JPS63215580A - Ceramic metallization and metallizing adhesive sheet therefor - Google Patents

Ceramic metallization and metallizing adhesive sheet therefor

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JPS63215580A
JPS63215580A JP4844287A JP4844287A JPS63215580A JP S63215580 A JPS63215580 A JP S63215580A JP 4844287 A JP4844287 A JP 4844287A JP 4844287 A JP4844287 A JP 4844287A JP S63215580 A JPS63215580 A JP S63215580A
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JP
Japan
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metal powder
pressure
sheet
sensitive adhesive
metallizing
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JP4844287A
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Japanese (ja)
Inventor
総治 西山
孝志 富永
孝文 櫻本
竹ノ下 逸郎
松本 恒隆
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Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はセラミックのメタライズ方法およびセラミック
焼結体−Lヘメタライズを行うための金属粉末シートに
関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a method for metallizing ceramics and a metal powder sheet for metallizing a ceramic sintered body-L.

」氷韮術およびその問題点 従来からセラミックのメタライズは良く行われており1
例えばその一つに圧電素子等のセラミック焼結体上に電
極を形成する技術があり、金属粉を含有する導体ペース
トを用いて、セラミック焼結体1にスクリーン印刷した
後焼き付ける方法が主流であった。しかし、この方法の
問題貞としては次の点が指摘されている。
”Irojutsu and its problems Metallization of ceramics has been well done for a long time.1
For example, one technique is to form electrodes on a ceramic sintered body such as a piezoelectric element, and the mainstream method is to screen print the ceramic sintered body 1 using a conductive paste containing metal powder and then bake it. Ta. However, the following points have been pointed out as problems with this method.

(1) 導体ペーストの乾燥時間が長いため生産効率が
悪い。
(1) Production efficiency is poor because the drying time of the conductive paste is long.

(2) 曲面や凹凸等の異形断面を有する焼結体上への
スクリーン印刷が困難である。
(2) Screen printing on a sintered body having an irregular cross section such as a curved surface or unevenness is difficult.

(3) 使用する導体ペーストとしてはスクリーン印刷
特性が良好であることが要求されるが、その調整が容易
でなく、材料の種類や配合等に制約がある。
(3) The conductive paste used is required to have good screen printing properties, but it is not easy to adjust, and there are restrictions on the type and composition of materials.

また、スクリーン印刷法以外では、スプレー塗布、ディ
ッピング、刷毛塗り等の各種の方法も提案されているが
、塗布厚みにムラが生じること、歩留りが悪いこと、生
産性が低い笠の欠点がある。
In addition to the screen printing method, various methods such as spray coating, dipping, and brush coating have been proposed, but these methods have the drawbacks of uneven coating thickness, poor yield, and low productivity.

発明が解決しようとする問題点 本発明が解決しようとする問題点は、上記従来技術の各
問題点を回避することである。さらに詳しくはセラミッ
ク焼結体上へのメタライジングを容易かつ、高歩留りで
行うことが可能であると共に、さらにその自動化をも可
能となしうるようなメタライング方法並びにこれに使用
するメタライジング用シートを提供することを目的とす
る。
Problems to be Solved by the Invention The problems to be solved by the present invention are to avoid each of the problems of the prior art described above. More specifically, we will describe a metallizing method that allows metallizing on ceramic sintered bodies to be carried out easily and with high yield, and that can also be automated, as well as a metallizing sheet used in this method. The purpose is to provide.

問題点を解決するための手段 この発明台は上記の目的を達成するために鋭意検討した
結果、金属粉末および有機バインダーを主成分とするグ
リーンシートの片面に常温で感圧接着性を有する樹脂層
を設(プ、この接着性を利用してセラミック焼結体に圧
着し、次いで焼成しメタライジングを行うことにより、
上記従来のメタライズ方法に見られた諸種の問題点をこ
とごとく回避できるものであることを知り、この発明を
完成するに至った。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above objectives, this invention was developed by using a resin layer that has pressure-sensitive adhesive properties at room temperature on one side of a green sheet mainly composed of metal powder and an organic binder. By using this adhesive property to pressure-bond the ceramic sintered body, then firing and metallizing,
The present invention was completed based on the knowledge that all of the various problems encountered in the conventional metallization methods described above can be avoided.

