JPS63187135A - 微粒子計測装置 - Google Patents
微粒子計測装置Info
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- JPS63187135A JPS63187135A JP62020066A JP2006687A JPS63187135A JP S63187135 A JPS63187135 A JP S63187135A JP 62020066 A JP62020066 A JP 62020066A JP 2006687 A JP2006687 A JP 2006687A JP S63187135 A JPS63187135 A JP S63187135A
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- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ポンプによって液状試料を採取して該試料中
に存在する微粒子の個数、大きさ等を計ａｔ −？
λ Ｘ＃ 輻ｔｌＮ与 Ｉ 鈴 翁２４ぞ リ ４７
１２日１−ト １ 惨↓−ロ 町ロ −スを生じるこ
とのない微粒子計測装置に関する。
に存在する微粒子の個数、大きさ等を計ａｔ −？
λ Ｘ＃ 輻ｔｌＮ与 Ｉ 鈴 翁２４ぞ リ ４７
１２日１−ト １ 惨↓−ロ 町ロ −スを生じるこ
とのない微粒子計測装置に関する。
半導体や医薬品等の製造産業においＣは、製品の品質の
維持、向上を図るために、取り扱う薬品や洗浄水などに
存在する微粒子の計測が重要視されてい℃、このため、
たとえば、レーザ光を薬品や洗浄水等の試料液体に照射
し℃その散乱光から微粒子の個数や大きさ等を計測する
というような。
維持、向上を図るために、取り扱う薬品や洗浄水などに
存在する微粒子の計測が重要視されてい℃、このため、
たとえば、レーザ光を薬品や洗浄水等の試料液体に照射
し℃その散乱光から微粒子の個数や大きさ等を計測する
というような。
光学的計測装置が一般に使用されている。ところが、こ
のような光学的計測装置では１通常、液状試料の瞬時流
量が経時的に一様でかつ数−７分ないし百−／分程度の
微小量の所定値であるようにして該試料を流動させた状
態で計測を行うことを測定原理とＬ′Ｃいるので、この
場合、試料を正確な微小流量でかつ脈動なく送ることの
できるポンプが必要で、このため、従来、このような要
求を満たすポンプとして歯車ポンプが使用されることが
ある。
のような光学的計測装置では１通常、液状試料の瞬時流
量が経時的に一様でかつ数−７分ないし百−／分程度の
微小量の所定値であるようにして該試料を流動させた状
態で計測を行うことを測定原理とＬ′Ｃいるので、この
場合、試料を正確な微小流量でかつ脈動なく送ることの
できるポンプが必要で、このため、従来、このような要
求を満たすポンプとして歯車ポンプが使用されることが
ある。
上述したように、従来、微粒子計１ｉ１１１１装置ＶＣ
は歯車ポンプが使用さねることがあり、この場合、ポン
プを微粒子計側な行う計測部の上流ｇｌ１１ｖｃ配置し
て液状試料を圧送によって計測部に送りこむようにした
押し出し式のものと、ポンプを計測部の下流側に配置し
℃試料を吸引することにより該試料を計測部ＶＣ導くよ
うにした吸引式のものとがある。
は歯車ポンプが使用さねることがあり、この場合、ポン
プを微粒子計側な行う計測部の上流ｇｌ１１ｖｃ配置し
て液状試料を圧送によって計測部に送りこむようにした
押し出し式のものと、ポンプを計測部の下流側に配置し
℃試料を吸引することにより該試料を計測部ＶＣ導くよ
うにした吸引式のものとがある。
ところが、前者の場合、ポンプ内のキャビテーション現
象によつ″Ｃ気泡が発生したりポンプ歯車の磨耗（よっ
て磨耗粉が発生したりしてこれら気泡や磨耗粉が計測部
に至り、この結果大きい微粒子計測誤差が発生する恐れ
があるという問題点がある。また後者の場合にも、計測
部を通過する試料が減圧状態となるために溶存気体が気
化し工気泡を形成し、この結果、矢張り計測誤差が生じ
