display pattern can be set on other than an optical path. Besides, the enlargement and the reduction of the image pattern is also accomplished by enlarging and reducing memory data itself.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は透過形液晶表示装置により対象物上に画像パタ
ーンを投影するパターン投影装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a pattern projection device that projects an image pattern onto an object using a transmissive liquid crystal display device.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

プリント基板、高密度モジュール用配線パターン、フォ
トマスク等の各種パターンの形成の従来例を第1図に示
す。図に於いて、レーザ発振器1から発生したレーザ光
又は凹レンズ3によって拡大され、コリメートレンズ4
によって平行光にされて原画5に照射される。原画5を
通過したレーザ光は投影レンズ6を経て試料7の表面に
集光照射される。この際、投影レンズ6は原画5の像を
試料7の表面に縮小投影されるように配置されており、
試料面には、原画5の縮少像が瞬時にして焼付けられる
FIG. 1 shows conventional examples of forming various patterns such as printed circuit boards, wiring patterns for high-density modules, and photomasks. In the figure, the laser beam generated from the laser oscillator 1 or is expanded by the concave lens 3, and the collimating lens 4
The parallel light is made into parallel light and irradiated onto the original image 5. The laser beam that has passed through the original image 5 is condensed and irradiated onto the surface of the sample 7 via a projection lens 6. At this time, the projection lens 6 is arranged so that the image of the original image 5 is projected onto the surface of the sample 7 in a reduced size.
A reduced image of the original image 5 is instantly printed onto the sample surface.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

以上の従来例では、試料面に加工したいと思う像の拡大
像を一旦原画に作り、これを光路中にセットしてやる必
要があり、像が変ると、そのたびに原画を交換してやら
なければならない。
In the conventional example described above, it is necessary to create an enlarged original image of the image that is desired to be processed on the sample surface, and then set it in the optical path, and whenever the image changes, the original image must be replaced.

本発明の目的は、ビデオ入力部に入力されたビデオ信号
に基づいて任意の画像を対象物上投影できるようにした
パターン投影装置を提供するものである。
An object of the present invention is to provide a pattern projection device that can project any image onto an object based on a video signal input to a video input section.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本発明の要旨は、光源と、該光源からの光が照射される
透過形液晶表示装置と、ビデオ信号を入力するビデオ入
力部と、該ビデオ入力部からビデオ信号を読出して上記
透過形液晶表示装置を駆動する制御部と、該制御部によ
って駆動される透過形液晶表示装置から得られる画像対
応の透過光を対象物上に投影する投影レンズとを備えた
ことを特徴とするパターン投影装置である。。
The gist of the present invention is to provide a light source, a transmissive liquid crystal display device to which light from the light source is irradiated, a video input section into which a video signal is input, and a video signal read out from the video input section to display the transmissive liquid crystal display device. A pattern projection device comprising: a control unit that drives the device; and a projection lens that projects transmitted light corresponding to an image obtained from a transmissive liquid crystal display device driven by the control unit onto an object. be. .

〔作用〕[Effect]

上記構成によりビデオ信号入力部に入力されたビデオ信
号に対応した画像を対象物上に投影することができる。
With the above configuration, an image corresponding to the video signal input to the video signal input section can be projected onto the object.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明の実施例を図面に基づいてを詳述する。即
ち第2図は本発明の実施例を示す図である。図に於いて
新しく設けたものは、透過形液晶表示装置10.信号制
御部11、撮像管12、撮像レンズ14、原画13であ
る。透過形液晶表示装置10は。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail based on the drawings. That is, FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of the present invention. The newly installed device in the figure is a transmission type liquid crystal display device 10. These are a signal control section 11, an image pickup tube 12, an image pickup lens 14, and an original image 13. Transmissive liquid crystal display device 10.

信号制御部11によって制御を受ける。この際の制御は
、透過形液晶表示装置に対してどの画像パターンを表示
させるかということ、及びその表示時期の設定である。
It is controlled by the signal control section 11. The control at this time is to determine which image pattern is to be displayed on the transmissive liquid crystal display device and to set the display timing.

信号制御部11によって制御をうけた表示装置10に対
してコリメータレンズ4を介して送出されてきた平行レ
ーザ光から入射する。
Parallel laser light transmitted through the collimator lens 4 enters the display device 10 controlled by the signal control unit 11 .

この表示装置10に入射したレーザ光は上記画像パター
ンに対応する位置を介して該表示装置!10の投影レン
ズ6側に出力する。この出力したレーザ光は投影レンズ
6を介して試料7に照射し、試料面上に画像パターンを
形成する。
The laser light incident on this display device 10 is transmitted through a position corresponding to the image pattern to the display device! 10 is output to the projection lens 6 side. This output laser light is irradiated onto the sample 7 through the projection lens 6 to form an image pattern on the sample surface.

