JPS6318800U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6318800U JPS6318800U JP11203786U JP11203786U JPS6318800U JP S6318800 U JPS6318800 U JP S6318800U JP 11203786 U JP11203786 U JP 11203786U JP 11203786 U JP11203786 U JP 11203786U JP S6318800 U JPS6318800 U JP S6318800U
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- JP
- Japan
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例であるプラズマ装置
の電源回路を示す回路図、第２図は第１図の定電
圧素子７ａ，７ｂの作動を示す図、第３図は第１
図の電流検出回路８ａ，８ｂの詳細を示す回路図
、第４図は従来例であるプラズマ装置の電源回路
を示す回路図である。 １……高周波電源、２……リレー、３……整合
装置、４……負荷部、６ａ，６ｂ……可変容量、
７ａ，７ｂ……定電圧素子、８ａ，８ｂ……電流
検出回路。
の電源回路を示す回路図、第２図は第１図の定電
圧素子７ａ，７ｂの作動を示す図、第３図は第１
図の電流検出回路８ａ，８ｂの詳細を示す回路図
、第４図は従来例であるプラズマ装置の電源回路
を示す回路図である。 １……高周波電源、２……リレー、３……整合
装置、４……負荷部、６ａ，６ｂ……可変容量、
７ａ，７ｂ……定電圧素子、８ａ，８ｂ……電流
検出回路。
Claims (1)
- 真空容器内に電極を有し該電極間でプラマを発
生可能な負荷部と、該負荷部にコイルと可変容量
とを組み合わせた整合装置を介して接続した高周
波電源とから成るプラズマ装置において、前記整
合装置の可変容量と並列に設けられ過電圧が掛か
ると、ある一定値以上の電流が流れる過電圧検出
手段と、該過電圧検出手段に直列に設けられ前記
過電圧検出手段からの一定値以上の電流を検出し
て過電圧検出信号を出力する電流検出手段と、前
記高周波電源に直列に設けられ前記電流検出手段
からの過電圧検出信号により回路をしや断する電
源しや断手段とを具備したことを特徴とするプラ
ズマ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11203786U JPS6318800U (ja) | 1986-07-23 | 1986-07-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11203786U JPS6318800U (ja) | 1986-07-23 | 1986-07-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6318800U true JPS6318800U (ja) | 1988-02-06 |
Family
ID=30992530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11203786U Pending JPS6318800U (ja) | 1986-07-23 | 1986-07-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6318800U (ja) |
-
1986
- 1986-07-23 JP JP11203786U patent/JPS6318800U/ja active Pending
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