ろ恐れがあるという問題点がある。
象によつ″Ｃ気泡が発生したりポンプ歯車の磨耗（よっ
て磨耗粉が発生したりしてこれら気泡や磨耗粉が計測部
に至り、この結果大きい微粒子計測誤差が発生する恐れ
があるという問題点がある。また後者の場合にも、計測
部を通過する試料が減圧状態となるために溶存気体が気
化し工気泡を形成し、この結果、矢張り計測誤差が生じ
ろ恐れがあるという問題点がある。
本発明の目的は、試料を送るポンプに起因する気泡や磨
耗扮が生じないようにして、これらの気〔問題点を解決
するための手段〕 上記問題点を解決するために、本発明によれば、液状試
料が擲入される試料導入口と容積が弾性的に可変である
送液室とが設けられ、前記送液室の前記容積を増減させ
ることによって前記試料導入口に導かれた前記試料を逆
流を生じさせることなく送出するようにした弾性ポンプ
と、前記弾性ポンプから送出された前記試料中の微粒子
を計測する計測部と、前記弾性ポンプの送液動作と前記
計測部の微粒子計測動作とを制御する制御部とを備え、
前記制御部により前記弾性ポンプにおける前記試料の吐
出行程中に前記計測部による微粒子計測動作を行わせる
ようにして微粒子計測装置を構成するものとする。
耗扮が生じないようにして、これらの気〔問題点を解決
するための手段〕 上記問題点を解決するために、本発明によれば、液状試
料が擲入される試料導入口と容積が弾性的に可変である
送液室とが設けられ、前記送液室の前記容積を増減させ
ることによって前記試料導入口に導かれた前記試料を逆
流を生じさせることなく送出するようにした弾性ポンプ
と、前記弾性ポンプから送出された前記試料中の微粒子
を計測する計測部と、前記弾性ポンプの送液動作と前記
計測部の微粒子計測動作とを制御する制御部とを備え、
前記制御部により前記弾性ポンプにおける前記試料の吐
出行程中に前記計測部による微粒子計測動作を行わせる
ようにして微粒子計測装置を構成するものとする。
上記のように微粒子計測装置を構成すると、弾性ポンプ
の試料に接する部分には磨耗を生じるような可動部がな
いから磨耗粉が発生することはなく、また試料が加圧状
態で計測部に送りこまれている間に微粒子計測が行われ
るので、この計測時気泡が生じることはない。故にポン
プに起因する磨耗粉や気泡にもとづく計測誤差が発生す
ることｔｌない。
の試料に接する部分には磨耗を生じるような可動部がな
いから磨耗粉が発生することはなく、また試料が加圧状
態で計測部に送りこまれている間に微粒子計測が行われ
るので、この計測時気泡が生じることはない。故にポン
プに起因する磨耗粉や気泡にもとづく計測誤差が発生す
ることｔｌない。
第１図は本発明の一実施例の構成図である。図において
、１は計測対象としての液状試料２を収容した試料容器
で、３は、流入口４ａと流出口４ｂとが設けらねたベロ
ーズ状送液室４と、流入口４ａ及び流出口４ｂＷｃＪｆ
：ｔｌぞれ接続さｊた逆止弁５．６と、送液室４の内容
積を増減させるようくしたリニアアクチェエータと、逆
止弁５０入口側５３に接続された。試料導入口としての
試料採取管８とからなる弾性ポンプであるベローズポン
プである。ベローズポンプ３は、採吹管８の開口端８ａ
を容器！内の試料２中に挿しこんだ状態でアクチェエー
タ７によって送液室４の底部４Ｃを右方に動かすと、送
液室４の容積が増大し℃、この結果容器ｌ内の試料２が
採取管８、逆止弁５．＠入口４ａを順次介して送液室４
内に吸引され、しかる後アクチュエータ７により又前記
底部４ｃを左方に動かすと、室４内の試料２が採取管８
に逆流することなく流出口４ｂ、逆止弁６を順次介して
該弁６の出口６ａに押し出されるように＃ｌ！成されて
いる。そうして、さらにアクチェエータ７によって底部
４Ｃを右側に動かすと、前記出口６ａに押し出された試
料２が逆流することなく、容器ｌ中の試料２が室４内に
吸いこまねるように構成されている。
、１は計測対象としての液状試料２を収容した試料容器
で、３は、流入口４ａと流出口４ｂとが設けらねたベロ
ーズ状送液室４と、流入口４ａ及び流出口４ｂＷｃＪｆ
