JPS63198834A - プロ−ブ型ａｔｒ装置 - Google Patents
プロ−ブ型ａｔｒ装置Info
- Publication number
- JPS63198834A JPS63198834A JP62031173A JP3117387A JPS63198834A JP S63198834 A JPS63198834 A JP S63198834A JP 62031173 A JP62031173 A JP 62031173A JP 3117387 A JP3117387 A JP 3117387A JP S63198834 A JPS63198834 A JP S63198834A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- crystal
- atr crystal
- interference light
- atr
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 50
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract description 12
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000009466 transformation Effects 0.000 abstract 1
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004847 absorption spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/552—Attenuated total reflection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は測定試料を分光計の試料室に装填することなく
任意の場所で測定することのできるプローブ型の全反射
吸収装置（ＡＴＲ装置〉に関する。
任意の場所で測定することのできるプローブ型の全反射
吸収装置（ＡＴＲ装置〉に関する。
［従来技術］
フーリエ変換赤外分光光度計を用いた測定法には各種あ
るが、近時、試料のμｍオーダの深さ方向の表面情報が
容易に得られることから全反射吸収スペクトル法が普及
して来ている。この全反射吸収スペクトル法を実施する
際には、フーリエ変換赤外分光光度計の試料室内にＡＴ
Ｒ装置を組込み、それに付属するＡＴＲ結品に試料を密
接させて測定を行なっている。
るが、近時、試料のμｍオーダの深さ方向の表面情報が
容易に得られることから全反射吸収スペクトル法が普及
して来ている。この全反射吸収スペクトル法を実施する
際には、フーリエ変換赤外分光光度計の試料室内にＡＴ
Ｒ装置を組込み、それに付属するＡＴＲ結品に試料を密
接させて測定を行なっている。
Ｕ考案が解決しようとする問題点コ
そのため、直接試料室内に装填することかできないよう
な大型の試料においては、試料を適当な大きさに切断し
なければならず、試料が破壊されることは避けられない
。また、試料室に直接装填可能な大きさの試料において
も、試料交換の度に測定試料を試料室内の試料ステージ
に挿脱しなければならないため、取扱いが非常に厄介で
あり、また、任意形状の試料を試料ステージに装着可能
とするために、各種の試料ホルダを用意しなければなら
ず、コストアップの原因となる。
な大型の試料においては、試料を適当な大きさに切断し
なければならず、試料が破壊されることは避けられない
。また、試料室に直接装填可能な大きさの試料において
も、試料交換の度に測定試料を試料室内の試料ステージ
に挿脱しなければならないため、取扱いが非常に厄介で
あり、また、任意形状の試料を試料ステージに装着可能
とするために、各種の試料ホルダを用意しなければなら
ず、コストアップの原因となる。
そこで、本発明は斯かる点に鑑みてなされたものであり
、測定試料を試料室内に装填することなく任意の場所で
測定することのできるプローブ型の△Ｔ Ｒ装置を提供
することを目的とするものである。
、測定試料を試料室内に装填することなく任意の場所で
測定することのできるプローブ型の△Ｔ Ｒ装置を提供
することを目的とするものである。
［問題点を解決するための手段］
上記目的を達成するために、本発明はフレームと、該フ
レームの先端に保持され、かつその表面が謂定試料と接
触できるように外部に露出しているＡＴＲ結晶と、外部
光源から該ＡＴＲ結晶の内部に測定光を導き、ＡＴＲ結
晶と試料との接触面で全反射させるための可撓性を有す
る光伝達手段とからなることを特徴とするものである。
レームの先端に保持され、かつその表面が謂定試料と接
触できるように外部に露出しているＡＴＲ結晶と、外部
光源から該ＡＴＲ結晶の内部に測定光を導き、ＡＴＲ結
晶と試料との接触面で全反射させるための可撓性を有す