すなわち、この発明は金属粉および有機バインダーを主
成分とする金属粉末シートの片面に感圧接着剤層を設け
たメタライジング用接着シート並びにこのシートを用い
るメタライジング方法に係るものである。
That is, the present invention relates to an adhesive sheet for metallizing, in which a pressure-sensitive adhesive layer is provided on one side of a metal powder sheet containing metal powder and an organic binder as main components, and a metallizing method using this sheet.

発明の作用並びに構成 このように、この発明においては、金属粉末と有機バイ
ンダーを主成分とする金属粉末シートを感圧接着剤を利
用してセラミック焼結体に圧着するために、従来の如き
印刷法やスプレー法等の方法を採用する必要がなく、従
ってこれらの方法に起因した諸種の問題がことごとく回
避される。寸なわら、導体ペーストの乾燥が不用なため
、生産効率が高く、しかも曲面や凹凸を有する焼結体の
メタライジングも容易である。
Function and Structure of the Invention As described above, in the present invention, in order to pressure-bond a metal powder sheet containing metal powder and an organic binder as main components to a ceramic sintered body using a pressure-sensitive adhesive, conventional printing is not required. There is no need to employ methods such as a spray method or a spray method, and therefore, all the various problems caused by these methods can be avoided. However, since there is no need to dry the conductive paste, production efficiency is high, and metallization of sintered bodies having curved surfaces or irregularities is also easy.

また、スクリーン印刷性を考慮する必要がむく、材料の
種類、配合の選択の自由度が大きい。さらに感圧接着剤
層を利用しているため、微弱な力で圧着でき、脆弱な焼
結体に対しても適用できる。
Further, it is not necessary to take screen printability into consideration, and there is a large degree of freedom in selecting the type and composition of materials. Furthermore, since it uses a pressure-sensitive adhesive layer, it can be bonded with weak force and can be applied to fragile sintered bodies.

しかも上記感圧接着剤層の熱分解温度が、上記金属粉末
シートを構成している樹脂バインダーより高い熱分解温
度を有しているものを使用すると、焼成過程において、
金属粉末シートを構成している樹脂バインダーが214
失してもなお、密着性が良好なため金属粉末の剥離が生
じない。
Moreover, if the pressure-sensitive adhesive layer has a thermal decomposition temperature higher than that of the resin binder constituting the metal powder sheet, in the firing process,
The resin binder that makes up the metal powder sheet is 214
Even if the metal powder is lost, the adhesion is good so that the metal powder does not peel off.

本発明において、金属粉末としてはAg、Ag−Pd 
、A!] −Pt 、A(+ −Pd −Pt 1Au
 。
In the present invention, the metal powder is Ag, Ag-Pd
, A! ] −Pt , A(+ −Pd −Pt 1Au
.

△u −pt 、AI 、Ni 、Cu 、、Ptなど
公知の金属の粉末を用いることができる。
Known metal powders such as Δu-pt, AI, Ni, Cu, and Pt can be used.

