JPS63188946U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63188946U JPS63188946U JP7876187U JP7876187U JPS63188946U JP S63188946 U JPS63188946 U JP S63188946U JP 7876187 U JP7876187 U JP 7876187U JP 7876187 U JP7876187 U JP 7876187U JP S63188946 U JPS63188946 U JP S63188946U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- umbrella
- wall
- pressure gas
- shaped part
- semiconductor substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 claims 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第１図イ，ロ〜第２図イ，ロは本考案の実施例
の断面図及び上面図、第３図イ，ロ〜第４図イ，
ロは従来例の断面図及び上面図、第５図イ〜ヘは
従来のベルヌイチヤツクと半導体基板の動作を示
す図、トは半導体基板をベルヌイチヤツクに保持
した状態を示す図である。
の断面図及び上面図、第３図イ，ロ〜第４図イ，
ロは従来例の断面図及び上面図、第５図イ〜ヘは
従来のベルヌイチヤツクと半導体基板の動作を示
す図、トは半導体基板をベルヌイチヤツクに保持
した状態を示す図である。
Claims (1)
- 傘状部の頂部に形成する高圧気体導入口と、こ
の高圧気体導入口に連通して設ける前記傘状部内
壁に沿つて流れる高圧気体の吹出部と、前記傘状
部内壁における衝撃緩和部材と、この部材に保持
する、表面から内部にかけて形成する不純物領域
を含む部分に区分する機械的切削手段を施す半導
体基板と、この半導体基板の中央部分に対応し前
記傘状部内壁に設置する衝撃緩和材を被覆する部
材とを具備することを特徴とする半導体素子用ベ
ルヌイチヤツク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7876187U JPS63188946U (ja) | 1987-05-27 | 1987-05-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7876187U JPS63188946U (ja) | 1987-05-27 | 1987-05-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63188946U true JPS63188946U (ja) | 1988-12-05 |
Family
ID=30927996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7876187U Pending JPS63188946U (ja) | 1987-05-27 | 1987-05-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63188946U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010527805A (ja) * | 2007-05-31 | 2010-08-19 | ヨナス アンド レードマン アウトマーツィオーンズテヒニク ゲーエムベーハー | ベルヌーイ・グリッパからなるグリッパ |
| KR101273571B1 (ko) * | 2010-09-17 | 2013-06-13 | 주식회사 엘지씨엔에스 | Ｌｅｄ 웨이퍼 피커 |
| KR101273570B1 (ko) * | 2010-09-17 | 2013-06-13 | 주식회사 엘지씨엔에스 | Ｌｅｄ 웨이퍼 피커 |
-
1987
- 1987-05-27 JP JP7876187U patent/JPS63188946U/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010527805A (ja) * | 2007-05-31 | 2010-08-19 | ヨナス アンド レードマン アウトマーツィオーンズテヒニク ゲーエムベーハー | ベルヌーイ・グリッパからなるグリッパ |
| KR101423362B1 (ko) * | 2007-05-31 | 2014-07-24 | 요나스 앤드 레드만 아우토마치온스테크닉 게엠베하 | 그리퍼, 특히 베르누이 그리퍼 |
| KR101273571B1 (ko) * | 2010-09-17 | 2013-06-13 | 주식회사 엘지씨엔에스 | Ｌｅｄ 웨이퍼 피커 |
| KR101273570B1 (ko) * | 2010-09-17 | 2013-06-13 | 주식회사 엘지씨엔에스 | Ｌｅｄ 웨이퍼 피커 |