JPS63208802A - 軽量化複合ろう付け部材 - Google Patents
軽量化複合ろう付け部材Info
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- JPS63208802A JPS63208802A JP4401787A JP4401787A JPS63208802A JP S63208802 A JPS63208802 A JP S63208802A JP 4401787 A JP4401787 A JP 4401787A JP 4401787 A JP4401787 A JP 4401787A JP S63208802 A JPS63208802 A JP S63208802A
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- Pending
Links
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、軽量にして、冷却効果が高く、例えば炭酸
ガスレーザーの反射鏡や、真空炉の熱反射壁材などとし
ての使用に適した複合ろう付け部材に関するものである
。
ガスレーザーの反射鏡や、真空炉の熱反射壁材などとし
ての使用に適した複合ろう付け部材に関するものである
。
従来、一般に、例えば炭酸ガスレーザーの反射鏡として
、表面を鏡面仕上げした純Ｃｕ製のものや、さらにこの
表面にＡｕめっきを施したものなどが用いられている。
、表面を鏡面仕上げした純Ｃｕ製のものや、さらにこの
表面にＡｕめっきを施したものなどが用いられている。
また、これらの純Ｃｕ製反射鏡では、レーザー照射時間
が長くなると、表面に加工材から発生した金属や非金属
の蒸気が蒸着し、その反射率が低下するようになるばか
シでなく、表面がレーザーのエネルギーを吸収して溶融
し、反射鏡を破損してしまうなどの事故が発生するよう
になシ、シたがって、このような事故を防止するために
は、定期的に表面の蒸着物を除去しなければならないが
。
が長くなると、表面に加工材から発生した金属や非金属
の蒸気が蒸着し、その反射率が低下するようになるばか
シでなく、表面がレーザーのエネルギーを吸収して溶融
し、反射鏡を破損してしまうなどの事故が発生するよう
になシ、シたがって、このような事故を防止するために
は、定期的に表面の蒸着物を除去しなければならないが
。
反射鏡を構成する純ＣＵや、表面のＡｕめつきは非常に
軟かいために、蒸着物をふき取るときに表面を傷つけ易
く、反射特性が損なわれるようになるなどの問題点があ
ることから、近年、炭酸ガスレーザーの反射鏡の材料と
して、純Ｃｕに代って硬質のＭＯを使用することが定着
しつつあシ、かつこのＭ。
軟かいために、蒸着物をふき取るときに表面を傷つけ易
く、反射特性が損なわれるようになるなどの問題点があ
ることから、近年、炭酸ガスレーザーの反射鏡の材料と
して、純Ｃｕに代って硬質のＭＯを使用することが定着
しつつあシ、かつこのＭ。
製反射鏡としては、特に単結晶のものが蒸発物の付着も
少なく、すぐれた性能を発揮している。
少なく、すぐれた性能を発揮している。
一方、炭酸ガスレーザー装置は、地上設備ばかりでなく
、宇宙ステーション忙も設置されるものであるため、装
置自体の軽量化が要求されるようになっており、これに
伴って、比重の大きい（重質の）金属製反射鏡の重量軽
減が望まれている。
、宇宙ステーション忙も設置されるものであるため、装
置自体の軽量化が要求されるようになっており、これに
伴って、比重の大きい（重質の）金属製反射鏡の重量軽
減が望まれている。
かかる軽量化に対する要求に答えるべく、先に特開昭６
１−２７９３９４号公報に示されるｒＭｏ板材を、 Ｓ
ｉ： ８〜１４重量％を含有するＭ合金ろう材を用いて
、Ａ１″！たけＭ合金基材にろう付けしてなる複合ろう
付け部材。」（以下従来軽量化複合ろう付け部材という
）を提案した。
１−２７９３９４号公報に示されるｒＭｏ板材を、 Ｓ
ｉ： ８〜１４重量％を含有するＭ合金ろう材を用いて
、Ａ１″！たけＭ合金基材にろう付けしてなる複合ろう
付け部材。」（以下従来軽量化複合ろう付け部材という
）を提案した。
しかし、上記の従来軽量化複合ろう付け部材においては
、Ｍｏ板材とＡ１またはＭ合金基材との間に、ＭＯの熱
膨張率が５ Ｘ Ｉ Ｏ−６／１１：、Ｍのそれが２３
．３Ｘ １０−’／℃であるように、大きな熱膨張率差
があるため、ろう付けして研磨した後のＭＯ板材側が凸
面を呈するようになり１例えばこれが反射鏡である場合
には、Ｍｏ鏡面に反射したレーザー光に散乱が起るよう
になり、この結果Ｍｏ鏡面に合った凸レンズを用意する
必要が生ずるなどの問題点がある。
、Ｍｏ板材とＡ１またはＭ合金基材との間に、ＭＯの熱
膨張率が５ Ｘ Ｉ Ｏ−６／１１：、Ｍのそれが２３
．３Ｘ １０−’／℃であるように、大きな熱膨張率差
があるため、ろう付けして研磨した後のＭＯ板材側が凸
面を呈するようになり１例えばこれが反射鏡である場合