一方、樹脂バインダーとしては炭化水素系樹脂、ビニル
系樹脂、アセタール系樹脂、アクル系樹脂、スチロール
系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂等の
合成高分子や繊維素樹脂等の半合成高分子を用いること
ができるが、熱分解が容易なことから炭化水素系樹脂、
アクリル系樹脂、アセタール系樹脂、繊維素系樹脂が好
ましく中でもアクル系樹脂が特に好ましい。而して、そ
の配合量は金属粉の比重、粒度によって異なるが、金属
粉末100重吊部に対して1〜30重量部の範囲にある
ことが好ましく、配合量が多いと、ガスぬ番プが悪くな
るため発泡の原因となり、少ないと金属粉末シートの強
度が低下するため作業性が著しく悪くなる。
On the other hand, as resin binders, synthetic polymers such as hydrocarbon resins, vinyl resins, acetal resins, acrylic resins, styrene resins, polyester resins, polyurethane resins, and semi-synthetic polymers such as cellulose resins are used. However, since it is easy to thermally decompose, hydrocarbon resins,
Acrylic resins, acetal resins, and cellulose resins are preferred, and acrylic resins are particularly preferred. The blending amount varies depending on the specific gravity and particle size of the metal powder, but it is preferably in the range of 1 to 30 parts by weight per 100 suspended parts of the metal powder. If the amount is too low, the strength of the metal powder sheet will be reduced, resulting in significantly poor workability.

また、本発明においては、セラミック焼結体と金属粉末
との接着性を向上させるため0.5〜5Qvo1%のガ
ラスフリットを添加してもよい。
Further, in the present invention, 0.5 to 5 Qvo 1% of glass frit may be added to improve the adhesiveness between the ceramic sintered body and the metal powder.

ガラスフリットとしてはホウケイ酸ソーダ系、ホウケイ
酸塩素等公知のものを使用できる。さらに金属粉末シー
トの作製にあたり、金属粉末の分散を容易にし、表面平
滑性が良好でかつ密度の高いシートを得るために分散剤
を添加しても良い。分散剤としては通常の界面活性剤、
脂肪酸、脂肪酸エステル、魚油、アクリル系オリゴマー
等を必要に応じて用いることができる。この際の分散剤
の使用量は、金属粉100重量部に対して0.01〜1
0重量部好ましくは0.1〜2f11部程度である。
As the glass frit, known ones such as sodium borosilicate and chlorine borosilicate can be used. Furthermore, in producing the metal powder sheet, a dispersant may be added to facilitate dispersion of the metal powder and to obtain a sheet with good surface smoothness and high density. Usual surfactants are used as dispersants,
Fatty acids, fatty acid esters, fish oils, acrylic oligomers, and the like can be used as necessary. The amount of dispersant used in this case is 0.01 to 1 part by weight per 100 parts by weight of metal powder.
0 part by weight, preferably about 0.1 to 2f11 parts.

上記の組成物に適当な溶剤、消泡剤等の添加剤を加え通
常の方法例えばドクターブレード法等により金属粉末シ
ートを作製することができる。すなわち、金属粉末、樹
脂バインダー、溶剤および必要に応じて分散剤、消泡剤
等の添加剤をボールミル、3本ロール等の分散機を用い
混合し、ドクターブレードによりキャスティングするこ
とにより金属粉末シートを得ることができる。金属粉末
シートの厚みは通常5〜250μ僧、好ましくは10〜
150μ爾程度である。
A metal powder sheet can be produced by adding additives such as a suitable solvent and antifoaming agent to the above composition and using a conventional method such as a doctor blade method. That is, a metal powder sheet is produced by mixing metal powder, a resin binder, a solvent, and optionally additives such as a dispersant and an antifoaming agent using a dispersing machine such as a ball mill or three rolls, and casting with a doctor blade. Obtainable. The thickness of the metal powder sheet is usually 5 to 250 μm, preferably 10 to 250 μm.
It is about 150μ.

