JPS6318271A - 圧電型力学量センサ - Google Patents
圧電型力学量センサInfo
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- JPS6318271A JPS6318271A JP16087886A JP16087886A JPS6318271A JP S6318271 A JPS6318271 A JP S6318271A JP 16087886 A JP16087886 A JP 16087886A JP 16087886 A JP16087886 A JP 16087886A JP S6318271 A JPS6318271 A JP S6318271A
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Links
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、圧電素子を用いた力学ωセンサのうち、特
に車両用の加速度センサとして用いる圧電型力学量セン
サに関する。
に車両用の加速度センサとして用いる圧電型力学量セン
サに関する。
車両の各部には１辰動等による加速度を検出する加速度
センサが備えられている。第２図はこのような従来の圧
電素子を用いた圧電型力学層センサの中央部から切断し
た断面図である。
センサが備えられている。第２図はこのような従来の圧
電素子を用いた圧電型力学層センサの中央部から切断し
た断面図である。
同図において、１は例えばステンレス板からなる金属薄
板で、該金属薄板１の両面には薄板状の圧電素子を用い
た圧電板３を接着した所謂バイモルフ構造としたダイア
フラムで、更に振動等による変位を増幅させる付加質量
５が圧電板３の両面に接着されて、撮動等によるダイア
フラムの変位から圧電板３からの圧電電圧を検出して制
御部（図示せず）に出力するものである。また、金属薄
板１の周端部はインシュレータ１７を介してケース１５
に支持されている。
板で、該金属薄板１の両面には薄板状の圧電素子を用い
た圧電板３を接着した所謂バイモルフ構造としたダイア
フラムで、更に振動等による変位を増幅させる付加質量
５が圧電板３の両面に接着されて、撮動等によるダイア
フラムの変位から圧電板３からの圧電電圧を検出して制
御部（図示せず）に出力するものである。また、金属薄
板１の周端部はインシュレータ１７を介してケース１５
に支持されている。
ところで、従来の圧電型力学量センサはバイモルフ構造
としたダイアフラムを用いて振８等から加速度を検出す
るものであった。
としたダイアフラムを用いて振８等から加速度を検出す
るものであった。
しかしながら、バイモルフ構造は２枚の圧電板３を金属
薄板１に接着して周囲の温度変化により生じる焦ｆｆ１
ｌｉ圧を打ち消すものであるが、実際には金Ｒ薄板１と
圧電板３との接着層の厚さが均一ではな（、更に金属薄
板１等と接着層との熱膨張係数の逍いから周囲の温度変
化によって焦電電圧が発生することになる。
薄板１に接着して周囲の温度変化により生じる焦ｆｆ１
ｌｉ圧を打ち消すものであるが、実際には金Ｒ薄板１と
圧電板３との接着層の厚さが均一ではな（、更に金属薄
板１等と接着層との熱膨張係数の逍いから周囲の温度変
化によって焦電電圧が発生することになる。
その対策としては第３図に示すように金ＢＲ板１の片面
に圧電板３を１枚接着させた特性の等しいダイアフラム
を２枚用いて、予め焦電電圧を測定しておいて、該ダイ
アフラムを付加質量５に介しバイモルフ構造として接続
させて焦電電圧を打ち消すようにしたものである。しか
し、この対策も前述した従来例と同様に周囲の温度が微
妙に変化した場合に金属薄板１と圧電板３との接着層が
均一でなく、且つ熱膨張係数の相違により焦電電圧が発
生することにより加速度を検出する制御部において検出
される加速度に誤差を生じるおそれがあり、その改善が
切望されていた。
に圧電板３を１枚接着させた特性の等しいダイアフラム
を２枚用いて、予め焦電電圧を測定しておいて、該ダイ
アフラムを付加質量５に介しバイモルフ構造として接続
させて焦電電圧を打ち消すようにしたものである。しか
し、この対策も前述した従来例と同様に周囲の温度が微
妙に変化した場合に金属薄板１と圧電板３との接着層が
均一でなく、且つ熱膨張係数の相違により焦電電圧が発
生することにより加速度を検出する制御部において検出
される加速度に誤差を生じるおそれがあり、その改善が
切望されていた。
この発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的と
しては、ダイアフラム周辺の温度変化を確実に防止した
圧電型力学量センサを提供することにある。
しては、ダイアフラム周辺の温度変化を確実に防止した
圧電型力学量センサを提供することにある。
上記目的を達成するため、金属薄板に圧電板を装着した
ダイアフラムを筐体内に納め、ダイアフラムの変位によ
る圧電板からの信号に基づいて力学Ｇを検出する装置に
おいて、この発明は、前記筐体内にダイアフラムの周辺
部を囲んで設けられた高い熱伝導率を有する熱伝導部材
と、前記筐体と熱伝導部材との間な埋める断熱手段とを
有することを要旨とする。
ダイアフラムを筐体内に納め、ダイアフラムの変位によ
る圧電板からの信号に基づいて力学Ｇを検出する装置に
おいて、この発明は、前記筐体内にダイアフラムの周辺
部を囲んで設けられた高い熱伝導率を有する熱伝導部材
と、前記筐体と熱伝導部材との間な埋める断熱手段とを
有することを要旨とする。
（発明の実施例）
以下、図面を用いてこの発明の詳細な説明する。
第１図はこの発明の一実施例を示す圧電型力学量センサ
の中央部から切断した断面図である。
の中央部から切断した断面図である。
なお、この圧電型力学量センサは例えばエンジンルーム
内に設置されている。
内に設置されている。
同図において、１は例えばステンレス板からなる金属薄
板で、該金属薄板１の両面には薄板状の圧電素子を用い
た圧電板３を接着した所謂バイモルフ構造のダイアフラ
ムで、更に振動等による変位を増幅させる付加質量５が