には、Ｍｏ鏡面に反射したレーザー光に散乱が起るよう
になり、この結果Ｍｏ鏡面に合った凸レンズを用意する
必要が生ずるなどの問題点がある。
そこで、本発明者等は、上記の従来軽量化複合ろう付け
部材のもつ問題点を解決すべく研究を行なった結果、Ｍ
合金としてＡｌ−Ｓｉ合金を選択し、かつこのＡｌ−Ｓ
ｉ合金のＳ１含有量を４５〜８５重量％（以下チは重量
％を示す）と多くすると、熱膨張係数が相対的に低減し
、さらにこのＡｌ −Ｓｉ合金を軽量化のために芯材と
して用い、この芯材の両面に、相対的に熱膨張係数の小
さいＭｏ、Ｍｏ合金、Ｗ、およびＷ合金のうちのいずれ
かで構成された薄板材をろう付けすると、この結果得ら
れた軽量化複合ろう付け部材においては、表面研磨時に
発生する熱歪が著しく小さくおさえられるので、そシな
どの変形がほとんど起らないという知見を得たのである
。
部材のもつ問題点を解決すべく研究を行なった結果、Ｍ
合金としてＡｌ−Ｓｉ合金を選択し、かつこのＡｌ−Ｓ
ｉ合金のＳ１含有量を４５〜８５重量％（以下チは重量
％を示す）と多くすると、熱膨張係数が相対的に低減し
、さらにこのＡｌ −Ｓｉ合金を軽量化のために芯材と
して用い、この芯材の両面に、相対的に熱膨張係数の小
さいＭｏ、Ｍｏ合金、Ｗ、およびＷ合金のうちのいずれ
かで構成された薄板材をろう付けすると、この結果得ら
れた軽量化複合ろう付け部材においては、表面研磨時に
発生する熱歪が著しく小さくおさえられるので、そシな
どの変形がほとんど起らないという知見を得たのである
。
したがって、この発明は、上記知見にもとづいてなされ
たものであって、Ｓｉ： ４５〜８５チを含有するＭ合
金芯材の両面に、Ｍｏ 、 Ｍｏ合金、ＷｌおよびＷ合
金のうちのいずれかで構成された薄板材をろう付けして
なる軽量化複合ろう付け部材に特徴を有するものである
。
たものであって、Ｓｉ： ４５〜８５チを含有するＭ合
金芯材の両面に、Ｍｏ 、 Ｍｏ合金、ＷｌおよびＷ合
金のうちのいずれかで構成された薄板材をろう付けして
なる軽量化複合ろう付け部材に特徴を有するものである
。
なお、この発明の軽量化複合ろう付け部材を構成するＭ
合金芯材のｓｉ含有量を４５〜８５％と定めたのは、そ
の含有量が４５％未満では熱膨張係数の低減が不十分で
、表面研磨時の熱歪発生を完全に抑制することができず
、一方その含有量が８５チを越えると、芯材の耐熱衝撃
性が著しく低下し、例えばレーザー反射鏡に要求される
特性、すなわち温度：４００℃に加熱した状態から水中
へ投入しても割れの発生がない耐熱衝撃性を具備するこ
とができなくなるという理由にもとづくものである。
合金芯材のｓｉ含有量を４５〜８５％と定めたのは、そ
の含有量が４５％未満では熱膨張係数の低減が不十分で
、表面研磨時の熱歪発生を完全に抑制することができず
、一方その含有量が８５チを越えると、芯材の耐熱衝撃
性が著しく低下し、例えばレーザー反射鏡に要求される
特性、すなわち温度：４００℃に加熱した状態から水中
へ投入しても割れの発生がない耐熱衝撃性を具備するこ
とができなくなるという理由にもとづくものである。
つぎに、この発明の軽量化複合ろう付け部材を実施例に
より具体的に説明する。
より具体的に説明する。
芯材として、それぞれ第１表に示される組成を有し、か
つ直径：５００φ×厚さ：９顛の寸法をもった板材を用
意し、ｔた、仁の芯材の両面あるいは片面にろう付けさ
れる薄板材として、同じく第１表に示される組成、およ
び直径：５０ｕφ×厚さ：１．５１１１ｍの寸法を有し
、かつろう付け面にイオンブレーティング法によｐｃｕ
を約１μｍの厚さで蒸着したものを用意し、これら芯材
および薄板材を、Ａｔ−５０％Ｃ）ｅ−５％Ｃｕの組成
を有する厚さ：０．２ｒｕのろう材を介してサンドイン
チ状に重ね合わせ、Ｉ Ｘ １０−’ ｔｏｒｒの真空
中、温度：５４０℃に１０分間保持の条件でろう付けす
ることにより本発明複合ろう付け部材１〜４および比較
複合ろう付け部材１〜４をそれぞれ製造した。
つ直径：５００φ×厚さ：９顛の寸法をもった板材を用
意し、ｔた、仁の芯材の両面あるいは片面にろう付けさ
れる薄板材として、同じく第１表に示される組成、およ
び直径：５０ｕφ×厚さ：１．５１１１ｍの寸法を有し
、かつろう付け面にイオンブレーティング法によｐｃｕ
を約１μｍの厚さで蒸着したものを用意し、これら芯材
および薄板材を、Ａｔ−５０％Ｃ）ｅ−５％Ｃｕの組成
を有する厚さ：０．２ｒｕのろう材を介してサンドイン
チ状に重ね合わせ、Ｉ Ｘ １０−’ ｔｏｒｒの真空
中、温度：５４０℃に１０分間保持の条件でろう付けす
ることにより本発明複合ろう付け部材１〜４および比較
複合ろう付け部材１〜４をそれぞれ製造した。
ついで、この結果得られた各種の複合ろう付け部材につ
いて１重量減を測定すると共に、４００℃に加熱後、水
中に投入の耐熱衝撃性試験を行なって、割れ発生の有無
を観察し、さらに表面を鏡面に研磨後、４８時間放置し
た時点での歪量を干渉計を用いて測定した。これらの結