本発明においては金属粉末シートに感圧接着剤層を設け
るものであるが、焼成後に良好な密着性を得るためには
、積層時において金属粉末シートとセラミック焼結体と
が十分密着している必要があるのは勿論のこと、焼成時
においても粉末シート中の樹脂バインダーが消失する以
前に粉末シートが剥離しないことが肝要である。従って
、感圧接着剤層の熱分解温度は金属粉末シートを構成す
る樹脂バインダーの熱分解温度より高く設定することが
好ましい。感圧接着剤層を使用しない場合や、感圧接着
剤層の熱分解温度が樹脂バインダーの熱分解温度より低
い場合には、金属粉末がセラミック焼結体から、捲れ上
がる等剥離したり、エツジ部分が収縮したりするばあが
ある。従って、好ましくは、(メタ)アクリル酸ブチル
、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルの如き(メタ
)アクリル酸エステルを主成分としたアクリル系感圧接
着剤もしくは、ブチルゴム等を主成分としたゴム系感圧
接着剤を用いるのが良い。これらの感圧接着剤の熱分解
湿度を高くするための手段としてはアクリル酸、メタク
リル酸、アクリルアミド等の極性モノマーと前記の(メ
タ)アクリル酸エステルとを共重合する方法、フェノー
ル樹脂等の熱分解性の悪い樹脂をブレンドする方法など
が挙げられる。感圧接着剤層を金属粉末シートに設ける
には、感圧接着剤溶液を離型処理した紙、ポリエチレン
テレフタレートフィルム等の離型ライナー上にロールコ
ータ−等を用いて塗工して乾燥しこれを転写する方法が
一般的であるが、必ずしもこの方法に限定されるもので
はなく、例えばスプレー等で噴霧するなどしてもよい。
In the present invention, a pressure-sensitive adhesive layer is provided on the metal powder sheet, but in order to obtain good adhesion after firing, the metal powder sheet and the ceramic sintered body must be in sufficient contact with each other during lamination. Needless to say, it is important that the powder sheet does not peel off before the resin binder in the powder sheet disappears during firing. Therefore, the thermal decomposition temperature of the pressure sensitive adhesive layer is preferably set higher than the thermal decomposition temperature of the resin binder constituting the metal powder sheet. If a pressure-sensitive adhesive layer is not used, or if the thermal decomposition temperature of the pressure-sensitive adhesive layer is lower than that of the resin binder, the metal powder may peel off from the ceramic sintered body, such as curling up, or form edges. Some parts may shrink. Therefore, acrylic pressure-sensitive adhesives mainly composed of (meth)acrylic esters such as butyl (meth)acrylate and 2-ethylhexyl (meth)acrylate, or rubber-based adhesives mainly composed of butyl rubber, etc. are preferably used. It is best to use pressure-sensitive adhesives. Means for increasing the thermal decomposition humidity of these pressure-sensitive adhesives include a method of copolymerizing polar monomers such as acrylic acid, methacrylic acid, and acrylamide with the above-mentioned (meth)acrylic acid ester, and a method of copolymerizing phenolic resins, etc. Examples include a method of blending resins that are poorly degradable. To provide a pressure-sensitive adhesive layer on a metal powder sheet, a pressure-sensitive adhesive solution is applied onto a release liner such as release-treated paper or polyethylene terephthalate film using a roll coater, and then dried. Although the method of transferring is generally used, the method is not necessarily limited to this method, and for example, spraying may be used.

感圧接着剤層の厚みはあまり簿いものであると接着力が
低く、あまり厚いものであると熱分解ガスの発生量が多
くなるため十分な密着性が得られない。従って1〜10
0μ慣の範囲にあるのが好ましい。
If the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is too small, the adhesive force will be low, and if it is too thick, the amount of pyrolysis gas generated will increase, making it impossible to obtain sufficient adhesion. Therefore 1 to 10
It is preferably in the range of 0 μm.

上記の手段によって作製された接着シートのセラミック
ス焼結体への圧着は、感圧接着剤層があるため容易に行
うことができる。例えばローラー等を用いて、気泡が入
らないようにすれば、良い。
The adhesive sheet produced by the above method can be easily pressed onto the ceramic sintered body because of the presence of the pressure-sensitive adhesive layer. For example, use a roller or the like to prevent air bubbles from entering.

また熱ロール、熱プレス等を用い、加熱加圧することに
より、さらに良好な密着性が得られる。
Moreover, even better adhesion can be obtained by applying heat and pressure using a hot roll, hot press, or the like.