透過形液晶表示装置IOは、従来からよく知られている
ように、レーザ光の入射面に対して、偏向板−ガラス−
透明電極−液晶本体部一透明電極一ガラスとを一体化さ
せて形成させた構造となっている。上記2つの透明電極
は相互にマトリックスになるように配置されている。こ
のマトリックス構成の電極によって表示位置の設定が行
われる。
As is well known in the art, the transmissive liquid crystal display device IO has a polarizing plate (glass) with respect to the laser beam incident surface.
It has a structure in which the transparent electrode, the liquid crystal main body, the transparent electrode, and the glass are integrated. The two transparent electrodes are arranged so as to form a matrix with each other. The display position is set by the electrodes in this matrix configuration.

マトリックス電極の選択制御が信号制御部11によって
なされる。
Selection control of the matrix electrodes is performed by the signal control section 11.

信号制御部11への表示画像パターンは撮像管12で撮
像された原画13である。信号制御部11は、撮像管1
2から得られる映像信号を一時的にメモリに記憶させ、
表示モード時に該メモリから読出し表示装置10に表示
させている。信号制御11の具体的構成図を第2図に示
す。先ず、撮像管12からの映像信号を信号変換部11
0に入力し、メモリ112に記憶可能なデータ、例えば
2値信号に変換する。
The display image pattern to the signal control unit 11 is the original image 13 captured by the image pickup tube 12 . The signal control unit 11 controls the image pickup tube 1
Temporarily store the video signal obtained from 2 in memory,
In the display mode, the data is read from the memory and displayed on the display device 10. A specific configuration diagram of the signal control 11 is shown in FIG. First, a video signal from the image pickup tube 12 is converted into a signal converter 11.
0 and converts it into data that can be stored in the memory 112, for example, a binary signal.

この変換された映像信号を書込み読出し回路111を介
してメモリ112に送り、アドレスに従ってメモリ11
2に記憶させる。メモリ112は、1つの表示パターン
分の容量を持つものであっても、複数の表示パターン分
の容量を持つものであってもよい。表示に際しては、書
込み読出し回路111を読出しモードとしてメモリ11
2を駆動し信号変換部113に必要なデータを読出す。
This converted video signal is sent to the memory 112 via the write/read circuit 111, and the memory 112 is sent to the memory 112 according to the address.
2. The memory 112 may have a capacity for one display pattern, or may have a capacity for a plurality of display patterns. When displaying, the write/read circuit 111 is set to the read mode and the memory 11 is
2 to read data necessary for the signal converter 113.

この信号変換部113は、メモリ112から読出された
2値信号を液晶表示装置IOを駆動するに必要な信号、
即ちX、Y信号に変換する。このX、Y信号を表示装置
10に送り、必要な表示を行う、信号変換部110 、
113、読出し書込み回路111は制御回路114の制
御をうける。この制御回路114での制御は、第1にモ
ード指定、第2にそのタイミング指定である。制御回路
114は、更に、レーザ発振器1の制御も行っている。
This signal converter 113 converts the binary signal read from the memory 112 into a signal necessary for driving the liquid crystal display device IO.
That is, it is converted into X and Y signals. a signal conversion unit 110 that sends the X and Y signals to the display device 10 and performs necessary display;
113, the read/write circuit 111 is controlled by the control circuit 114. The control by this control circuit 114 firstly specifies the mode and secondly specifies its timing. The control circuit 114 also controls the laser oscillator 1.

モータ用テレビ15はついては省略している。The motor television 15 is omitted.

次に具体的数値事例に基づく説明を行う。レーザ光のパ
ワー密度は液晶を損傷しない程度に選ぶ。
Next, we will provide an explanation based on specific numerical examples. The power density of the laser beam is selected so as not to damage the liquid crystal.

例えば、10’W/a1以下になるようにビーム径を約
30011nとし、レーザ出力は7MWを用いた。透過
形液晶表示装置5を通過したレーザ光は約1/100に
縮少投影するための投影レンズ10に入り、液晶表示さ
れた平面像を試料7の表面に1/100の寸法で焼付け
た。この時の試料面上の最大パワー密度は約10”W/
cdに達した。試料7は、ガラス基板上に約100人の
金属膜を蒸着したものを使用し、レーザ光が照射すると
、金属膜が除去され、液晶パターンが17100の寸法
でそのまま瞬時に転写できた。
For example, the beam diameter was set to about 30011n so as to be 10'W/a1 or less, and the laser output was 7MW. The laser beam that passed through the transmission type liquid crystal display device 5 entered a projection lens 10 for projecting a reduced size of about 1/100, and a planar image displayed on the liquid crystal was printed on the surface of the sample 7 with a size of 1/100. The maximum power density on the sample surface at this time is approximately 10”W/
Reached cd. Sample 7 used a glass substrate with about 100 metal films deposited on it, and when irradiated with laser light, the metal film was removed and a liquid crystal pattern with a size of 17100 mm could be instantly transferred as is.