果を第１表に合せて示した。
いて１重量減を測定すると共に、４００℃に加熱後、水
中に投入の耐熱衝撃性試験を行なって、割れ発生の有無
を観察し、さらに表面を鏡面に研磨後、４８時間放置し
た時点での歪量を干渉計を用いて測定した。これらの結
果を第１表に合せて示した。
第１表に示される結果から、本発明複合ろう付け部材１
〜４は、いずれも軽量にして、すぐれた耐熱衝撃性を有
し、かつ表面鏡面研磨後も熱歪による変形はほとんどな
いのに対して、薄板材のろう付けが片面だけの比較複合
ろう付け部材１．並びに芯材の８１含有量がこの発明の
範囲から外れた比較複合ろう付け部材２〜３においては
、前記の特性のうちの少なくともいずれかの特性が劣る
ことが明らかである。
〜４は、いずれも軽量にして、すぐれた耐熱衝撃性を有
し、かつ表面鏡面研磨後も熱歪による変形はほとんどな
いのに対して、薄板材のろう付けが片面だけの比較複合
ろう付け部材１．並びに芯材の８１含有量がこの発明の
範囲から外れた比較複合ろう付け部材２〜３においては
、前記の特性のうちの少なくともいずれかの特性が劣る
ことが明らかである。
上述のように、この発明の複合ろう付け部材は、軽量に
して、耐熱衝撃性にすぐれ、かつ発熱を伴う鏡面研磨な
どによっても変形の発生はほとんどないので、例えば炭
酸ガスレーザー用反射鏡として用いた場合には著しくす
ぐれた性能を長期に亘って発揮するのである。
して、耐熱衝撃性にすぐれ、かつ発熱を伴う鏡面研磨な
どによっても変形の発生はほとんどないので、例えば炭
酸ガスレーザー用反射鏡として用いた場合には著しくす
ぐれた性能を長期に亘って発揮するのである。
Claims (1)
- Ｓｉ：４５〜８５重量％を含有するＡｌ合金芯材の両面
に、Ｍｏ、Ｍｏ合金、Ｗ、およびＷ合金のうちのいずれ
かで構成された薄板材をろう付けしてなる軽量化複合ろ
う付け部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4401787A JPS63208802A (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | 軽量化複合ろう付け部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4401787A JPS63208802A (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | 軽量化複合ろう付け部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63208802A true JPS63208802A (ja) | 1988-08-30 |
Family
ID=12679909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4401787A Pending JPS63208802A (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | 軽量化複合ろう付け部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63208802A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61130438A (ja) * | 1984-11-29 | 1986-06-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置用材料の製造方法 |
| JPS61279394A (ja) * | 1985-06-06 | 1986-12-10 | Mitsubishi Metal Corp | 炭酸ガスレーザーの反射鏡材 |
| JPS62180301A (ja) * | 1986-02-04 | 1987-08-07 | Toshiba Corp | 反射鏡 |
-
1987
- 1987-02-26 JP JP4401787A patent/JPS63208802A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61130438A (ja) * | 1984-11-29 | 1986-06-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体装置用材料の製造方法 |
| JPS61279394A (ja) * | 1985-06-06 | 1986-12-10 | Mitsubishi Metal Corp | 炭酸ガスレーザーの反射鏡材 |
| JPS62180301A (ja) * | 1986-02-04 | 1987-08-07 | Toshiba Corp | 反射鏡 |
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