JPS6316619A - 半導体拡散炉制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は半導体拡散炉におけるチューブのｉｔＱ御方決
方法善に関する。

〈従来技術〉 第１図に基づいて従来の制御方法の概要を説明する。１
．〜１　ｎ　４．ｔｎ台の半導体拡散炉であり、各拡散
炉は夫々３台のチューブ２＋１＋２１２＋２１３〜２Ｔ
Ｌ　＋　＋　２ＴＬ２　＊　２ＴＬ３を有している。

３１〜３ＴＬは、半導体拡散炉１１〜１ＴＬに対応した
ラインコントローラであり、夫々３台のチューブに操作
信号を供給すると共にプロセスデータを収集し、ガス供
給バルブのシーケンス制御、ガス流量、温度制御などの
フィードバック制御機能、ボートローダ制御、自動ドア
制御、温度などのプロセスデータのモニター機能などを
有する。

４言〜４Ｔ１は、ラインコントローラ３１〜３１に対応
する操作パネルであり、各ラインコントローラに対して
チューブの制御シーケンスの起動、ボートローダ、自、
動ドアのマニュアル操作、緊急停止などの操作信号の発
信並びにプロセスデータを受信してプ゛ロセス進行状況
の表示等を実行する機能を有する。

５はマイクロコンピュータを用いた管理レベルの制ｍｕ
ｍであり、通信１５ｉ１６により各ラインコントローラ
に接続され、各ラインコントローラよりロセスデータを
収集すると共に各チューブの制御情報が記述されたレシ
ピをダウンロードする。

７は制御′ｓａ置５との情報交換を行うマンマシンイン
ターフェイスであり、半導体拡散炉の稼動状況の表示、
レシピのメンテナンス、プロセスデータモニター、生産
履歴表示、チューブ温度トレンド表示、温度設定タイマ
操作、温度モニター値の補正操作等を実行する。

８は磁気ディスク、フロッピーディスク笠によるファイ
ル手段であり、各チューブに対応したレシピファイル、
第１〜第３テーブルデータ、生産脂層ファイルが収容さ
れ、レシピファイル、テーブルデータは制１１１１ｆｆ
ｉ　５よりのアクセスで読み出され、！１Ｊｉｌｌ装置
を介してマンマシンインターフェイス７によりファーイ
ルの内容がメンテナンスされる。

この様な構成により、各半導体拡散炉のチューブの運転
は、制ｔ１１Ｉ装置５よりラインコントローラにダウン
ロードされた各チューブに対応するレシピおよびテーブ
ルに記述された制御情報に基づいて、シーケンスｖ制御
オフイードバック制御、モニターなどが実行される。

制御情報は、各チューブに共通な基本シーケンスが記述
される共通レシピ１０＋と各チューブに固有のハードウ
ェア構成上の差異などに対応する制御情報を記述する第
１．第２．第３テーブルよりなる。

第１テーブルは、出力ガス名を各バルブの開閉に変換す
ると共に各バルブの開閉をノーマルオープン、ノーマル
クローズの仕様にしたがって０Ｎ１０ＦＦに変換するテ
ーブルである。

第２テーブルは、出力するガス名と流量を流量制御弁の
仕様と接続仕様止したがって制御弁番号と弁１？ｉ度に
変換するテーブルである。

第３テーブルはチューブ内の湿度に対して温度：Ｊ４節
計の設定値とモニター値の補正を行うテーブルである。

〈発明が解決しようとする問題点〉 このように、各チューブの制御は、これに対応したレシ
ピ並びにテーブル′群に記述された制御情報により実行
される。

この場合、チューブ内の温度は高温＜４００’Ｃ〜１５
００℃）であり、又精密な制御が必要であるため、ヒー
ターの電源を投入してから目標温度に安定するまでにか
なりの時間（１〜２時間）を要する。

半導体拡散炉のラインコントローラ内には自動予熱開始
機能が無いために、拡散炉を連続運転する場合以外は、
作業開始の１〜２時１炎オペレータによるヒーター電源
投入作業が必要であり、作業効率が悪いという問題点が
ある。

本発明はこの様な予熱開始上の問題点を解消し、効率的
なチューブのｔｗ業が可能な制御方式の捉供を目的とす
る。

く問題点を解決するための手段〉 夫々複数の拡散用チューブを有する複数の半導体拡散炉
において、上記各チューブ共通に設けられる共通レシピ
ファイルを有し、この共通レシピファイルに対応して、
各チューブ毎に開閉供給されるガス名を対応するバルブ
の開閉信号に￥ｌ換する第、１テ一ブル記述機能と、流
量制御される出力ガス名と１１仕゛様を各ガスに対応す
る各バルブ並びにその開度信号に変換する第２テーブル
記述機能と、各チューブ内の温度設定並びにモニタニ埴
の補正を行う第３テーブル記述機能と、上記各チューブ
に対して共通に設けられ各チューブの予熱開始時刻を設
定するタイマーテーブル記述機能とを具備し、各チュー
ブは上記タイマーテーブル記述機能で設定された時刻で
起動され、上記共通レシピおよび第１．第２．第３テー
ブル記述機能特定された固有の制御情報に基づいて運転
される点にある。