る光伝達手段とからなることを特徴とするものである。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
［実施例］
第１図は本発明によるＡＴＲ装置を用いたフーリエ変換
赤外分光光度計の一例を示す図、第２図は第１図の要部
拡大断面図である。
赤外分光光度計の一例を示す図、第２図は第１図の要部
拡大断面図である。
両図において、１は分光計、２は光ファイバーで、前記
分光計１からの干渉光Ｒをペンシル型フレーム３の先端
まで導くためのものである。このフレーム３の先端部に
はテーパー４が形成してあり、また、その中央部分には
球状のＡＴＲ結晶５が多数のボール６を介して回転可能
に保持されている。このＡＴＲ結晶５はその一部がフレ
ーム３の先端かられずかに露出するようにこのフレーム
に保持されている。７は前記フレーム３内のＡＴＲ結晶
５の近傍に設置された検知器で、この検知器で検出され
た検出信号はリードＦｉｉ８ａ、８ｂを介して図示外の
コンピュータに送られる。尚、図示しないが前記各リー
ド線は前記光ファイバー２に並設されると共に、これら
の部材はカバーによって被覆されている。
分光計１からの干渉光Ｒをペンシル型フレーム３の先端
まで導くためのものである。このフレーム３の先端部に
はテーパー４が形成してあり、また、その中央部分には
球状のＡＴＲ結晶５が多数のボール６を介して回転可能
に保持されている。このＡＴＲ結晶５はその一部がフレ
ーム３の先端かられずかに露出するようにこのフレーム
に保持されている。７は前記フレーム３内のＡＴＲ結晶
５の近傍に設置された検知器で、この検知器で検出され
た検出信号はリードＦｉｉ８ａ、８ｂを介して図示外の
コンピュータに送られる。尚、図示しないが前記各リー
ド線は前記光ファイバー２に並設されると共に、これら
の部材はカバーによって被覆されている。
かかる装置における試料測定について、以下に詳説する
。
。
先ず、第１図にその状態を示すＪ：うにフレーム３を千
９にて保持し、測定すべき試料１０上まで運んだ後、第
２図に示すようにフレーム３を試料１０に対して垂直に
配置した状態で押圧しＡＴＲ結晶５が試Ｆ１．１０とで
きるだ番ノ広い面積で接触するようにする。このとき、
ＡＴＲ結晶５に入射した光ファイバー２からの干渉光Ｒ
がＡＴＲ結晶と試料との接触部Ｐにおいて全反射すると
共に、その全反射した干渉光がＡＴＲ結晶を出射して検
知器７に入射するようにＡＴＲ結晶に・対して光ファイ
バー及び検知器が配置しである。そのため、ＡＴＲ結晶
５と試料１０との接触領域において、干渉光Ｒの試料へ
のもぐり込み及び試料による吸収が行なわれ、そのよう
な影響を受けた干渉光が検知器７に検出される。得られ
た検出信号はリード線８ａ、８ｂを介してコンピュータ
に送られてフーリエ変換されるため、全反射吸収スペク
トルを得ることができる。そして、フレーム３を垂直に
保った状態で水平移動させてＡＴＲ結晶５と試料１０と
の接触部位を選べば、試料の任意の部位の全反射吸収ス
ペクトルを１りることができる。
９にて保持し、測定すべき試料１０上まで運んだ後、第
２図に示すようにフレーム３を試料１０に対して垂直に
配置した状態で押圧しＡＴＲ結晶５が試Ｆ１．１０とで
きるだ番ノ広い面積で接触するようにする。このとき、
ＡＴＲ結晶５に入射した光ファイバー２からの干渉光Ｒ
がＡＴＲ結晶と試料との接触部Ｐにおいて全反射すると
共に、その全反射した干渉光がＡＴＲ結晶を出射して検
知器７に入射するようにＡＴＲ結晶に・対して光ファイ
バー及び検知器が配置しである。そのため、ＡＴＲ結晶
５と試料１０との接触領域において、干渉光Ｒの試料へ
のもぐり込み及び試料による吸収が行なわれ、そのよう
な影響を受けた干渉光が検知器７に検出される。得られ
た検出信号はリード線８ａ、８ｂを介してコンピュータ
に送られてフーリエ変換されるため、全反射吸収スペク
トルを得ることができる。そして、フレーム３を垂直に
保った状態で水平移動させてＡＴＲ結晶５と試料１０と
の接触部位を選べば、試料の任意の部位の全反射吸収ス
ペクトルを１りることができる。
また、かかる全反射吸収スペクトル測定を繰返し行なう
と共に、各測定の間におけるフレーム３の移動が無視で
きる程度の速さでフレームを連続的に動かずようにすれ
ば、試料の連続検査を行なうことが可能となる。ここで
、フレーム３を水平移動させる際、その移動に伴ってＡ
ＴＲ結晶５が回転するため、フレームの移動をスムーズ
に行なうことができると共に試料表面に傷をつける恐れ
も少ない。
と共に、各測定の間におけるフレーム３の移動が無視で
きる程度の速さでフレームを連続的に動かずようにすれ
ば、試料の連続検査を行なうことが可能となる。ここで
、フレーム３を水平移動させる際、その移動に伴ってＡ
ＴＲ結晶５が回転するため、フレームの移動をスムーズ
に行なうことができると共に試料表面に傷をつける恐れ
も少ない。
尚、前述の説明は本発明の一例であり、実施にあたって
は幾多の変形が考えられる。例えば、球状のＡＴＲ結晶
５として低屈折率の物質を用いた場合には、第２図に示
すようにＡＴＲ結晶５と試料１０との接触部Ｐに入射す
