JPS63182860U - - Google Patents

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JPS63182860U
JPS63182860U JP1987073293U JP7329387U JPS63182860U JP S63182860 U JPS63182860 U JP S63182860U JP 1987073293 U JP1987073293 U JP 1987073293U JP 7329387 U JP7329387 U JP 7329387U JP S63182860 U JPS63182860 U JP S63182860U
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JP
Japan
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dressing
whetstone
cup
giving
grindstone
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JP1987073293U
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  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係るウエーハ研削盤のドレス
装置の一実施例を示す概略説明図、第２図は本考
案を適用するウエーハ研削盤の一例を示す概略構
成図、第３図は従来のドレス作業を示す説明図で
ある。 １……砥石ヘツド、３……カツプ状砥石、４…
…インデツクステーブル、５……チヤツクテーブ
ル、７……ウエーハ、９……ホルダ、１０……回
転駆動手段、１１……切り込み駆動手段、１２…
…支持スリーブ、１３……スピンドル、１４……
ドレス砥石、１５……固定枠、１６……ガイドロ
ツド、１７……受台、１８……アーム状部材、１
９……送り螺子、２０……切り込みモータ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 回転可能に支持されるホルダに着脱可能に装着
    されたドレス砥石と、該ドレス砥石に回転運動を
    与える回転駆動手段と、上記ドレス砥石にカツプ
    砥石の回転軸と平行方向に切り込み運動を与える
    切り込み駆動手段とを具備し、ウエーハ研削盤の
    カツプ状砥石の研削加工位置と反対側に、上記ド
    レス砥石がカツプ状砥石の研削面と対向する状態
    に配設させたことを特徴とするウエーハ研削盤の
    ドレス装置。
JP1987073293U 1987-05-15 1987-05-15 Pending JPS63182860U (ja)

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JPS63182860U true JPS63182860U (ja) 1988-11-25

Family

ID=30917500

Family Applications (1)

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JP1987073293U Pending JPS63182860U (ja) 1987-05-15 1987-05-15

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61146471A (ja) * 1984-12-19 1986-07-04 Hitachi Seiko Ltd ドレツシング装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61146471A (ja) * 1984-12-19 1986-07-04 Hitachi Seiko Ltd ドレツシング装置

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