JPS63165903A - 適応制御装置 - Google Patents

適応制御装置

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JPS63165903A
JPS63165903A JP30904186A JP30904186A JPS63165903A JP S63165903 A JPS63165903 A JP S63165903A JP 30904186 A JP30904186 A JP 30904186A JP 30904186 A JP30904186 A JP 30904186A JP S63165903 A JPS63165903 A JP S63165903A
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JP
Japan
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control
adaptive
dynamic characteristics
limit cycle
control device
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JP30904186A
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Minoru Iino
穣 飯野
Takashi Shigemasa
隆 重政
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、動特性が未知、あるいは時間経5過。
操業条件の違いに応じて変化する制御対象に対し。
その動特性を対象の入出力信号のデータから推定し、そ
れに基づき制御装置(制御演算部)の制御定数を調整す
ることにより、常に制御性能を最適に保つことができる
適応制御装置に関する。
(従来の技術) 従来の適応制御系には、セルフチ五−ニングコントロー
ラ(S、T、C)やモデル規範形適応制御系(MRAC
8)および、PIDオートチューニングコントローラな
どがある。まずS、T、CやM、R,A、C,Sは、理
論的にもその特性が詳しく解明されてセリ。
ある条件のもとて制御系の大局的な安定性も保証されて
いる。この点に関しては、たとえば〔自動制御ハンドブ
ックP701〜733(計測自動制御学会側、オーム社
発行)〕に詳しく説明されている。
しかし、その安定性を保証する条件とは、対象が線形2
時不変系で対象のムダ時間や、最大次数極と零点の数の
差が既知、対象は最小位相系でなければならないなど、
現実のプロセスにはきびしすぎる条件ばかりである。ま
た、実プロセスでは非線形性や外乱なども存在し、これ
らの影響も才だ明らかではない。このような背景からS
、T、CやMRAC8はまだ実プロセスへの適用には多
くノ問題点がある。
−J、PIDオートチ八−ニングコーニングコントロー
ラの多くのプロセスで用いられているPIDコントロー
ラを基本とし、プロセス動特性を入出力信号から推定し
、それにもとづいてPID定数を決定するものであり、
既にいくつかの実施例がある。しかし、PIDオートチ
ューニングコントローラも制御系が必らずしも安定にな
るとは限らず、又、外乱、観測ノイズにより対象の動特
性を誤まって推定することにより制御系のチューニング
がうまくいかないという問題点があった。
(発明が解決しようとした問題点) 本発明は、従来の適応制御方式において問題となってい
た外乱に対する弱さを克服するため制御対象に外乱、観
測ノイズが加わる場合でも、対象に必要最小限の動揺を
与えることにより、プラントの運転状態を大きく乱すこ
となく、外乱、ノイズに乱された応答データから対象の
動特性を精度良く求め、それにもとづき制御系を良好な
状態にチューニングすることのできる適応制御装置を提
供するものである。
〔発明の構成〕
(問題点を解決するための手段と作用)本発明の概要を
第2図〜第6図を用いて説明する。本発明は制御量のフ
ィードバックによってできる閉ループ系に非線形要素を
設けることにより閉ループ系にリミットサイクルを発生
させ、それにより制御対象を励起状態にしておき、その
ときの入出力データから制御対象の動特性を推定し。
それにもとづいて制御定数を定める適応制御装置である
以下1本発明の概要を第2図〜第6図を用いて説明する