る干渉光Ｒの入射角度が小さいと、干渉光は全反射する
ことができない。そこで、第３図に示ずように球状のＡ
ＴＲ結晶５に互いに平行な２つの反射面５ａ、５ｂを対
称な位置に夫々形成すると共に、各反射面がフレーム３
の軸心と平行になるようにこのＡＴＲ結晶をフレームに
保持させる。このようになせば、ＡＴＲ結晶内に入射し
た干渉光Ｒは一方の反射面５ａで全反射し、ＡＴＲ結晶
と試料との接触部Ｐに大きな入射角でもって入射させる
ことができるため、全反射が可能となる。そして、全反
則した干渉光は他方の反射面５ｂで全反射してからＡ
Ｔ Ｒ結晶から取出され検知器７に検出される。
は幾多の変形が考えられる。例えば、球状のＡＴＲ結晶
５として低屈折率の物質を用いた場合には、第２図に示
すようにＡＴＲ結晶５と試料１０との接触部Ｐに入射す
る干渉光Ｒの入射角度が小さいと、干渉光は全反射する
ことができない。そこで、第３図に示ずように球状のＡ
ＴＲ結晶５に互いに平行な２つの反射面５ａ、５ｂを対
称な位置に夫々形成すると共に、各反射面がフレーム３
の軸心と平行になるようにこのＡＴＲ結晶をフレームに
保持させる。このようになせば、ＡＴＲ結晶内に入射し
た干渉光Ｒは一方の反射面５ａで全反射し、ＡＴＲ結晶
と試料との接触部Ｐに大きな入射角でもって入射させる
ことができるため、全反射が可能となる。そして、全反
則した干渉光は他方の反射面５ｂで全反射してからＡ
Ｔ Ｒ結晶から取出され検知器７に検出される。
また、ＡＴＲ結晶として上記実施例では球状のものを使
用した場合について述べたが、第４図及び第４図のＡＡ
断面図である第５図に示すように円柱状のＡＴＲ結晶１
１を使用することもできる。
用した場合について述べたが、第４図及び第４図のＡＡ
断面図である第５図に示すように円柱状のＡＴＲ結晶１
１を使用することもできる。
第４図及び第５図において、１２はＡＴＲ結晶１１を回
転可能に保持するための半円筒状の軸受で、フレーム１
３の先端に固定されている。前記ＡＴＲ結晶１１の両端
部１１８．１１ｂには円錐状の入射面、出射面が夫々形
成されているため、光ファイバー１４を介して導かれた
干渉光は１１ａ側からΔＴＲ結晶内に尋人され、その内
部で企及）ｊを行ないながら１１ｂ側に移動して外部に
取出され、さらに、光ファイバー１５を介して第１図で
示す分光計１に送られる。また、ＡＴＲ結晶の各ｇ＝部
と各光ファイバーとの間にはわずかな隙間が設けられ、
ＡＴＲ結晶の回転を阻害しないようにしである。、１６
は各光ファイバー１４．１５を支持するための支持台で
ある。
転可能に保持するための半円筒状の軸受で、フレーム１
３の先端に固定されている。前記ＡＴＲ結晶１１の両端
部１１８．１１ｂには円錐状の入射面、出射面が夫々形
成されているため、光ファイバー１４を介して導かれた
干渉光は１１ａ側からΔＴＲ結晶内に尋人され、その内
部で企及）ｊを行ないながら１１ｂ側に移動して外部に
取出され、さらに、光ファイバー１５を介して第１図で
示す分光計１に送られる。また、ＡＴＲ結晶の各ｇ＝部
と各光ファイバーとの間にはわずかな隙間が設けられ、
ＡＴＲ結晶の回転を阻害しないようにしである。、１６
は各光ファイバー１４．１５を支持するための支持台で
ある。
このようになせば、ＡＴＲ結晶１１に対する試料１７の
接触面積、つまり干渉光の吸収される領域を広くするこ
とができるため、全反射吸収スペクトルを感度良く測定
することができる。
接触面積、つまり干渉光の吸収される領域を広くするこ
とができるため、全反射吸収スペクトルを感度良く測定
することができる。
また、第２図及び第３図で示ず各実施例ではＡＴＲ結晶
から取出された干渉光を検知器で検出した場合を示した
が、これに限定されることなく、フレームに検知器を取
付【ノないで、第４図のようにＡ Ｔ Ｒ結晶から取出
された干渉光を光ファイバーを介して分光１内のマイケ
ルソン型干渉計に導くようにしても良い。この場合にお
いては、ＡＴＲ結晶に赤外光を導入し、試料への吸収等
の影響を受けた赤外光をＡＴＲ結晶から取出した後、マ
イケルソン型干渉計で干渉させるようにしても良い。
から取出された干渉光を検知器で検出した場合を示した
が、これに限定されることなく、フレームに検知器を取
付【ノないで、第４図のようにＡ Ｔ Ｒ結晶から取出
された干渉光を光ファイバーを介して分光１内のマイケ
ルソン型干渉計に導くようにしても良い。この場合にお
いては、ＡＴＲ結晶に赤外光を導入し、試料への吸収等
の影響を受けた赤外光をＡＴＲ結晶から取出した後、マ
イケルソン型干渉計で干渉させるようにしても良い。
また、上記各実施例では分光泪と△ＴＲ結晶との間を光
ファイバーによって接続した場合について述べたが、こ
れに限定されることなく、赤外光をＡＴＲ結晶に伝達で
きればどのような構造のものでも良く、例えば、光が漏
れないようにしたパイプ内に鏡やプリズムを組込んで赤
外光を△ＴＲ結晶まで導くようにしても良い。
ファイバーによって接続した場合について述べたが、こ
れに限定されることなく、赤外光をＡＴＲ結晶に伝達で