セラミック焼結体としてはアルミナ、ベリリア、ステア
タイト、フォルステライト、ジルコニア、チタン酸バリ
ウム、チタン酸ジルコン酸鉛等の公知のものを用いるこ
とができる。
As the ceramic sintered body, known ones such as alumina, beryllia, steatite, forsterite, zirconia, barium titanate, lead zirconate titanate, etc. can be used.

本発明法により、得られる金属粉末層形成セラミック焼
結体は、高温下で焼成処理すると、樹脂バインダーおよ
び感圧接着剤等の有機物が熱分解して消失し、金属粉末
とセラミック焼結体の接合強度が大きく、かつ金属粉末
のはがれ、断線、位置のズレ等がみられず、高品質のメ
タライジングを行うことができる。
When the metal powder layer-forming ceramic sintered body obtained by the method of the present invention is fired at a high temperature, organic substances such as the resin binder and pressure-sensitive adhesive are thermally decomposed and disappear, and the metal powder and ceramic sintered body are separated. The bonding strength is high, and there is no peeling of metal powder, wire breakage, misalignment, etc., and high quality metallizing can be performed.

なお、上記の焼成工程での加熱潤度は、使用する金属粉
末、ガラスフリットの優類によって適宜に決められるが
、通常500〜1000℃程度の範囲で上記各粉末の種
類に応じて適宜設定すればよい。焼成時の雰囲気は、上
記各金属粉末の種類により、酸化性ガス雰囲気か、非酸
化性ガス雰囲気とするかをきめればよく、たとえばAQ
粉末やPt粉末を用いる場合であれば酸化性ガス雰囲気
を採用でき、Cu粉末を用いる場合には窒素ガスをもち
いるなどして、非酸化性ガス雰囲気とすればよい。
The heating moisture level in the above firing process is determined as appropriate depending on the quality of the metal powder and glass frit used, but it is usually set appropriately in the range of about 500 to 1000°C depending on the type of each powder. Bye. The atmosphere during firing may be an oxidizing gas atmosphere or a non-oxidizing gas atmosphere depending on the type of each metal powder. For example, AQ
When powder or Pt powder is used, an oxidizing gas atmosphere can be used, and when Cu powder is used, a non-oxidizing gas atmosphere can be created by using nitrogen gas or the like.

本発明法により得られるメタライジングされたセラミッ
ク焼結体は、例えば電極層形成セラミック焼結体として
右利に使用でき、その他各種の分野に応じて使用される
The metallized ceramic sintered body obtained by the method of the present invention can be used, for example, as an electrode layer-forming ceramic sintered body, and can also be used in various other fields.

