JPS63200344A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS63200344A JPS63200344A JP3266487A JP3266487A JPS63200344A JP S63200344 A JPS63200344 A JP S63200344A JP 3266487 A JP3266487 A JP 3266487A JP 3266487 A JP3266487 A JP 3266487A JP S63200344 A JPS63200344 A JP S63200344A
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- JP
- Japan
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- magneto
- optical recording
- recording medium
- film
- rotation angle
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
ル呵例肢血光盟
本発明は、光磁気記録媒体に関し、さらに詳しくは、膜
面に垂直な方向に磁化容易軸を有する非晶質合金薄膜か
らなる光磁気記録媒体に関する。
面に垂直な方向に磁化容易軸を有する非晶質合金薄膜か
らなる光磁気記録媒体に関する。
−１１の ′、−自譲阜ｔらびにその＋１厘鉄３コバル
トなどの遷移金属と、テルビウム＜Ｔｂ＞、ガドリニウ
ム（Ｇｄ）などの希土類元素との合金からなる非晶質薄
膜は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、一方向に
全面磁化された膜面にこの全面磁（上方向とは逆向きの
小さな反転磁区を形成することができることが知られて
いる。この反転磁区の有無を「１」、「０」に対応させ
ることによって、上記のような非晶質薄膜にデジタル信
号を記録させることが可能となる。
トなどの遷移金属と、テルビウム＜Ｔｂ＞、ガドリニウ
ム（Ｇｄ）などの希土類元素との合金からなる非晶質薄
膜は、膜面と垂直な方向に磁化容易軸を有し、一方向に
全面磁化された膜面にこの全面磁（上方向とは逆向きの
小さな反転磁区を形成することができることが知られて
いる。この反転磁区の有無を「１」、「０」に対応させ
ることによって、上記のような非晶質薄膜にデジタル信
号を記録させることが可能となる。
このような光磁気記録媒体として用いられる遷移金属と
希土類元素とからなる非晶質合金薄膜としては、たとえ
ば特公昭５’ ７−３４５８８号公報には、Ｇｄ Ｃ
ｏ非晶質合金薄膜およびＧｄ−Ｆｅ非晶質合金薄膜から
なる磁性媒体が開示されている。
希土類元素とからなる非晶質合金薄膜としては、たとえ
ば特公昭５’ ７−３４５８８号公報には、Ｇｄ Ｃ
ｏ非晶質合金薄膜およびＧｄ−Ｆｅ非晶質合金薄膜から
なる磁性媒体が開示されている。
ところがＧｄ−Ｃｏ非晶質合金薄膜からなる光磁気記録
材料では、光磁気記録に必要なカー回転角が充分ではな
く、またキュリ一点も３００’Ｃ以上と高く、キュリ一
点記録が困難であるという問題点があった。一方、Ｇｄ
−Ｆｅ非晶質合金薄膜からなる光磁気記録材料では、そ
の−成分としてＦｅを含有するため、酸化によってその
光磁気特性が劣化する恐れがあるという間」点があった
。
材料では、光磁気記録に必要なカー回転角が充分ではな
く、またキュリ一点も３００’Ｃ以上と高く、キュリ一
点記録が困難であるという問題点があった。一方、Ｇｄ
−Ｆｅ非晶質合金薄膜からなる光磁気記録材料では、そ
の−成分としてＦｅを含有するため、酸化によってその
光磁気特性が劣化する恐れがあるという間」点があった
。
一方Ｇｄ−Ｆｅ合金にｐｂまたはＳｎを添加するとカー
回転角が大きくなり、しかもキュリ一点が下がるという
報告が、Ｊ、Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ。