：ｔｌぞれ接続さｊた逆止弁５．６と、送液室４の内容
積を増減させるようくしたリニアアクチェエータと、逆
止弁５０入口側５３に接続された。試料導入口としての
試料採取管８とからなる弾性ポンプであるベローズポン
プである。ベローズポンプ３は、採吹管８の開口端８ａ
を容器！内の試料２中に挿しこんだ状態でアクチェエー
タ７によって送液室４の底部４Ｃを右方に動かすと、送
液室４の容積が増大し℃、この結果容器ｌ内の試料２が
採取管８、逆止弁５．＠入口４ａを順次介して送液室４
内に吸引され、しかる後アクチュエータ７により又前記
底部４ｃを左方に動かすと、室４内の試料２が採取管８
に逆流することなく流出口４ｂ、逆止弁６を順次介して
該弁６の出口６ａに押し出されるように＃ｌ！成されて
いる。そうして、さらにアクチェエータ７によって底部
４Ｃを右側に動かすと、前記出口６ａに押し出された試
料２が逆流することなく、容器ｌ中の試料２が室４内に
吸いこまねるように構成されている。
９は逆止弁６の出口６ａＩ／ｃ押し出されてきた試料２
が貫流し、その際該試料中の微粒子の個数や大きさ等を
計測するよウクシた計測部で、計測部９を貫流した試料
２は、流量計１０．圧力調整器！１を順次介して、図示
していない容器に排出されるよう忙なっている。流量計
１０は計測部９を貫流する試料２の流動状態を監視する
ために設げられており、圧力調整器１１ＴＩ工計測部９
における試料２の出口９ａでの該試料の圧力を容器ｌ内
の試料２の圧力よりも高い一定の圧力にするために設け
られている。１２はベローズポンプ３の送液動作と計測
部９の微粒子計測動作とを制ｉ−ｒる制御部で、１３は
試料容器ｌ及び試料２を除く上述の各部からなる微粒子
計測装置である。計測装置１３においては、制御ｓ１２
からリニアアクチュエータ７を制御でる信号１２１７に
出力させることにより工、アクチュエータフに前述した
送液室４の容積を一回または連続して複数回増減させる
動ｆ’ｌ＝を行わせるように各部が構成さｎており、ま
た制一部１２から計測部９に対して測冗開始信号１２ｂ
を出力させることによって計測部９に微粒子計＃！動作
を開始させ、制＃部１２から計測部９に対して測定終了
信号ｔＺＣを出力させるととくよって計測部９の計測動
作を終了させるように要部がＳ成されている。そうして
、この場合、さらに各部ハ、ベローズポンプ３が試料２
を逆止弁６の出口６ａに吐出している際中Ｋｔｔ側部９
による微粒子計測動作が開始されかつ終了させらｉるよ
うに構成されている。また計測部［１−３ＩＣおいては
、試料２に接する部分は該試料によって腐食されること
がなく、また容易に微粒子を排出することのない、たと
えばポリ四弗化エチレンなどの材料で形成されている。
が貫流し、その際該試料中の微粒子の個数や大きさ等を
計測するよウクシた計測部で、計測部９を貫流した試料
２は、流量計１０．圧力調整器！１を順次介して、図示
していない容器に排出されるよう忙なっている。流量計
１０は計測部９を貫流する試料２の流動状態を監視する
ために設げられており、圧力調整器１１ＴＩ工計測部９
における試料２の出口９ａでの該試料の圧力を容器ｌ内
の試料２の圧力よりも高い一定の圧力にするために設け
られている。１２はベローズポンプ３の送液動作と計測
部９の微粒子計測動作とを制ｉ−ｒる制御部で、１３は
試料容器ｌ及び試料２を除く上述の各部からなる微粒子
計測装置である。計測装置１３においては、制御ｓ１２
からリニアアクチュエータ７を制御でる信号１２１７に
出力させることにより工、アクチュエータフに前述した
送液室４の容積を一回または連続して複数回増減させる
動ｆ’ｌ＝を行わせるように各部が構成さｎており、ま
た制一部１２から計測部９に対して測冗開始信号１２ｂ
を出力させることによって計測部９に微粒子計＃！動作
を開始させ、制＃部１２から計測部９に対して測定終了
信号ｔＺＣを出力させるととくよって計測部９の計測動
作を終了させるように要部がＳ成されている。そうして
、この場合、さらに各部ハ、ベローズポンプ３が試料２
を逆止弁６の出口６ａに吐出している際中Ｋｔｔ側部９