発明の効果 以上のようにこの発明によるメタライジング用接着シー
トを用いることにより、セラミック焼結体のメタライズ
を行うに当り、予めシート化されているので、導体ペー
ストを用いた場合と異なり、乾燥時間が不要なので生産
効率が高く、かつスクリーン印剛性を考慮する必要がな
く材料の選択の自由度が大きい。また、感圧接着剤層を
設けているので、微弱な力でも容易に良好な密着性が得
られ、曲面や凹凸等の異形断面を有するセラミック焼結
体表面への貼付も容易である。さらに感圧接着剤層の熱
分解温度を、金属粉末シートに用いる樹脂バインダーの
熱分w1.温度より高く設定しておけば、以下に述べる
利点が発揮される。すなわち第一に感圧接着剤層が熱分
解し始める温度において、金属粉末シートの樹脂バイン
ダーは既にその大部分が消失してしまっており、金属粉
末シートは通気性を有する状態となっている。従って感
圧接着剤層が熱分解することにより発生した分解ガスは
上記金属粉末層を容易に通過できるため、焼成工程にお
いて、金属粉末シートにふくれ等が生じることがなく、
金属粉末のはがれ、欠陥等が生じなくなる。第二に感圧
接着剤層の分解が進み、接着力が失われる温度において
上記金属粉末シートが粉末化しているために、これによ
り、金属粉末シートの樹脂バインダーが残存している場
合に生じる金属粉末シート層の捲れ上がり、収縮等の位
置のズレを防止できる。このように従来の印刷法、スプ
レー法等において不可避とされていた諸種の問題をこと
ごとく解消でき、剥がれ、位置のズレ等がない高品質の
電極形成を行うことができる。
Effects of the Invention As described above, by using the adhesive sheet for metallizing according to the present invention, when metalizing a ceramic sintered body, since the sheet is formed in advance, the drying time is reduced, unlike when using conductive paste. Since there is no need for this, production efficiency is high, and there is no need to consider the rigidity of the screen marking, so there is a high degree of freedom in material selection. Further, since a pressure-sensitive adhesive layer is provided, good adhesion can be easily obtained even with a weak force, and it is also easy to attach to the surface of a ceramic sintered body having an irregular cross section such as a curved surface or unevenness. Furthermore, the thermal decomposition temperature of the pressure-sensitive adhesive layer is determined by the heat content w1 of the resin binder used in the metal powder sheet. If it is set higher than the temperature, the following advantages will be exhibited. That is, first, at the temperature at which the pressure-sensitive adhesive layer begins to thermally decompose, most of the resin binder in the metal powder sheet has already disappeared, and the metal powder sheet has air permeability. Therefore, the decomposed gas generated by thermal decomposition of the pressure-sensitive adhesive layer can easily pass through the metal powder layer, so that the metal powder sheet does not blister during the firing process.
Metal powder peeling, defects, etc. will no longer occur. Secondly, the metal powder sheet is powdered at the temperature at which the pressure-sensitive adhesive layer decomposes and loses its adhesive strength. It is possible to prevent the powder sheet layer from rolling up, shrinking, etc. and becoming misaligned. In this way, all the various problems that were unavoidable in conventional printing methods, spray methods, etc. can be solved, and high-quality electrodes can be formed without peeling, misalignment, etc.

実  施  例 以下にこの発明の実施例を記載してより具体的に説明す
る。
EXAMPLES Below, examples of the present invention will be described in more detail.

実施例1 平均粒子径、1.2μmの銀粉末/170g、軟化温度
625℃のホウケイ酸ソーダ系ガラス粉末30g、ポリ
メタクリル酸ブチル35g (熱分解終了温度350℃
)、フタル酸ジブチル8g、トルエン16(M、エタノ
ール25(lからなる組成物をボールミル中で混合し、
ドクターブレードにより乾燥厚み50μmとなるように
成形し、乾燥して金属粉末シートを得た。次に厚み20
μmのポリアクリル酸ブチルを主成分としたアクリル系
粘着剤(熱分解終了温度560℃)を上記金属粉末シー
トにラミネートし、電極形成用接着シートとした。
Example 1 170 g of silver powder with an average particle diameter of 1.2 μm, 30 g of sodium borosilicate glass powder with a softening temperature of 625°C, and 35 g of polybutyl methacrylate (thermal decomposition end temperature of 350°C)
), 8 g of dibutyl phthalate, 16 (M) of toluene, and 25 (L) of ethanol were mixed in a ball mill,
It was shaped using a doctor blade to a dry thickness of 50 μm and dried to obtain a metal powder sheet. Next, the thickness is 20
An acrylic pressure-sensitive adhesive (thermal decomposition end temperature: 560° C.) containing μm polybutyl acrylate as a main component was laminated onto the metal powder sheet to obtain an electrode-forming adhesive sheet.

セラミック焼結体としてはチタン酸ジルコン酸鉛(以下
PZTという)を用い上記の電極形成用接着シートを圧
着し、焼成を行った。焼成は大気中で行い、400℃で
60分間脱バインダーを行った模、10℃/l1lin
で700℃まで昇温し、40分間保持した後炉冷した。
Lead zirconate titanate (hereinafter referred to as PZT) was used as a ceramic sintered body, and the above-mentioned adhesive sheet for electrode formation was pressed and fired. Firing was performed in the air, and the binder was removed at 400°C for 60 minutes, at 10°C/l1lin.
The temperature was raised to 700°C, held for 40 minutes, and then cooled in the furnace.