以上の実施例に於いて、表示パターンの種類を光路以外
で設定できるため極めて汎用性の高いパターン形成が可
能になった。更に、パターンの拡大、縮少もメモリのデ
ータそのものを拡大、縮少可能なため、汎用性が高まっ
た。
In the above embodiments, the type of display pattern can be set outside the optical path, making it possible to form extremely versatile patterns. Furthermore, since it is possible to enlarge or reduce the pattern, the data itself in the memory can be enlarged or reduced, increasing versatility.

次に、他の実施例を説明する。上記実施例では、信号制
御部11への入力情報を撮像管17から与えたが、この
他に第4図、第5図の如きやり方もある。
Next, another embodiment will be described. In the above embodiment, the input information to the signal control section 11 is given from the image pickup tube 17, but there are other methods as shown in FIGS. 4 and 5.

第4図は、ビデオ信号記録部16を設け、該ビデオ信号
記録部16からの情報を原画情報として与えてなるもの
である。第5図は、ビデオ信号を無線方式によって伝達
してなるものであって、ビデオ信号送信器18から無線
によりビデオ信号をビデオ信号受信器17に送り、更に
信号制御部11に原画情報として入力せしめている。但
し、この2つの実施例ではメモリ112は必ずしも必要
としない、前者の実施例によれば、パターン情報をビデ
オ記録部にストックしておくことにより、必要なパター
ンを必要な時に形成することができる利点を持つ。
In FIG. 4, a video signal recording section 16 is provided, and information from the video signal recording section 16 is provided as original image information. In FIG. 5, a video signal is transmitted by a wireless method, and the video signal is transmitted wirelessly from a video signal transmitter 18 to a video signal receiver 17, and is further inputted to the signal control section 11 as original image information. ing. However, in these two embodiments, the memory 112 is not necessarily required. According to the former embodiment, by storing pattern information in the video recording section, a necessary pattern can be formed when necessary. have advantages.

後者の実施例によれば、パターン形成を行う部所とその
パターン供給部所とが離れている場合の遠隔操作に好適
である。
According to the latter embodiment, it is suitable for remote control when the part where the pattern is formed and the part where the pattern is supplied are separated.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように本発明によれば、ビデオ信号によっ
て得られる任意の画像に対応した画像を対象物上に投影
することができる。
As described above, according to the present invention, an image corresponding to an arbitrary image obtained by a video signal can be projected onto an object.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は従来例を示す図、第2図は本発明の実施例を示
す図、第3図、第4図及び第5図は本発明の他の実施例
を示す図である。 1・・・レーザ発振器、7・・・試料、10・・・透過
形液晶表示装置、11・・・信号制御部、12・・・撮
像管。 纂1図 為3図 第 2 図 集牛図 第5図
FIG. 1 is a diagram showing a conventional example, FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of the present invention, and FIGS. 3, 4, and 5 are diagrams showing other embodiments of the present invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1... Laser oscillator, 7... Sample, 10... Transmissive liquid crystal display device, 11... Signal control part, 12... Image pickup tube. Figure 1 Figure 3 Figure 2 Figure collection Cow Figure 5

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、光源と、該光源からの光が照射される透過形液晶表
示装置と、ビデオ信号を入力するビデオ入力部と、該ビ
デオ入力部からビデオ信号を読出して上記透過形液晶表
示装置を駆動する制御部と、該制御部によって駆動され
る透過形液晶表示装置から得られる画像対応の透過光を
対象物上に投影する投影レンズとを備えたことを特徴と
するパターン投影装置。 2、上記入力部にビデオ信号を記憶する記憶部を有する
ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のパターン
投影装置。 3、上記入力部には、ビデオ信号を受信して上記記憶部
に記憶させる受信部を備えたことを特徴とする特許請求
の範囲第1項記載のパターン投影装置。
[Scope of Claims] 1. A light source, a transmissive liquid crystal display device to which light from the light source is irradiated, a video input section into which a video signal is input, and a video signal read out from the video input section to display the transmissive display device. A pattern projection device comprising: a control section that drives a liquid crystal display device; and a projection lens that projects transmitted light corresponding to an image obtained from the transmissive liquid crystal display device driven by the control section onto an object. Device. 2. The pattern projection apparatus according to claim 1, wherein the input section includes a storage section for storing a video signal. 3. The pattern projection apparatus according to claim 1, wherein the input section includes a receiving section that receives a video signal and stores it in the storage section.
JP1086802A 1989-04-07 1989-04-07 Pattern projecting device Granted JPH0259A (en)

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JPH0366655B2 JPH0366655B2 (en) 1991-10-18

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6208231B1 (en) 1997-02-14 2001-03-27 Denso Corporation Stick-type ignition coil having improved structure against crack or dielectric discharge

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6208231B1 (en) 1997-02-14 2001-03-27 Denso Corporation Stick-type ignition coil having improved structure against crack or dielectric discharge

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JPH0366655B2 (en) 1991-10-18

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