第2図は、非線形要素を含む閉ループ系の構成例である
。線形システムG (s)は、コントローラと制御対象
を合わせたものとした。又、非線形要素は、たとえば入
力信号と出方信号との間に第3図のような特性を持つ2
値リレー要素とした。このとき、第2図の閉ループ系に
はリミットサイクルすなわち周期的な持続振動が発生す
ることが知られている。その原理を第4図のナイキスト
線図を用いて説明する。これは複素平面上に線形システ
ムG(s)の周波数応答関数G(jω)の周波数ωに対
する軌跡を描いたものである。
次に、閉ループ系内に発生したリミットサイクルは周期
関数であるために、フーリエ級数展開することができる
。そこで、たとえば制御量y(t)の基本波成分を yo(t) = X出ωt         ・・・・
・・(1)とした。第2図でr (t)三〇の場合、信
号e (t)の基本波成分は−Xthωtとなり、さら
に非線形要素を通過した後の信号をe(t)としたと、
その基本波成分も同じ周期で、−X、1.、ωtとなる
。C(りとe (t)の基本波成分の比は、g3図の特
性を持つ2値リレー系においては、 となる。このN(x)を非線形要素の記述関数と呼ぶ。
第2図の閉ループ系がリミットサイクルを持つとき、そ
の基本周波数をωとしたと、ナイキストの定理より1次
式が成立する。
1 + N(x)G(jω)=0        ・・
・・・・(3)(4)式右辺のXに対する軌跡を複素平
面に描くと。
第4図の様に負の実軸に一致する。(3)又は(4)式
が成り立つのは、第4図で、G(jω)の軌跡と一1/
N(x)の軌跡の交点Pである。従って、リミットサイ
クルの基本波は、第4図点PにおけるG(jω)の周波
数1、点Pにおける1/N(xlの5によって)’6(
t)= X−ω、と表わされる。
ここで、注目すべき点は、この基本波の周波数ωは、線
形システムG(s)の位相特性が一180′  となる
周波数と同じであること、すなわち1G(Jω)=−1
80’         ・・・・・・(5)となるこ
とである。
次に、第2図の線形システムG(s)にムダ時間装iム 素e が付加してG(s) 、 C“でおきかえられた
場合を考える。このとき1周波数応答関数0(jω) 
、e−J″のナイキスト線図上の各点はG(jω)のナ
イキスト線図上の各点から、その点におけるωに対し、
原点Oを中心にωAl:rad〕だけ時計回りに回転し
た点に相当する。従って、前述のG(s)に対するリミ
ットサイクルの点Pと同様にG(s)、e”’に対する
リミットサイクルの生じる点P1は、G(jω、 、 
e−j′のナイキスト線図が負の実軸と交わる所にある
。これをG(jω)のナイキスト線図から求める場合、
第5図のように、実軸A−0を角度θ=ωL[:rad
]p だけ1反時計方向へ回転した半直線AT−0とG(jω
)の軌跡との交点から点plが求められる。第5図から
明らかな様に点P1における周波数ω1は1点Pにおけ
る周波数ωより低い。すなわち、G(s)、 c7”に
対するリミットサイクルの基本周波数はG(s)に対す
るそれより低くなる。よって、第2図の線形システムG
(3)にムダ時間要素を付加したとき、ムダ時間りを0
から次第に大きくしてゆくと、閉ループ系内に存在する
リミットサイクルの基本周波数は、、1G(jωI))
=−180°となる周波数ωから次第に低くなっていく
以上がリミットサイクルの発生の原理である。
次に、このリミットサイクルを用いた本発明の詳細な説
明する。
本発明では、第2図の閉ループ系のかわりlこ。
第6図のI−FD制御系に非線形要素、ムダ時間要素が
加わったものを考える。このとき、第2図のG(s)は
、第6図では、 となる。従って第6図の閉ループ系で1=0のとき発生
するリミットサイクルは、I−PD制御系ノー巡伝達関
数(6)式の位相が一180°となる周波数ωを基本周
波数として持つ。このI−FD制御系の安定性は、周波
数ωあたりの特性、具体的にはゲイン余裕1位相余裕に
よって特徴づけられる。ところが、通常の適応制御系で
は、外乱や観測ノイズによりこの周波数ωあたりの特性
を十分な精度で推定できないため、十分な安定性(ゲイ
ン余裕。
位相余裕)を持つ制御系にチューニングすることが困難
になる。これを回避するためには、同定信号を加えて対
象の動特性の推定精度を向上させればよい。しかしあま
り大きな同定信号を加えるとプロセスを大きく乱すこと
になるため、必要最小限の同定信号として周波数へあた