形成された電極は位置のズレ、剥がれ等のない良好なも
のであった。
The formed electrodes were in good condition with no displacement or peeling.

実施例2 平均粒子径0.2μmの銀−パラジウム合金粉末450
g、軟化温度430℃のホウケイ酸鉛系ガラス粉末50
g、ポリメタクリル酸ブチル35g (熱分解終了温度
350℃)フタル酸ジオクチル8g、ソルビタンステア
レート1g1トルエン110g、メチルエチルケトン7
5gからなる組成物をボールミル中で混合し、ドクター
ブレード法により乾燥厚み20μmとなるように成形し
、乾燥して金属粉末シートを得た。次に厚み10μ−の
ポリアクリル酸ブチルを主成分としたアクリル系粘着剤
(熱分解終了温度410℃)を上記金属粉末シートにラ
ミネートし、電極形成用接着シートとした。
Example 2 Silver-palladium alloy powder 450 with an average particle size of 0.2 μm
g, lead borosilicate glass powder with a softening temperature of 430°C 50
g, polybutyl methacrylate 35g (thermal decomposition end temperature 350°C) dioctyl phthalate 8g, sorbitan stearate 1g 1 toluene 110g, methyl ethyl ketone 7
A composition consisting of 5 g was mixed in a ball mill, molded using a doctor blade method to a dry thickness of 20 μm, and dried to obtain a metal powder sheet. Next, an acrylic pressure-sensitive adhesive having a thickness of 10 μm and mainly composed of butyl polyacrylate (thermal decomposition end temperature: 410° C.) was laminated onto the metal powder sheet to obtain an electrode-forming adhesive sheet.

セラミック焼結体としては純度96%のアルミナ基板を
用い上記の電極形成用接着シートを圧着し焼成を行った
。焼成は大気中で行い350℃で60分間脱バインダー
を行った後10℃/mtnで520℃まで昇温し、40
分間保持した後炉冷した。形成された電極は位置のズレ
、剥がれ等のない良好なものであった。
An alumina substrate with a purity of 96% was used as the ceramic sintered body, and the above-mentioned adhesive sheet for electrode formation was pressed and fired. Firing was carried out in the air, and after removing the binder at 350°C for 60 minutes, the temperature was raised to 520°C at a rate of 10°C/mtn, and 40
After holding for a minute, the mixture was cooled in the oven. The formed electrodes were in good condition with no displacement or peeling.

(以 上)(that's all)

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)金属粉末および有機バインダーを主成分とするグ
リーンシートの片面に感圧接着剤層を設けた接着シート
をセラミック上に圧着し、次いで焼成することを特徴と
するセラミックのメタライズ方法。
(1) A method for metallizing ceramics, which comprises pressing an adhesive sheet, which has a pressure-sensitive adhesive layer on one side of a green sheet containing metal powder and an organic binder as main components, onto a ceramic, and then firing it.
(2)金属粉末および有機バインダーを主成分とするグ
リーンシートの少なくとも片面に、感圧接着剤層を設け
たものであるメタライズ用接着シート。
(2) An adhesive sheet for metallization, which has a pressure-sensitive adhesive layer provided on at least one side of a green sheet containing metal powder and an organic binder as main components.
(3)感圧接着剤層が有機バインダーより高温で熱分解
するものである特許請求の範囲第2項に記載のメタライ
ズ用接着シート。
(3) The adhesive sheet for metallization according to claim 2, wherein the pressure-sensitive adhesive layer is thermally decomposed at a higher temperature than the organic binder.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02175681A (en) * 1988-12-28 1990-07-06 Ngk Spark Plug Co Ltd Metallizing method for ceramics

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