回転角が大きくなり、しかもキュリ一点が下がるという
報告が、Ｊ、Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ。
５６ （１０）、 ２８７０〜２８７３ ＜１９
８４）になされている。しかしながら同論文では、ｐｂ
またはＳｎを添加してカー回転角が大きくなりしかもキ
ュリ一点が下がるのは、Ｇｄ−Ｆｅ合金をベースとする
非晶質薄膜からなる光磁気記録材料であって、池の合金
をベースとする非晶質薄膜については餌ら記載されてい
ない。
８４）になされている。しかしながら同論文では、ｐｂ
またはＳｎを添加してカー回転角が大きくなりしかもキ
ュリ一点が下がるのは、Ｇｄ−Ｆｅ合金をベースとする
非晶質薄膜からなる光磁気記録材料であって、池の合金
をベースとする非晶質薄膜については餌ら記載されてい
ない。
まなＧ ｄ Ｃｏ合金、ＴｂＣｏ合金、ＤｙＣｏ合金あ
るいはＥ−１ｏ Ｃｏ合金をベースとする非晶質薄膜か
らなる光磁気記録材料もたとえば特開昭５８−７３７４
６号公報などに記載されているが、これらの光磁気記録
材料においても、その光磁気特性を改良するため、カー
回転角を増加させ、再生時のＣ／Ｎ比を向上させること
が望まれており、しかもキュリ一点を下げることによっ
て、キュリ一点記録を可能にすることが望まれている。
るいはＥ−１ｏ Ｃｏ合金をベースとする非晶質薄膜か
らなる光磁気記録材料もたとえば特開昭５８−７３７４
６号公報などに記載されているが、これらの光磁気記録
材料においても、その光磁気特性を改良するため、カー
回転角を増加させ、再生時のＣ／Ｎ比を向上させること
が望まれており、しかもキュリ一点を下げることによっ
て、キュリ一点記録を可能にすることが望まれている。
−咀例且乃
本発明は、上記のような従来技術に伴なう開運点を解決
しようとするものであって、カー回転角が大きく再生時
のＣ／ Ｎ比が改良され、しかもキュリ一点が低くキュ
リ一点記録が可能であるような非晶質薄膜からなる光磁
気記録材料を提供することを「１的としている。
しようとするものであって、カー回転角が大きく再生時
のＣ／ Ｎ比が改良され、しかもキュリ一点が低くキュ
リ一点記録が可能であるような非晶質薄膜からなる光磁
気記録材料を提供することを「１的としている。
１咀ΩＡ裂
本発明に係る光磁気記録媒体は、膜面に垂直な方向に磁
化容易軸を有し、 （ｉ ）Ｇｄ、Ｔｂ、ＤｙおよびＩ−Ｉ ｏからなる群
から選択される少なくとも１種の金属と、（ｉｉ）Ｐｂ
およびＳｎからなる群から選択される少なくとも１種の
金属と、 （ｉｉｉ ） Ｃｏとを含む非晶質合金薄膜からなるこ
とを特徴としている。
化容易軸を有し、 （ｉ ）Ｇｄ、Ｔｂ、ＤｙおよびＩ−Ｉ ｏからなる群
から選択される少なくとも１種の金属と、（ｉｉ）Ｐｂ
およびＳｎからなる群から選択される少なくとも１種の
金属と、 （ｉｉｉ ） Ｃｏとを含む非晶質合金薄膜からなるこ
とを特徴としている。
本発明に係る光磁気記録媒体は、膜面に垂直な方向に磁
化容易軸を有し、 （ｉ）Ｇｄ、’ｌ’ｂ、ＤｙおよびＨＯからなる群から
選択される少なくとも１種の金属と、（ｉｉ）Ｐｂおよ
びＳｎからなる群から選択される少なくとも１種の金属
と、 （ｉｉｉ ） Ｃｏとを含む非晶質合金薄膜からなるな
め、カー回転角が大きく再生時のＣ／ Ｎ比に優れ、し
かもキュリ一点が低くキュリ一点記録が可能となる。
化容易軸を有し、 （ｉ）Ｇｄ、’ｌ’ｂ、ＤｙおよびＨＯからなる群から
選択される少なくとも１種の金属と、（ｉｉ）Ｐｂおよ
びＳｎからなる群から選択される少なくとも１種の金属
と、 （ｉｉｉ ） Ｃｏとを含む非晶質合金薄膜からなるな
め、カー回転角が大きく再生時のＣ／ Ｎ比に優れ、し
かもキュリ一点が低くキュリ一点記録が可能となる。
１咀Ｏ且体煎皿朋
以下、本発明に係る光磁気記録媒体について具体的に説
明する。
明する。
本発明に係る光磁気記録媒体は、膜面に垂直な方向に磁