く作用〉 本発明によれば、半導体拡散炉内のチューブに共通な基
本シーケンス情報は、共通レシピに定義され、各チュー
ブに固有の制御情報は、ガスに対応して開閉されるバル
ブ情報を記述した第１テーブル、流量制御されるガス名
により対応するガスのバルブ開度情報が記述された第２
テーブル、温度シリ御情報が記述された第３テーブルで
定義されると共に、各チューブに対して共通に設けられ
るタイマーテーブルの記述情報に幕づいて操業開始の一
定時間前に自動的にヒーター電源が投入され、予熱開始
作業が自動的に実行される。

〈実施例〉 第１図に基ｉｖ＞　Ｔ本発明の詳細な説明する。従来技
術で説明した要素と同一な構成要素についての説明は省
略する。

本発明の特徴部分は、ちり御装置５内に示された特定の
チューブに対する制御情報のファイルに加えて、各チュ
ーブに共通なタイマーテーブル１２を設けた点にある。

例えば第１チユーブに関する制御情報は、チューブ共通
の基本制御情報が記述された共通レシピ１０、と第１チ
ユーブ固有の制御情報が記述された第１．第２．第３テ
ーブル１１＋＋、１１曹２゜１１１コにより構成される
。

１２は、これら制御情報に加えて設けられる各チューブ
に共通のタイマーテーブルであり、このタイマーテーブ
ルに各チューブの予熱開始時刻が設定されるので第１チ
ユーブの予熱開始時間はこのテーブルの参照で起動され
る。

このタイマーテーブルのメンテナンスは、共通レシピや
第１〜第３テーブルと同様にマンマシンインターフェイ
ス７で行われる。

これらの制御情報並びに予熱開始時刻情報が、第１チユ
ーブに対する制御情報として通信線６を介して第１チユ
ーブが含まれる半導体拡散炉のラインコントローラにダ
ウンロードされる。

第２図は、ファイルの全体構成の例を示すものであり、
全チューブに共通に用いられ基本制御情報が操業の種類
ごとに記述されたレシピファイル群１０１，１０２・・
・１０πと、各レシピファイルに対応してすべてのチュ
ーブごとに設けられているテーブル群１１’＋’、　１
１２・・・１１１Ｋ及び全チューブに共通なタイマーテ
ーブル１２とからなる。

各テーブルの内容は、テーブル１１＋を例にとると、バ
ルブの開閉情報が記述された第、１テーブル１１＋＋、
ガス流量情報が記述された第２テーブル１１１２、温度
制御情報が記述された第３テーブル１１１３よりなる。

　　　− 各チューブに共通に設けられ一一イマーテーブル１２の
内容は、図示のように、例えば、チューブＮｏ、、予熱
開始時刻、使用共通レジとＮｏ、。

タイマー設定０Ｎ１０ＦＦ情報などであり、特定のチュ
ーブに関して指定時刻になると使用共通レシピをセット
すると共に、第３テーブルの温度制御機能に対し制御の
開始指令を発信する。

次に第３図によりチューブ予熱開始制御の手順について
説明する。ステップ■でチューブ操作パネルからの使用
レジどのダウンロード要求が発生すると、ステップ■で
システム内蔵のタイマー信号を塁単にして当該チューブ
が予熱開始指定時刻に達したか否かがチェックされる。

指定時刻に達すればステップ■で、当該チューブの稼動
の有無がチェックされる。

稼動中でなければステップ■では、当該チューブに使用
する共通レジと及び第１〜第３テーブル情報をダウンロ
ードする。

ステップ■では、ダウンロードされた制御情報の第３テ
ーブルの記述内容に基づいて当該チューブの予熱温度制
御を開始する。

〈発明の効果〉 以上説明したように、本発明−によれば次のような効果
が期待できる。

（１）多数のチューブの予熱を指定日時並びに指定レシ
ピで自動的に開始するので、作業効率が格段に向上する
。

（２）指定時刻になった後に指定レシピとテーブル情報
をダウンロードするので、指定時刻になるまでは、当該
チューブで別のレシピによる操業ができるので、チュー
ブの使用効率を向、Ｆさせることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明方式を適用した制御装置の実施例を示す
構成図、第２図はタイマーテーブルの機能説明図、第３
図は予熱開始制御の動作説明図である。 １１〜１π・・・半導体拡散炉　　２・・・チューブ３
１〜３１・・・ラインコントローラ　　４．〜４且・・
・操作パネル　　５・・・ＩＩＩ御装ｆｆｆｆ６・・・
通信線７・・・マンマシンインターフェイス　　８・・
・ファイル手段　　９・・・プリンタ　　１０＋〜１０
ＴＬ・・・レシピファイル群　　１１１〜１１亀・・・
テーブル群１２・・・タイマーテーブル 代理人　弁理士　　小　沢　信　ム′ 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 夫々複数の拡散用チューブを有する複数の半導体拡散炉
   において、上記各チューブ共通に設けられる共通レシピ
   フアイルを有し、この共通レシピフアイルに対応して、
   各チューブ毎に開閉供給されるガス名を対応するバルブ
   の開閉信号に変換する第１テーブル記述機能と、流量制
   御される出力ガス名と流量仕様を各ガスに対応する各バ
   ルブ並びにその開度信号に変換する第２テーブル記述機
   能と、各チューブ内の温度設定並びにモニター値の補正
   を行う第３テーブル記述機能と、上記各チューブに対し
   て共通に設けられ各チューブの予熱開始時刻を設定する
   タイマーテーブル記述機能とを具備し、各チューブは上
   記タイマーテーブル記述機能で設定された時刻で起動さ
   れ、上記共通レシピおよび第１、第２、第３テーブル記
   述機能に特定された固有の制御情報に基づいて運転され
   る半導体拡散炉制御方法。