JPS6321602A - ビ−ムスプリツタ− - Google Patents
ビ−ムスプリツタ−Info
- Publication number
- JPS6321602A JPS6321602A JP16563286A JP16563286A JPS6321602A JP S6321602 A JPS6321602 A JP S6321602A JP 16563286 A JP16563286 A JP 16563286A JP 16563286 A JP16563286 A JP 16563286A JP S6321602 A JPS6321602 A JP S6321602A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- beam splitter
- laser light
- reflected
- reflection
- transmission
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は例えば炭酸ガスレーザ用のビームスプリッタ
−に関する。
−に関する。
第２図は従来のビームスプリッタ−を示す説明図である
。図において、（１）はビームスプリッタ−（４）に向
っているレーザ光、（１ａ）はこのレーザ光（１）のエ
ネルギー分布、（１ｂ）はエネルギー分布（１ａ）の山
、（２）は反射レーザ光、（２ａ）はこの反射レーザ光
（２）のエネルギー分ｉ、（２ｂ）はこのエネルギー分
布（２ａ）の山、（３）は透過レーザ光、（３ａ）は透
過レーザ光（３）のエネルギー分布、（６ｂ）はエネル
ギー分布（３＆）の山である。
。図において、（１）はビームスプリッタ−（４）に向
っているレーザ光、（１ａ）はこのレーザ光（１）のエ
ネルギー分布、（１ｂ）はエネルギー分布（１ａ）の山
、（２）は反射レーザ光、（２ａ）はこの反射レーザ光
（２）のエネルギー分ｉ、（２ｂ）はこのエネルギー分
布（２ａ）の山、（３）は透過レーザ光、（３ａ）は透
過レーザ光（３）のエネルギー分布、（６ｂ）はエネル
ギー分布（３＆）の山である。
次にこの動作について説明する。ビームスプリッタ−（
４）は光を分割するための薄いガラス板などから収る光
学部品である。即ち、ＣＯ，レーザ用のビームスプリッ
タ−（４）は、レーザ光（１）の一部を透過し、一部を
反射しレーザ光（１）全任意の比率にて分割する目的に
使用される。例えば、マルチモードで、レーザ光エネル
ギー分布（１ａ）が外周円形状のレーザ光（１）が入射
し、円形のビームスプリッタ−（４）を通過後一部がビ
ームスプリッタ−（４）の後方へ透過レーザ光（３）と
して伝播される。一方、一部はビームスプリッタ−〈４
）の入射面で反射し反射レーザ光（２）として分割して
伝播される。例えばあらかじめビームスプリッタ−（４
）の反射率を５０チとしておけば反射レーザ光（２）と
透過レーザ光（３）はそれぞれ５０％のレーザ光が分割
される。
４）は光を分割するための薄いガラス板などから収る光
学部品である。即ち、ＣＯ，レーザ用のビームスプリッ
タ−（４）は、レーザ光（１）の一部を透過し、一部を
反射しレーザ光（１）全任意の比率にて分割する目的に
使用される。例えば、マルチモードで、レーザ光エネル
ギー分布（１ａ）が外周円形状のレーザ光（１）が入射
し、円形のビームスプリッタ−（４）を通過後一部がビ
ームスプリッタ−（４）の後方へ透過レーザ光（３）と
して伝播される。一方、一部はビームスプリッタ−〈４
）の入射面で反射し反射レーザ光（２）として分割して
伝播される。例えばあらかじめビームスプリッタ−（４
）の反射率を５０チとしておけば反射レーザ光（２）と
透過レーザ光（３）はそれぞれ５０％のレーザ光が分割
される。
この場合ビームスプリッタ−（４）の全面にわたつて反
射と透過の比がそれぞれ５０％の誘電体コーティングが
なされている。従来のビームスプリッタ−（４）はそれ
なυ疋実用されている。
射と透過の比がそれぞれ５０％の誘電体コーティングが
なされている。従来のビームスプリッタ−（４）はそれ
なυ疋実用されている。
上記のような従来のビー−スプリッターにおいては、入
射レーザ光のエネルギー分布はそのま瓦ビームヌプリッ
ターで反射及び透過される。それは単に入射レーザ光の
エネルギーを分割するに過ぎずエネルギー分布ははｙ−
様である。即ち、入射したレーザ光がガウスビーム（Ｇ
