JPS63167173U - - Google Patents

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JPS63167173U
JPS63167173U JP5954387U JP5954387U JPS63167173U JP S63167173 U JPS63167173 U JP S63167173U JP 5954387 U JP5954387 U JP 5954387U JP 5954387 U JP5954387 U JP 5954387U JP S63167173 U JPS63167173 U JP S63167173U
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JP
Japan
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temperature
bath
crystal
single crystal
constant temperature
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Application number
JP5954387U
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  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図a,bは本考案による冷却機構付徐冷法
単結晶作製装置の概略構成図、第2図は本考案装
置を構成する結晶作製槽の概略構成図、第3図は
本考案に係る冷却機構付徐冷法単結晶作製装置の
温度制御方式の概略図、第4図は従来の徐冷法単
結晶作製装置の概略構成図である。 10……温度プログラマー、11……温度調節
計、12……サイリスタ、13……マルチレンジ
モジユール、14……インプツトコンバータ、1
5……水位低下ブザー、16……記録計、17…
…恒温槽、18……電流計、19……攪拌調整装
置、20……循環ノズル、21……白金抵抗測温
体、22……結晶作製槽、23……除震台、24
……循環パイプ、25……冷却機構、26……内
槽、27……外槽、28……温度媒体循環パイプ
、29……断熱材、30……蓋部、31……観察
窓、32……覆い蓋、33……シール材。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 内部に有機または無機化合物の飽和溶液が
    入れられる結晶作製槽と、この結晶作製槽内の温
    度を制御するための恒温槽と、前記恒温槽中の温
    度媒体を加熱するヒータを前記結晶作製槽及び前
    記恒温槽の両方または一方の測温体電圧に基づい
    て制御する温度調節計とを各々少なくとも1つ以
    上有してなり、 前記有機または無機化合物の飽和溶液を種結晶
    の存在下または非存在下で緩やかに冷却し、その
    化合物の溶解度の減少により析出させて単結晶を
    作製する徐冷法単結晶作製装置において、 前記恒温槽に槽内の温度媒体を冷却する冷却機
    構を取り付けるとともに、前記結晶作製槽及び前
    記恒温槽の両方あるいは一方の温度調節を任意の
    温度範囲を温度調節計の入力電圧に割り当てるこ
    とのできるマルチレンジモジユールを介した前記
    温度調節計により行なうようにしたことを特徴と
    する冷却機構付徐冷法単結晶作製装置。 (2) 前記恒温槽と結晶作製槽とを分離状態で設
    置し、かつ結晶作製槽を除震台上に設置したこと
    を特徴とする実用新案登録請求の範囲第1項に記
    載の冷却機構付徐冷法単結晶作製装置。 (3) 結晶作製温度範囲が−30°Cから99.
    9°C、温度精度が±0.05°C以下、最小温
    度勾配が1日あたり0.1°Cであることを特徴
    とする実用新案登録請求の範囲第1項および第2
    項に記載の冷却機構付徐冷法単結晶作製装置。
JP5954387U 1987-04-20 1987-04-20 Pending JPS63167173U (ja)

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JP5954387U JPS63167173U (ja) 1987-04-20 1987-04-20

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JPS63167173U true JPS63167173U (ja) 1988-10-31

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