による微粒子計測動作が開始されかつ終了させらｉるよ
うに構成されている。また計測部［１−３ＩＣおいては
、試料２に接する部分は該試料によって腐食されること
がなく、また容易に微粒子を排出することのない、たと
えばポリ四弗化エチレンなどの材料で形成されている。
第１図においては計測装置Ｉ３が上述のように構成され
℃いるので、計測部９による微粒子計測は試料２の圧力
が容器１＆ｔおける圧力よりも高い状態で行われる。し
たがう工この計測装置Ｉ３では、試料ｚ中の溶存ガスが
気化し工気泡を生じ。
℃いるので、計測部９による微粒子計測は試料２の圧力
が容器１＆ｔおける圧力よりも高い状態で行われる。し
たがう工この計測装置Ｉ３では、試料ｚ中の溶存ガスが
気化し工気泡を生じ。
この気泡のために計測誤差が生じるということにない。
また計測装置１３においては、上述した所から明らかな
ようＶｃ１ベローズポンプ３にはその動作によって摩耗
粉を生じてこの摩耗粉が試料２に混入するというような
機構部分は存在しない。
ようＶｃ１ベローズポンプ３にはその動作によって摩耗
粉を生じてこの摩耗粉が試料２に混入するというような
機構部分は存在しない。
故に計測部［１３の場合、ポンプ３による摩耗粉によっ
て計測誤差を生じることはない。なお計測装置１３にお
いては、制御部１２及びアクチュエータ７は、逆止弁６
の出口６ａから吐出されろ試料２の瞬時流量がポンプ３
の吐出行程の中間の大部分くおいて経時的に一様でかつ
所定の一定値になるように構成されもいて、計測部９ｖ
ｃよろ計測動作は少なくともその一回分の動作が上記の
ような瞬時流量の一定の状態で行われるようになつ工い
る。故にこのような計測装置１３では計測部９を貫流す
る試料２の流動態様が脈動のない所定瞬時流量値状態に
なっていないために発生する計測誤差が生じることもな
い。
て計測誤差を生じることはない。なお計測装置１３にお
いては、制御部１２及びアクチュエータ７は、逆止弁６
の出口６ａから吐出されろ試料２の瞬時流量がポンプ３
の吐出行程の中間の大部分くおいて経時的に一様でかつ
所定の一定値になるように構成されもいて、計測部９ｖ
ｃよろ計測動作は少なくともその一回分の動作が上記の
ような瞬時流量の一定の状態で行われるようになつ工い
る。故にこのような計測装置１３では計測部９を貫流す
る試料２の流動態様が脈動のない所定瞬時流量値状態に
なっていないために発生する計測誤差が生じることもな
い。
第１図においてはベローズポンプ３が上述のように構成
されているものとしたが、本発明を工、ポンプ３のこの
ような態様に限定されるものでなく。
されているものとしたが、本発明を工、ポンプ３のこの
ような態様に限定されるものでなく。
ポンプ３が、試料２が導入される試料導入口と容積が弾
性的く可変である送液室とが設けられ、この送液室の容
積を増減させることＫよって試料導入口に導かれた試料
２９Ｉ：逆流を生じさせろことなく送出するように構成
されていればよいものである。
性的く可変である送液室とが設けられ、この送液室の容
積を増減させることＫよって試料導入口に導かれた試料
２９Ｉ：逆流を生じさせろことなく送出するように構成
されていればよいものである。
上述したようＶＣ，本発明においては、液状試料が導入
される試料導入口と容積が弾性的に可変である送液室と
が設けられ、送液室の容積を増減させることによって試
料導入口ＶＣ岑かれた試料を逆流を生じさせることなく
送出するよ５Ｋした弾性ポンプと１弾性ポンプから送出
された試料中の倣動２ ｆｙ＃＋麿１１すム朴泪１１項
（シ 個姓４ツブめ謀信山り作と前記計測部の微粒子計
測動作とを制御する制御部とを備え、制御部により弾性
ポンプにおける試料の吐出行程中に計測部による微粒子
計測動作を行わせるようにして微粒子計測ｖｅｆｉｌを
構成した。
される試料導入口と容積が弾性的に可変である送液室と
が設けられ、送液室の容積を増減させることによって試
料導入口ＶＣ岑かれた試料を逆流を生じさせることなく
送出するよ５Ｋした弾性ポンプと１弾性ポンプから送出
された試料中の倣動２ ｆｙ＃＋麿１１すム朴泪１１項