ａｕｓｓｉａｎ ｂｅａｍ）’ｌ’ＥＭｏｏ波の場合、
同一レーザ光エネルギー分布形状を分割するに過ぎず、
任意の形のレーザ光エネルギー分布形状に分割すること
が不可能であった。
射レーザ光のエネルギー分布はそのま瓦ビームヌプリッ
ターで反射及び透過される。それは単に入射レーザ光の
エネルギーを分割するに過ぎずエネルギー分布ははｙ−
様である。即ち、入射したレーザ光がガウスビーム（Ｇ
ａｕｓｓｉａｎ ｂｅａｍ）’ｌ’ＥＭｏｏ波の場合、
同一レーザ光エネルギー分布形状を分割するに過ぎず、
任意の形のレーザ光エネルギー分布形状に分割すること
が不可能であった。
この発明は、レーザ光を任意のパターンのエネルギー分
布に分割して伝播することを目的としたビームスプリッ
タ−を提供するものである。
布に分割して伝播することを目的としたビームスプリッ
タ−を提供するものである。
この発明に係るビームスプリッタ−においては、−枚ノ
ビームスプリツタ−に反射と透過の比を持つ誘電体コー
ティング層（ｄｉａｌｅｃｔｒｉｃ ｆｉｌｍ）を従来
のように全面−様とはせず、例えばドーナツ形と、円形
状のように反射と透過の比ｔｉえて複数のコーティング
層即ちパターンを設げたものであるＯ 〔作用〕 この発明においては、ビームスプリッタ−の表面には誘
電体より成る薄膜によってパターンが形成されているか
ら入射したレーザ光はそれぞれ成るパターンを有する反
射レーザ光と透過レーザ光に分かれろ。
ビームスプリツタ−に反射と透過の比を持つ誘電体コー
ティング層（ｄｉａｌｅｃｔｒｉｃ ｆｉｌｍ）を従来
のように全面−様とはせず、例えばドーナツ形と、円形
状のように反射と透過の比ｔｉえて複数のコーティング
層即ちパターンを設げたものであるＯ 〔作用〕 この発明においては、ビームスプリッタ−の表面には誘
電体より成る薄膜によってパターンが形成されているか
ら入射したレーザ光はそれぞれ成るパターンを有する反
射レーザ光と透過レーザ光に分かれろ。
第１図はこの発明の一実施例を示す説明図である。図に
おいて、（１）〜（４）は第２図に示した従来のそれと
同−又は相当部分を示す。（１ｂ）はエネルギー分布（
１ａ）の山、（２ｂ）はエネルギー分布（２ａ）の山、
（３ｂ）はエネルギー分布（３ａ）の山、（３ｃ）はエ
ネルギー分布（３ａ）の谷である。
おいて、（１）〜（４）は第２図に示した従来のそれと
同−又は相当部分を示す。（１ｂ）はエネルギー分布（
１ａ）の山、（２ｂ）はエネルギー分布（２ａ）の山、
（３ｂ）はエネルギー分布（３ａ）の山、（３ｃ）はエ
ネルギー分布（３ａ）の谷である。
次に、この動作について説明する。ビームスプリッタ−
（４）は中心部は円形に又外周をドーナツ状に反射及び
透過の比が異る誘電体コーティング層を有する。
（４）は中心部は円形に又外周をドーナツ状に反射及び
透過の比が異る誘電体コーティング層を有する。
中心部円形部は１００％反射とし、外周ドーナツ状部は
１００％透過とした場合、ビームスプリッタ−後方へは
ドーナツ状の透過レーザ光（３）が又、ビームスプリッ
タ−（４）の前方へは円形の反射レーザ光（２）が反射
され分割される。
１００％透過とした場合、ビームスプリッタ−後方へは
ドーナツ状の透過レーザ光（３）が又、ビームスプリッ
タ−（４）の前方へは円形の反射レーザ光（２）が反射
され分割される。
この実施例は一例に過ぎないが、ドーナツ状の透過レー
ザ光（３）を更に任意の反射及び透過の比、例えば前者
を６０％、後者を４０チに分割するビームスプリッタ−
でも製作可能である。又、更に口角形等全く任意形状で
且つ反射及び透過比率を任意に選定したビームスプリッ
タ−も用途に応じ製作可能なことは云うまでもない。（
２ｂ）はこの発明になるビームスプリッタ−（４）で反
射した山（２ｂ）と外周のドーナツ状部分がそれぞれ透
過及び反射の比が異る誘電体コーティング層を設けた例
を示した。
ザ光（３）を更に任意の反射及び透過の比、例えば前者
を６０％、後者を４０チに分割するビームスプリッタ−
でも製作可能である。又、更に口角形等全く任意形状で
且つ反射及び透過比率を任意に選定したビームスプリッ
タ−も用途に応じ製作可能なことは云うまでもない。（
２ｂ）はこの発明になるビームスプリッタ−（４）で反
射した山（２ｂ）と外周のドーナツ状部分がそれぞれ透
過及び反射の比が異る誘電体コーティング層を設けた例
を示した。