化容易軸を有し、（ｉ）Ｃｄ、′ｒｂ、ＤｙおよびＨｏ
からなる群から選択される少なくとも１ ｇ、の金属と
、（ｉ）ＰｂおよびＳｎからなる群から選択される少な
くとも１種の金属と、（ｉｉｉ ） Ｃｏとを含む非晶
質合金薄膜からなっている。
化容易軸を有し、（ｉ）Ｃｄ、′ｒｂ、ＤｙおよびＨｏ
からなる群から選択される少なくとも１ ｇ、の金属と
、（ｉ）ＰｂおよびＳｎからなる群から選択される少な
くとも１種の金属と、（ｉｉｉ ） Ｃｏとを含む非晶
質合金薄膜からなっている。
Ｇｄ−Ｃｏ、Ｔｂ−Ｃｏ、Ｄｙ−Ｃｏ、Ｈｏ−Ｃｏ系非
晶質合金薄膜に、ｐｂまたはＳｎあるいはこの両者を添
加することによって、カー回転角θｋが大きくなり、し
かもキュリ一点Ｔｃを低くすることができる。
晶質合金薄膜に、ｐｂまたはＳｎあるいはこの両者を添
加することによって、カー回転角θｋが大きくなり、し
かもキュリ一点Ｔｃを低くすることができる。
上記のような本発明に係る光磁気記録媒体の組成に関し
て、この光磁気記録媒体の組成を（ＲＩ’＝ ｘ Ｃ−
０１００−ｘ ） １００−Ｖ Ｍ ｙ Ｃ式中ＲＥは
Ｇｄ、”Ｔ’ｂ、Ｄｙ！３よびＨｏかｌ−）な７．）ｕ
からＩＣ択される少なくとも１種の金属を示し、Ｍは
ｐｂおよびＳｎからなる群から選択される少なくとも１
種の金属を示す）として表わした場合に、Ｘは１５〜３
５好ましくは１５〜３０である。Ｘが上記範囲外である
と、保磁力は小さくなり、ついには垂直磁化膜とならな
くなるため好ましくない。
て、この光磁気記録媒体の組成を（ＲＩ’＝ ｘ Ｃ−
０１００−ｘ ） １００−Ｖ Ｍ ｙ Ｃ式中ＲＥは
Ｇｄ、”Ｔ’ｂ、Ｄｙ！３よびＨｏかｌ−）な７．）ｕ
からＩＣ択される少なくとも１種の金属を示し、Ｍは
ｐｂおよびＳｎからなる群から選択される少なくとも１
種の金属を示す）として表わした場合に、Ｘは１５〜３
５好ましくは１５〜３０である。Ｘが上記範囲外である
と、保磁力は小さくなり、ついには垂直磁化膜とならな
くなるため好ましくない。
まなｙは０．５〜２０好ましくは１〜１０である。
ｙが上記範囲外であると、得られる膜がアモルファス膜
でなくなり、耐酸化性も低下するため好ましくない。
でなくなり、耐酸化性も低下するため好ましくない。
本発明に係る光磁気記録媒体を一般式（ＲＥｘＣｏｌｏ
ｏ−ｘ ） １００−ｙ Ｍｙとして表わした場合に、
ｘ、ｙともに好ましい範囲すなわち］５≦Ｘ≦３０．１
≦ｙ≦１０にある場合には、この光磁気記録媒体のカー
回転角θ１（は０．０３〜０．３７°にも達し、保磁力
Ｈｃは約２．０Ｋ Ｏｅであり、角形比は約１である。
ｏ−ｘ ） １００−ｙ Ｍｙとして表わした場合に、
ｘ、ｙともに好ましい範囲すなわち］５≦Ｘ≦３０．１
≦ｙ≦１０にある場合には、この光磁気記録媒体のカー
回転角θ１（は０．０３〜０．３７°にも達し、保磁力
Ｈｃは約２．０Ｋ Ｏｅであり、角形比は約１である。
またｘ、ｙのいずれも本発明の組成範囲内であるが、ｘ
、ｙの少なく一方が上記のような好ましい範囲内にない
場合には、光磁気記録媒体のカー回転角θには０．１８
〜０．２７°であり、保磁力１（ｃは２．０〜６．０Ｋ
Ｏｅであり、角形比は約１である。これに対してｘ、ｙ
のいずれもが本発明の組成範囲外である場合には、得ら
れる光磁気記録媒体はほとんど垂直磁ｆヒ膜とならず、
仮に垂直磁化膜となってもカー回転角θには０〜０゜０
８°であり、保磁力は０〜Ｉ Ｋ Ｏｅであり、角形比
は０．７以下である。
、ｙの少なく一方が上記のような好ましい範囲内にない
場合には、光磁気記録媒体のカー回転角θには０．１８
〜０．２７°であり、保磁力１（ｃは２．０〜６．０Ｋ
Ｏｅであり、角形比は約１である。これに対してｘ、ｙ
のいずれもが本発明の組成範囲外である場合には、得ら
れる光磁気記録媒体はほとんど垂直磁ｆヒ膜とならず、
仮に垂直磁化膜となってもカー回転角θには０〜０゜０
８°であり、保磁力は０〜Ｉ Ｋ Ｏｅであり、角形比
は０．７以下である。
上記のような組成範囲で非晶質合金薄膜を形成すると、