圧電板３の両面に接着されて、振動等によるダイアフラ
ムの変位により圧電板３から発生する圧電電圧を検出し
て制御部（図示せず）に検出信号を出力するものである
。
板で、該金属薄板１の両面には薄板状の圧電素子を用い
た圧電板３を接着した所謂バイモルフ構造のダイアフラ
ムで、更に振動等による変位を増幅させる付加質量５が
圧電板３の両面に接着されて、振動等によるダイアフラ
ムの変位により圧電板３から発生する圧電電圧を検出し
て制御部（図示せず）に検出信号を出力するものである
。
このダイアフラムの両端部は熱伝導率の大きい例えば銅
合金からなる筐体Ｍ７および筐体９を直接挾んで固定さ
れている。ここでダイアフラムと筐体蓋７及び筐体９と
は熱伝導をよくする為例えばシリコングリスを用いて熱
結合により接着され、また筐体蓋７と筐体９との間には
熱結合材が充填されて圧着されている。これにより、筐
体蓋７および筐体９にて熱拡散されダイアフラムに熱が
均一に伝導されることにより、ダイアフラムの温度のば
らつきを防ぐことになる。
合金からなる筐体Ｍ７および筐体９を直接挾んで固定さ
れている。ここでダイアフラムと筐体蓋７及び筐体９と
は熱伝導をよくする為例えばシリコングリスを用いて熱
結合により接着され、また筐体蓋７と筐体９との間には
熱結合材が充填されて圧着されている。これにより、筐
体蓋７および筐体９にて熱拡散されダイアフラムに熱が
均一に伝導されることにより、ダイアフラムの温度のば
らつきを防ぐことになる。
筒体Ｍ７および筐体９とケース１５との間にはケース１
５からの熱を遮断する為に断熱材１３が設けられている
。この断熱材１３の替わりに例えば空気層を用いること
も考えられるが、空気層を用いた場合には筐体Ｎ７およ
び筐体９を支持する為の支持具が必要になるとともに、
局部的な熱の流出入を招き易くなるので、熱伝導率の小
さい独立発泡の部材ですき間なく充填して筐体蓋７およ
び筐体９を支持する部材を用いる。また、圧電型力学Ｍ
センサは少しでも傾くと圧電電圧の検出に影響を受け、
例えば図中のＸ軸に対して１度傾くと圧電電圧の検出量
の２％が計測誤差として含まれるので、ダイアフラムが
傾いたり又は動くことのないように例えば発泡されたポ
リウレタン樹脂等からなる硬質の発泡ウレタンを用いる
。これにより、車両走行中にエンジンルームの温度上昇
に伴ないケース１５から筐体Ｍ７及び筐体９への熱の伝
導を防ぐとともに、ダイアフラムが傾いたり又は動くこ
とのないようにするものである。
５からの熱を遮断する為に断熱材１３が設けられている
。この断熱材１３の替わりに例えば空気層を用いること
も考えられるが、空気層を用いた場合には筐体Ｎ７およ
び筐体９を支持する為の支持具が必要になるとともに、
局部的な熱の流出入を招き易くなるので、熱伝導率の小
さい独立発泡の部材ですき間なく充填して筐体蓋７およ
び筐体９を支持する部材を用いる。また、圧電型力学Ｍ
センサは少しでも傾くと圧電電圧の検出に影響を受け、
例えば図中のＸ軸に対して１度傾くと圧電電圧の検出量
の２％が計測誤差として含まれるので、ダイアフラムが
傾いたり又は動くことのないように例えば発泡されたポ
リウレタン樹脂等からなる硬質の発泡ウレタンを用いる
。これにより、車両走行中にエンジンルームの温度上昇
に伴ないケース１５から筐体Ｍ７及び筐体９への熱の伝
導を防ぐとともに、ダイアフラムが傾いたり又は動くこ
とのないようにするものである。
ケース１５は衝撃等から圧電型力学量センサを防ぐため
に硬質の部材からなる。
に硬質の部材からなる。
このことにより、車両走行中に圧電型力学量センサが設
置されているエンジンルーム内の温度変化の影響を防止
し、仮に局部的に熱が流入しても筐体９等で熱拡散され
てダイアフラムに均一に熱が伝導されるので、圧電板３
から発生する焦電電圧を打ち消して焦電電圧の影響を受
けずに加速度を検出することができる。
置されているエンジンルーム内の温度変化の影響を防止
し、仮に局部的に熱が流入しても筐体９等で熱拡散され
てダイアフラムに均一に熱が伝導されるので、圧電板３
から発生する焦電電圧を打ち消して焦電電圧の影響を受
けずに加速度を検出することができる。
以上説明したように、この発明によれば、筐体内にダイ
アフラムの周辺部を囲んで設けられている高い熱伝導率
を有する熱伝導部材と、該筐体と熱伝導部材との間を埋
める断熱手段とを有するので、ダイアフラム周辺の温度
変化を防止することができる。
アフラムの周辺部を囲んで設けられている高い熱伝導率
を有する熱伝導部材と、該筐体と熱伝導部材との間を埋
める断熱手段とを有するので、ダイアフラム周辺の温度
変化を防止することができる。
第１図はこの発明の一実施例を示す圧電型力学迅センサ
の断面図、第２図および第３図は従来の圧電型力学量セ
ンサの断面図である。 １・・・金属薄板 ３・・・圧電板５・・・付加質
量 ７・・・筐体蓋９・・・筐体 １１・
・・熱結合材１３・・・断熱材 １５・・・ケース
代理人 弁理士 三 好 保 男第２コ 第３０
の断面図、第２図および第３図は従来の圧電型力学量セ
ンサの断面図である。 １・・・金属薄板 ３・・・圧電板５・・・付加質
量 ７・・・筐体蓋９・・・筐体 １１・
・・熱結合材１３・・・断熱材 １５・・・ケース
代理人 弁理士 三 好 保 男第２コ 第３０
Claims (1)
- 金属薄板に圧電板を装着したダイアフラムを筐体内に
納め、ダイアフラムの変位による圧電板からの出力信号
に基づいて力学量を検出する装置において、前記筐体内
にダイアフラムの周辺部を囲んで設けられた高い熱伝導
率を有する熱伝導部材と、前記筺体と熱伝導部材との間
を埋める断熱手段とを有することを特徴とする圧電型力
学量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16087886A JPS6318271A (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | 圧電型力学量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16087886A JPS6318271A (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | 圧電型力学量センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6318271A true JPS6318271A (ja) | 1988-01-26 |