（シ 個姓４ツブめ謀信山り作と前記計測部の微粒子計
測動作とを制御する制御部とを備え、制御部により弾性
ポンプにおける試料の吐出行程中に計測部による微粒子
計測動作を行わせるようにして微粒子計測ｖｅｆｉｌを
構成した。
したがって上記のように微粒子計測装置を構成すると、
弾性ポンプの試料に接する部分には磨耗を生じるような
可動部がないから摩耗粉が発生することはなく、また試
料が加圧状態で計測部に送りこまれている間に微粒子計
測が行わｒＬ７１ので、この計測時気泡が生じることは
ない。故に１本発明にはポンプ（起因する摩耗粉や気泡
にもとづく計測誤差が発生することはないという効果が
ある。
弾性ポンプの試料に接する部分には磨耗を生じるような
可動部がないから摩耗粉が発生することはなく、また試
料が加圧状態で計測部に送りこまれている間に微粒子計
測が行わｒＬ７１ので、この計測時気泡が生じることは
ない。故に１本発明にはポンプ（起因する摩耗粉や気泡
にもとづく計測誤差が発生することはないという効果が
ある。
第１図は本発明の一実施例の構成図である。
Claims (1)
- 液状試料が導入される試料導入口と容積が弾性的に可変
である送液室とが設けられ、前記送液室の前記容積を増
減させることによって前記試料導入口に導かれた前記試
料を逆流を生じさせることなく送出するようにした弾性
ポンプと、前記弾性ポンプから送出された前記試料中の
微粒子を計測する計測部と、前記弾性ポンプの送液動作
と前記計測部の微粒子計測動作とを制御する制御部とを
備え、前記制御部により前記弾性ポンプにおける前記試
料の吐出行程中に前記計測部による微粒子計測動作を行
わせるようにしたことを特徴とする微粒子計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62020066A JPS63187135A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 微粒子計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62020066A JPS63187135A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 微粒子計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63187135A true JPS63187135A (ja) | 1988-08-02 |
Family
ID=12016718
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62020066A Pending JPS63187135A (ja) | 1987-01-30 | 1987-01-30 | 微粒子計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63187135A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5129268A (en) * | 1989-04-05 | 1992-07-14 | Nkk Corporation | Method of measuring average particle size of granular material |
-
1987
- 1987-01-30 JP JP62020066A patent/JPS63187135A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5129268A (en) * | 1989-04-05 | 1992-07-14 | Nkk Corporation | Method of measuring average particle size of granular material |
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