きればどのような構造のものでも良く、例えば、光が漏
れないようにしたパイプ内に鏡やプリズムを組込んで赤
外光を△ＴＲ結晶まで導くようにしても良い。
また、上記各実施例ではＡＴＲ結晶を回転可能となした
が、試料とＡＴ−Ｒ結晶の間の摩擦が問題にならない場
合には、必ずしもＡＴＲ結晶を回転させる必要はない。
が、試料とＡＴ−Ｒ結晶の間の摩擦が問題にならない場
合には、必ずしもＡＴＲ結晶を回転させる必要はない。
又、フーリエ変換赤外分光光度計に限定されることなく
分散型赤外分光光度計にも適用可能であるし、波長域も
赤外領域に限らず、例えば、可視領域や紫外領域にも適
用できることは言うまでもない。
分散型赤外分光光度計にも適用可能であるし、波長域も
赤外領域に限らず、例えば、可視領域や紫外領域にも適
用できることは言うまでもない。
〔効果］
以上詳述した如く本発明によれば、試料を分光計の試料
室内に装填することなく任意の場所で測定づることので
きるＡＴＲＴＲ装置供することができる。その結果、大
きな試料でも従来のように切断りる必要がなくなるため
、試料が破壊されることがなく、測定後試料を使用する
ことができる。
室内に装填することなく任意の場所で測定づることので
きるＡＴＲＴＲ装置供することができる。その結果、大
きな試料でも従来のように切断りる必要がなくなるため
、試料が破壊されることがなく、測定後試料を使用する
ことができる。
また、測定の度に試料を試料室内に挿脱する必要もなく
なるため、取扱いが非常に容易になると同時に、各種の
試料ホルダを用意する必要もなくなるため、コストの低
減を図ることができる。
なるため、取扱いが非常に容易になると同時に、各種の
試料ホルダを用意する必要もなくなるため、コストの低
減を図ることができる。
第１図は本発明によるＡＴＲ装置を用いたフーリエ変換
赤外分光光度計の一例を示す図、第２図は第１図の要部
拡大断面図、第３図は本発明の伯の実施例を示す要部拡
大断面図、第４図は本発明のさらに他の実施例を示す斜
視図、第５図は第４図のＡＡ所面図である。 １：分光計 ２．１４．１５：光ファイバー ３．１３：フレーム ４：テーパー ５．１１ ：ＡＴＲ結晶 ６：ボール ７：検知器 ８ａ、８ｂ：リード線 ９：手 １０．１７：試料 １２：軸受 １６：支持板
赤外分光光度計の一例を示す図、第２図は第１図の要部
拡大断面図、第３図は本発明の伯の実施例を示す要部拡
大断面図、第４図は本発明のさらに他の実施例を示す斜
視図、第５図は第４図のＡＡ所面図である。 １：分光計 ２．１４．１５：光ファイバー ３．１３：フレーム ４：テーパー ５．１１ ：ＡＴＲ結晶 ６：ボール ７：検知器 ８ａ、８ｂ：リード線 ９：手 １０．１７：試料 １２：軸受 １６：支持板
Claims (1)
- フレームと、該フレームの先端に保持され、かつその表
面が測定試料と接触できるように外部に露出しているＡ
ＴＲ結晶と、外部光源から該ＡＴＲ結晶の内部に測定光
を導き、ＡＴＲ結晶と試料との接触面で全反射させるた
めの可撓性を有する光伝達手段とからなるプローブ型Ａ
ＴＲ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62031173A JPS63198834A (ja) | 1987-02-13 | 1987-02-13 | プロ−ブ型ａｔｒ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62031173A JPS63198834A (ja) | 1987-02-13 | 1987-02-13 | プロ−ブ型ａｔｒ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63198834A true JPS63198834A (ja) | 1988-08-17 |
Family
ID=12324050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62031173A Pending JPS63198834A (ja) | 1987-02-13 | 1987-02-13 | プロ−ブ型ａｔｒ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63198834A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004347326A (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Hitachi Ltd | 非破壊診断装置 |
| JP5011302B2 (ja) * | 2006-09-19 | 2012-08-29 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 偏光測定装置 |
| JP2013200165A (ja) * | 2012-03-23 | 2013-10-03 | Kansai Paint Co Ltd | プローブ用キャップ及びプローブ |