カー・ヒステリシスが良好な角形ループを示す垂直磁化
膜が得られる。
カー・ヒステリシスが良好な角形ループを示す垂直磁化
膜が得られる。
なお、本明細書において、カー・ヒステリシスが良好な
角形ループを示すか否かの判定は、以下のようにして行
なう。本発明に係る光磁気記録媒体のカー・ヒステリシ
ス（最大外部磁場１０］（Ｏｅ、磁場掃引周波数０．０
４Ｈｚ）を図示した場合に、最大外部磁場におけるカー
回転角である飽和カー回転角くθに１）と外部磁場ゼロ
におけるカー回転角である残留カー回転角（θに２）と
の比θに２／θに１が０．８以上である場合に良好であ
ると判定し、θに２／θに１が０．８未満である場合に
不良であると判定した。
角形ループを示すか否かの判定は、以下のようにして行
なう。本発明に係る光磁気記録媒体のカー・ヒステリシ
ス（最大外部磁場１０］（Ｏｅ、磁場掃引周波数０．０
４Ｈｚ）を図示した場合に、最大外部磁場におけるカー
回転角である飽和カー回転角くθに１）と外部磁場ゼロ
におけるカー回転角である残留カー回転角（θに２）と
の比θに２／θに１が０．８以上である場合に良好であ
ると判定し、θに２／θに１が０．８未満である場合に
不良であると判定した。
本発明に係る光磁気記録媒体では、上記のような金属に
加えて、さらに第４成分として、Ｆｅを少量含ませるこ
とも可能である。第４成分として少量のＦｅを含ませる
ことによって、キュリ一点Ｔｃを低くすることができ、
またカー回転角θｋを大きくすることができる。このよ
うなＦｅを光磁気記録媒体に含まぜる場合には、Ｆｅの
量はＣｏとＦ ｅの合計原子比を１として０，５未満好
ましくは０，４以下である。
加えて、さらに第４成分として、Ｆｅを少量含ませるこ
とも可能である。第４成分として少量のＦｅを含ませる
ことによって、キュリ一点Ｔｃを低くすることができ、
またカー回転角θｋを大きくすることができる。このよ
うなＦｅを光磁気記録媒体に含まぜる場合には、Ｆｅの
量はＣｏとＦ ｅの合計原子比を１として０，５未満好
ましくは０，４以下である。
次に、本発明に係る光磁気記録媒体の製造方法について
説明する。
説明する。
本発明に係る光磁気記録媒体の製造方法では、スパッタ
リング法あるいは電子ビーム蒸着法などの従来公知の成
膜条件で、基板上に上記のような組成の光磁気記録膜を
形成する。
リング法あるいは電子ビーム蒸着法などの従来公知の成
膜条件で、基板上に上記のような組成の光磁気記録膜を
形成する。
またスパッタリング時に、基板を負電位になるようにバ
イアスすることもできる。このようにすると、電界で加
速されたアルゴンなどの不活性ガスイオンはターゲット
物質ばかりでなく成膜されつつある垂直磁化膜をもたた
くことになり、優れた特性を有する垂直磁化膜が得られ
ることがある。
イアスすることもできる。このようにすると、電界で加
速されたアルゴンなどの不活性ガスイオンはターゲット
物質ばかりでなく成膜されつつある垂直磁化膜をもたた
くことになり、優れた特性を有する垂直磁化膜が得られ
ることがある。
灸哩Ω効呈
本発明に１系る光磁気記録媒体は、膜面に垂直な方向に
磁１ヒ容易軸を有し、 （ｉ ）Ｇｄ、Ｔｂ、ＤｙおよびＨＯからなる群から選
択される少なくとも１桂の金属と、（ｉ）ＰｂおよびＳ
ｎからなる群から２択される少なくとも１種の金属と、 （ｉｉｉ ） Ｃｏとを含む非晶質合金薄膜からなるた
め、カー回転角が大きく再生時のＣ／Ｎ比に優れ、しか
もキュリ一点が低くキュリ一点記録が可能となる。
磁１ヒ容易軸を有し、 （ｉ ）Ｇｄ、Ｔｂ、ＤｙおよびＨＯからなる群から選
択される少なくとも１桂の金属と、（ｉ）ＰｂおよびＳ
ｎからなる群から２択される少なくとも１種の金属と、 （ｉｉｉ ） Ｃｏとを含む非晶質合金薄膜からなるた
め、カー回転角が大きく再生時のＣ／Ｎ比に優れ、しか
もキュリ一点が低くキュリ一点記録が可能となる。
以下本発明を実験例により説明するが、本発明はこれら
実験例に限定されるものではない。
実験例に限定されるものではない。