りの成分のみを含む信号が好ましい。もし、周波数1が
既知ならば、そのような同定信号を外乱で発生させ、制
御系に加えることができる。しかし、一般に対象の動特
性が未知である場合、ωも未知である。ところが、上述
のように、閉ループ系に非線形要素を設けることにより
、自動的にωを基本周波数としたリミットサイクルが生
じるため、これを同定信号のかわりに用い、プロセスを
励起させることにより対象のωあたりの周波数特性を正
確に推定することができる。以上が本発明の原理である
実際には、リミットサイクルの生じた状態で。
対象の入出力信号のサンプリングデータから対象の動特
性を時系列モデルの形で推定する。この時系列モデルか
ら対象の周波数応答関数G(jω)を求め、それにもと
づき、制御系があらかじめ指定したゲイン余裕、位相余
裕を満たすように、制御定数を定める。
なお1発生したIJ ミツトサイクルの周波数ωと振幅
Xから、制御対象のその周波数のゲイン、位相特性を直
接測定するという方法は、たとえば。
文献〔藤井、他:リミットサイクルによる制御系動特性
の測定法;計測自動制御学会誌「計測と制御」第7巻第
4号P248〜257(昭43)〕などで述べられてい
る。しかし、外乱や観測ノイズが存在する場合、その中
にうもれたリミットサイクルの波形をから1周期、振幅
を直接読みとるのは困難かつ大きな誤差を生じる。
本発明では、上述のように17 ミツトサイクルの波形
から最小二乗法を用いて一度時系列モデルを推定した後
、そこから制御対象のある区間の周波数特性を推定する
ため、統計的処理により外乱に対し、精度が良くまた一
点の周波数特性だけでなく、ある幅をもった周波数帯域
の特性を短かい測定時間で推定できるという利点がある
(実施例) 第1図に本発明の適応制御系の1つの実施例の構成図を
示す。
図中の1は制御対象で、その制御量y(りをフィードバ
ックし、目標値信号r(t)と合わせて2のコントロー
ラに入り、操作i u<t>を演算する。2のコントロ
ーラ(操作量演算部)は、フィードフォワード付I−P
コントローラで、フィードフォワードゲインffを調整
することにより、P−Iコントローラとも等価になる。
このような制御系を2自由度形制御系と称す。2自由度
形制御系の利点は、制御系の特性である目標値追従性能
と、外乱抑制性を独立に調整できるため双方を同時に最
適化できる点にある。
制御性能監視部10では、常に目標値信号r(k)。
制御偏差e(k)を監視し続けている。そして、常に制
御偏差の二乗平均値 および、目標値変化率 を測定し続ける。以下の条件を満たしたとき、チューニ
ングが起動される。
Or(kKε、かつ σ、Jk) >ε1→チユーニン
グ起動Oγ(k)〉ε、かつ σ、(k)>#!→チュ
ーニング起動起動待刻に−N3〜にの間でIe(k)I
>13となる回数が坑口以上あったとき→チューニング
起動チューニングが起動されると1図中の切替えスイッ
チ7が切替わり、2値リレー要素5およびムダ時間要素
(遅延素子)6が積分器3に直結する。
その結果、第2図又は第6図と同じ2値リレー要素を含
む閉ループ系が構成され、リミットサイクルが生じ、そ
れによって制御対象1が励起される。
ここで、2値リレー要素5のゲインAはaυ式の制御偏
差の2乗平均値σに対しリミットサイクルの振幅Xが X=min (Xmax、 Cp−ae)〕・1月・α
四となる様に調整される。(ただし、Xmaxはプロセ
スの制御量の最大許容変動値、ρはS/N比を表わす定
数、σ。=枦(である。) 又、ムダ時間要素のムダ時間りは、初め0で除徐に値が
大きくなり、リミットサイクルの周期ωに対し。
ω・L  =  %   [:rad]       
  −・−・(14)(ただし、9Mはあらかじめ指定
された位相余裕設計値) となるまで、増加する。
次に、このリミットサイクルが持続している状態で、制
御対象1の入出力信号u(t)、 y(t)をフィルタ
8に通したあとサンプラ9でサンプリングしてデータ列
u(k) 、 y(k)が得られる。動特性同定部11
では、このデータにもとづき1次式の逐次形最小二乗法
でαS式のARMA(自己回帰移動平均)モデルのパラ
メータ(ai) 、 (b、)が推定される。
ARMAモデル: 逐次形最小二乗法 ステップ1 n m=max (n 、 m )         
 、、、、、、 (L、9H−mxn+m 行列7”(
nm−5)==αn   、、、 、、、圓(α)1.