-
1987
- 1987-02-13 JP JP62031173A patent/JPS63198834A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004347326A (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Hitachi Ltd | 非破壊診断装置 |
| JP5011302B2 (ja) * | 2006-09-19 | 2012-08-29 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 偏光測定装置 |
| JP2013200165A (ja) * | 2012-03-23 | 2013-10-03 | Kansai Paint Co Ltd | プローブ用キャップ及びプローブ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5329357A (en) | Spectroscopic ellipsometry apparatus including an optical fiber | |
| US4991971A (en) | Fiber optic scatterometer for measuring optical surface roughness | |
| JP4070222B2 (ja) | 錠剤の近赤外線透過スペクトル測定用器具 | |
| US20190025141A1 (en) | Prism-coupling systems and methods for characterizing curved parts | |
| US5241369A (en) | Two-dimensional optical scatterometer apparatus and process | |
| US5517301A (en) | Apparatus for characterizing an optic | |
| US6970249B1 (en) | Plasmon resonance phase imaging | |
| EP0094864B1 (fr) | Procédé et dispositif de mesure simultanée de caractéristiques géométriques d'une fibre optique | |
| JPS622138A (ja) | 流体媒質の光吸収を測定する方法と装置 | |
| JPS5965708A (ja) | 自動表面検査用のゾンデ | |
| EP0396409A2 (en) | High resolution ellipsometric apparatus | |
| JP2002530668A (ja) | Ｓｐｒセンサの並列読出しのための測定集成装置 | |
| US3854044A (en) | A method and apparatus for measuring a transmission spectrum of a film | |
| JPS63198834A (ja) | プロ−ブ型ａｔｒ装置 | |
| JPS62266439A (ja) | 分光偏光測定装置 | |
| US5517032A (en) | Thin film thickness measuring system | |
| US7623237B1 (en) | Sample investigating system | |
| US6310348B1 (en) | Spectroscopic accessory for examining films and coatings on solid surfaces | |
| US20030128363A1 (en) | Method and device for suppressing multiple scattering when examining turbid media by means of three-dimensional cross-correlation technique | |
| JPH06222013A (ja) | 表面の光学的検査装置 | |
| JP3871415B2 (ja) | 分光透過率測定装置 | |
| US3504983A (en) | Ellipsoidal mirror reflectometer including means for averaging the radiation reflected from the sample | |
| JP3179136B2 (ja) | 顕微赤外ａｔｒ測定装置 | |
| JPS61228331A (ja) | 分光々度計試料測定装置 | |
| EP0532291B1 (en) | Measuring geometry of optical fibre coatings |