JPS63171954U - - Google Patents
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Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6258887U JPS63171954U (es) | 1987-04-27 | 1987-04-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6258887U JPS63171954U (es) | 1987-04-27 | 1987-04-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63171954U true JPS63171954U (es) | 1988-11-09 |
Family
ID=30897004
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6258887U Pending JPS63171954U (es) | 1987-04-27 | 1987-04-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63171954U (es) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10149789A (ja) * | 1996-11-18 | 1998-06-02 | Nissin Electric Co Ltd | イオン源装置 |
JP2016207480A (ja) * | 2015-04-23 | 2016-12-08 | 日新電機株式会社 | 荷電粒子源 |
JP2017091826A (ja) * | 2015-11-11 | 2017-05-25 | 日新イオン機器株式会社 | 絶縁スペーサ、電極体、荷電粒子源および荷電粒子ビーム照射装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60195855A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-04 | Hitachi Ltd | 大容量イオン源 |
-
1987
- 1987-04-27 JP JP6258887U patent/JPS63171954U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60195855A (ja) * | 1984-03-19 | 1985-10-04 | Hitachi Ltd | 大容量イオン源 |
Cited By (3)
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---|---|---|---|---|
JPH10149789A (ja) * | 1996-11-18 | 1998-06-02 | Nissin Electric Co Ltd | イオン源装置 |
JP2016207480A (ja) * | 2015-04-23 | 2016-12-08 | 日新電機株式会社 | 荷電粒子源 |
JP2017091826A (ja) * | 2015-11-11 | 2017-05-25 | 日新イオン機器株式会社 | 絶縁スペーサ、電極体、荷電粒子源および荷電粒子ビーム照射装置 |
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