夫腋伍上ユニ旦
ターゲットとして、Ｃｏターゲット上にＴｂ、１） ｂ
のチップを所定割合で配置した複合ターゲットを用い、
ガラス基板上にＴｂ−Ｃｏ−Ｐｂ三元合金膜からなる垂
直磁化膜を被着さぜな。
のチップを所定割合で配置した複合ターゲットを用い、
ガラス基板上にＴｂ−Ｃｏ−Ｐｂ三元合金膜からなる垂
直磁化膜を被着さぜな。
この時（ＴｂｘＣｏｌｏｏ−ｘ）１ｏｏ−ＶＰｂ、とし
てｘ＝２５または２８になるよう調整しながら、ｐｂの
量（ｙ）を社々変化させて垂直磁化膜を形成し、得られ
た磁化膜のカー回転角θＩ＜（ｄｏ！Ｊ、）を測定した
。
てｘ＝２５または２８になるよう調整しながら、ｐｂの
量（ｙ）を社々変化させて垂直磁化膜を形成し、得られ
た磁化膜のカー回転角θＩ＜（ｄｏ！Ｊ、）を測定した
。
結果を第１図に示す。
この結果を見ても判るとおり、Ｐｂの量が増加するに従
いカー回転角が増大することが明らかである。
いカー回転角が増大することが明らかである。
丈敗但工上２１５
実験例１と同様に垂直磁［ヒ膜を作成した。実験例１１
〜１３は、本発明のうちとくに好適な組成比を示すもの
である。この結果を見ても判るとおリ、（ＲＥｘ ”ｏ
ｌｏｏ−ｘ ）１００−Ｖ ＭＶなる組成において、１
５≦Ｘ≦３０．１≦ｙ≦１０の場合、カー回転角が０．
３０°以上と大きく、保磁力、角形性も良好である。
〜１３は、本発明のうちとくに好適な組成比を示すもの
である。この結果を見ても判るとおリ、（ＲＥｘ ”ｏ
ｌｏｏ−ｘ ）１００−Ｖ ＭＶなる組成において、１
５≦Ｘ≦３０．１≦ｙ≦１０の場合、カー回転角が０．
３０°以上と大きく、保磁力、角形性も良好である。
夾賄皿工立
実験例１と同様にして、（Ｔｂ１４ＣＯ８６〉６４Ｐｂ
３６の組成の垂直磁化膜の作成を試みたが、垂直磁化膜
は形成できなかった。
３６の組成の垂直磁化膜の作成を試みたが、垂直磁化膜
は形成できなかった。
第１図は、本発明に係る（ＴｂｘＣｏｌｏｏ−ｘ ＞１
００−７ ’ ｂＶなる組成の垂直磁化膜において、Ｐ
ｂ含有量を変化させた場合のカー回転角θにの変化を
示す図である。 代理人 弁理士 銘木 俊一部 第 １ 図 ｙ値
００−７ ’ ｂＶなる組成の垂直磁化膜において、Ｐ
ｂ含有量を変化させた場合のカー回転角θにの変化を
示す図である。 代理人 弁理士 銘木 俊一部 第 １ 図 ｙ値
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）膜面に垂直な方向に磁化容易軸を有し、（ｉ）Ｇｄ
、Ｔｂ、ＤｙおよびＨｏからなる群から選択される少な
くとも１種の金属と、 （ｉｉ）ＰｂおよびＳｎからなる群から選択される少な
くとも１種の金属と、 （ｉｉｉ）Ｃｏとを含む非晶質合金薄膜からなることを
特徴とする光磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3266487A JPS63200344A (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3266487A JPS63200344A (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63200344A true JPS63200344A (ja) | 1988-08-18 |
Family
ID=12365130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3266487A Pending JPS63200344A (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63200344A (ja) |
-
1987
- 1987-02-16 JP JP3266487A patent/JPS63200344A/ja active Pending
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