誘電薄膜以外の薄膜、例えば金属の′４膜を用いてパタ
ーンを形成し入射レーザ光’ｒ２！類以上のエネルギー
分布を有する光ビームに分割出来ることは云うまでもな
い。
ーンを形成し入射レーザ光’ｒ２！類以上のエネルギー
分布を有する光ビームに分割出来ることは云うまでもな
い。
この発明によるドーナツ状レーザビームを必要とする場
合、任意の寸法形状でもビームスプリッタ−をあらかじ
め製作しておけば取シ出せる。
合、任意の寸法形状でもビームスプリッタ−をあらかじ
め製作しておけば取シ出せる。
又、同時に円形ビームも取り出せる。これらレーザ光は
用途に応じ熱源としてレーザ加工に供される故、レーザ
光の利用、用途を著しく拡大した効果は多大である。
用途に応じ熱源としてレーザ加工に供される故、レーザ
光の利用、用途を著しく拡大した効果は多大である。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例の説明図、第２図は従来の
説明図である。図において（１）はレーザ光、（２）は
反射レーザ光、（３）は透過レーザ光、（４）はビーム
スプリッタ−である。 なお各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す・ 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図 第２＠ １°レーデ光 １Ｇ、エネルギー脅カ ３ａ １右Ｖ［−分布 ４゛ ヒ゛−ムスア９ツタ−
説明図である。図において（１）はレーザ光、（２）は
反射レーザ光、（３）は透過レーザ光、（４）はビーム
スプリッタ−である。 なお各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す・ 代理人 弁理士 佐 藤 正 年 第１図 第２＠ １°レーデ光 １Ｇ、エネルギー脅カ ３ａ １右Ｖ［−分布 ４゛ ヒ゛−ムスア９ツタ−
Claims (1)
- 薄いガラス板の表面にコーティング材を設けたビームス
プリッターにおいて、上記コーティング材は部分的に反
射及び透過比が異る誘電薄膜で形成されたパターンであ
ることを特徴とするビームスプリッター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16563286A JPS6321602A (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | ビ−ムスプリツタ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16563286A JPS6321602A (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | ビ−ムスプリツタ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6321602A true JPS6321602A (ja) | 1988-01-29 |
Family
ID=15816050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16563286A Pending JPS6321602A (ja) | 1986-07-16 | 1986-07-16 | ビ−ムスプリツタ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6321602A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100778388B1 (ko) | 2005-09-12 | 2007-11-21 | 한국과학기술원 | 거울을 이용한 광선 분리 방법 및 이를 이용한 광학 장치 |
-
1986
- 1986-07-16 JP JP16563286A patent/JPS6321602A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100778388B1 (ko) | 2005-09-12 | 2007-11-21 | 한국과학기술원 | 거울을 이용한 광선 분리 방법 및 이를 이용한 광학 장치 |
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