Family
ID=15724323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16087886A Pending JPS6318271A (ja) | 1986-07-10 | 1986-07-10 | 圧電型力学量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6318271A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01233372A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電型加速度センサ |
| US5308014A (en) * | 1989-05-29 | 1994-05-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Tape cassette with front and inner tape covering lids |
| US5316234A (en) * | 1991-05-29 | 1994-05-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Tape cassette for cassette recording/reproducing apparatus |
| US5537280A (en) * | 1994-02-04 | 1996-07-16 | Tdk Corporation | Tape cassette |
| JP2000337978A (ja) * | 1999-05-28 | 2000-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 柔軟性構造体 |
| WO2004063689A1 (ja) * | 2003-01-16 | 2004-07-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 感圧センサ及び物体検出装置 |
| ITBO20100653A1 (it) * | 2010-10-29 | 2012-04-30 | Marposs Spa | Sonda di tastaggio |
-
1986
- 1986-07-10 JP JP16087886A patent/JPS6318271A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01233372A (ja) * | 1988-03-14 | 1989-09-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電型加速度センサ |
| US5308014A (en) * | 1989-05-29 | 1994-05-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Tape cassette with front and inner tape covering lids |
| US5395064A (en) * | 1990-06-01 | 1995-03-07 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Tape cassette having front and inner pivotal lids |
| US5316234A (en) * | 1991-05-29 | 1994-05-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Tape cassette for cassette recording/reproducing apparatus |
| US5537280A (en) * | 1994-02-04 | 1996-07-16 | Tdk Corporation | Tape cassette |
| JP2000337978A (ja) * | 1999-05-28 | 2000-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 柔軟性構造体 |
| WO2004063689A1 (ja) * | 2003-01-16 | 2004-07-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 感圧センサ及び物体検出装置 |
| ITBO20100653A1 (it) * | 2010-10-29 | 2012-04-30 | Marposs Spa | Sonda di tastaggio |
| WO2012055866A1 (en) * | 2010-10-29 | 2012-05-03 | Marposs Societa' Per Azioni | Touch probe with piezoelectric sensor and thermal insulation |
| JP2013545092A (ja) * | 2010-10-29 | 2013-12-19 | マーポス、ソチエタ、ペル、アツィオーニ | 圧電センサ及び断熱部を備えた接触式プローブ |
| US9423232B2 (en) | 2010-10-29 | 2016-08-23 | Marposs Societa' Per Azioni | Touch probe with piezoelectric sensor and thermal insulation |
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