■は単位行列) n+7t1次推定パラメータベクトルθ(nm−t)=
[:O−0〕 HOくλく1 (たとえばλ=0.99
)  ・・・・・・(19に=nm         
              ・・・・・・囚とおく。
ステップ2 以下の(a)〜(e)の処理、計算をに=N(ただしN
 )) n m )となるまでくり返し実行する。
(a)ベクトル q/k)=〔−y(k−1)、−y(
k−2)・・・。
7(k−n) u(k−1) #u(k”) ’をつく
る。  ”’ p u(k−m)丁    °−−−−
−c!。
(C)  θ(k)=’(k−1)+r(k−1)’t
k>−g’tk)   −・−U(e)  k+lをk
とおき、(a)にもどるステップ3 (0<gθ<<1 ;N0≧1) ならば。
θiN、==(a、 、at *”’yansb1 *
b! p”’tbm〕”潰ヲ(5)式のARMAモデル
のパラメータ推定値とした。
それ以外のときは、再びk = n mと置き、ステッ
プ2を実行する。
ただし、りは推定パラメータθの収束判定のためのしき
い値である。又、1θ1はベクトルθのユークリッドノ
ルムを意味し 1θ1=B−可:1−7  ・・・・・憧となる。
次に、以下の処理に従って Q、(z−1)から、制御
対象1の周波数応答関数G、(jω)を求める。実際に
は、ゲイン特性Ha、<jω)Iおよび位相特性ZG、
(jω)を求める。手順は以下のようになる。
ある周波数ωに対し、複素数 z=5”=X + JY   (jは虚数単位)   
・・・・・・■を求める。サンプラ9のサンプリング周
期τとして1次の複素数を求める。
(jωτ)3 = gx+j+gy          ・・・・・・
翰このとき、周波数ω(rad/sec〕に対するゲイ
ン特性、位相特性はそれぞれ 推定パラメータ確認、修正部12では、推定された制御
対象の動特性に関してその妥当性をチェックし、必要に
応じて修正を行なう。これらはたとえば以下のルールに
従う。
修正ルール1 対象の定常ゲイン ” =Gp(z−1)’ z=1− (32)を求める
。あらかじめ与えられた。対象の定常ゲインの最大値g
、)max、最小値g@ mi nを用いてもし  g
@ rntn≦g、≦g6max     −・(34
)なら、(l)式のGp(z−” )の推定は正しいも
のと判断する。そうでないときは、最小二乗法によるパ
ラメータの推定がうまくできなかったものと判断し、再
びG、(z”)を推定しなおす。制御定数決定部13で
は、対象の周波数特性(ゲイン特性IGp(jω)1位
相特性IG、(jω)から以下の手順によりあらかじめ
ユーザが指定しておいたゲイン余裕GM[dB]、位相
余裕ψッ〔deg:]にもとづき11g1のフィードフ
ォワード付I−P制御器の制御パラメータk(積分ゲイ
ン)、fo(フィードバラ外、ゲイン)。
ficフィードフォワードゲイン)を求める。
ステップ1 ステップ2 設計周波数ω、=ω6゜と設定する。
ステップ3 フィードバックゲインfo、積分ゲインkを次式により
算出する ステップ4 ω6゜くω。〈ω18゜の範囲の中でを満
たすω。
を求める。
ステップ5 ならば、ω、←ω2×(1+δ) として、ω、を少し増加させステップ3へ戻るステップ
6 フィードフォワードゲインf、を次式で求める。・ f(= k・β・吟1       ・・・(40)た
だしβは0.0〜0.5ぐらいの値の定数である。
以上の計算手順を第7図にフローチャートの形で示す。
このようにして、求められた制御定数f、、 k 、 
fo  は制御定数確認、修正部14に送られ。
ここで以下のようなルールにもとづき、妥当性をチェッ
クし、必要に応じて修正する。
修正ルール2 もし ’f < ’fmi nならば ’f = ’f
mi。
もし ’f > ’fmaxならば ’f ”” ’f
maxもし k<kminならば k=krr11nも
し k>1cmax   ならば k= kmaxもし
 f6 (fo min  ならば ’r”Omi。
もし ’o > ’o max  ならば ’o=’l
1maxチェック、修正を済ませた制御定数f、 、 
k 、 foはフィードフォワード付I−Pコントロー
ラすなわち、フィードフォワード部2%積分器3.フィ
ードバック部4へ送られ、それぞれの定数を新しい値に
調整する。最後に再びスイッチ7をもとに戻し1通常の
フィードフォワード付I−P制御系になる。
以上が本発明の適応制御装置の実施例の概要である。
次に、本実施例の適応制御装置を実験用プロセスに適用
したときの制御応答の結果を第8図に示す。第8図伸)
は外乱の無い場合、同(b)は外乱の加わる場合である
。又、同(a) 、 (b)はムダ時間要素6の1=0
とした場合で、同(C)は1>0とした場合である。そ
れぞれ、リミットサイクルを発生させその間にチューニ
ングを行なった後、制御性能を確かめるために、目標値
をステップ状に11変化させた。いずれも、制御量y(
t)がすばやく追従しており、制御系が良好にチューニ
ングされたことがわかる。又、第8図(b)では外乱に
よりリミットサイクルが乱され、その周期も不規則にな
っているが、それでも良好なチューニング結果が得られ
ている。第8図(C)はムダ時間要素6のムダ時間を1
>0としたため第8図(a)よりリミットサイクルの周
期が長くなっている。tを徐々に増加させることにより
、リミットサイクルの基本周波数が除徐に変化し、対象
のその帯域の周波数特性をより正確に推定することがで
きる。
最後に1本発明は非線形要素として2値リレー要素を用
いているが、その他の特性を持つもの(たとえば、飽和
中ヒステリシス特性)などでも同様にリミットサイクル
を発生させることができる。
又、制御系の構造として、実施例においてフィードフォ
ワード付I−P制御系を採用したが、ニーFD制御系や
PID制御系に対しても同様の適応制御系を構成するこ
とができる。さらに、実施例の中では、連続系のコント
ローラを扱りているが、コントローラを離散時間系にし
てもリミットサイクルを生じさせることができ全く同様
な適応制御系を構成できる。
〔発明の効果〕
上記の適応制御装置は、従来の適応制御装置に比べ、以
下の効果をもたらす。
■ 非線形要素の挿入により簡単にリミットサイクルを
生じさせることができる。
■ このIJ ミツトサイクルを同定信号のかわりにす
ることにより、外乱、観測ノイズの加わるプロセスでも
、制御系の安定性の要めとなる対象のカットオフ周波数
帯域の特性を精度良く推定することができる。
■ 非線形要素のゲイン(たとえば−2値リレー要素の
場合、第3図の振幅人)の調整により任意の大きさのリ
ミットサイクルを発生できるので必要最小限の動揺でプ
ロセスを大きく乱さずに済む。しかもそのときのリミッ
トサイクルは。
対象のカットオフ周波数成分のみを多く含むので、広帯
域の成分を含む同定信号に比べてプロセスを乱す割合が
さらに小さくなる。
■ リミットサイクルの周期を直接観測する方式では、
外乱によって大きな誤差を生じる。
本発明の方式は、リミットサイクルを含む波形から一度
対象の動特性モデルとして時系列モデルを推定した後に
周波数特性を推定するため。
統計的な処理により外乱の悪影響をおさえ、高精度の推
定ができる。
又、リミットサイクルの波形からは、その基本周波数の
一点におけるゲイン・位相特性しかわからないが、リミ
ットサイクルを含む波形に時系列モデルをフィッティン
グさせた後、そのモデルから周波数特性を推定すること
により。
ある程度の幅を持った帯域のゲイン・位相特性や、その
変化率(すなわち特性曲線の傾き)などがわかる。
■ 閉ループ系のまま、非線形要素を加えるだけなので
、制御量y(t)の平均値は制御目標値に追従するし、
外乱を抑制することもできる。従りて、チューニング中
にも制御系の機能は失われないのでプラントの運転中に
リアルタイムのチューニングができる。
■ 制御定数は対象のカットオフ周波数帯域の特性にも
とづき、制御系があらかじめ指定された安定余裕を持つ
ように定められるため、プロセスの動特性変動の影響を
制御系が吸収し、急激な変動にも対処できる。
又、安定性を考慮した方法なので、どのような特性のプ
ロセスに対しても、安定性をそこなうことなく、良好な
チューニングができる。
■ 対象のカットオフ周波数帯域の周波数特性曲線だけ
を用いて制御定数を決定する適応制御方式なので、従来
のモデル規範形適応制御系などで要求される対象のムダ
時間、次数が既知であること、対象が最小位相系である
ことなどの条件を考慮する必要なく、いかなる形の対象
にも統一的に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例の構成図、第2図は閉ループ
系のリミットサイクルが発生する原理を説明するための
非線形要素を含んだ単純な閉ループ系の構成図、第3図
は非線形要素の1つである2値リレー要素の特性を表わ
すグラフ、第4図および第5図はリミットサイクルの発
生する原理を説明するためのナイキスト線図、第6図は
本発明を第2図の閉ループ系に適用した構成図、第7図
は本発明の実施例の中で用いている制御対象の周波数特
性から、制御定数を決定する手順を示すフローチャート
、第8図は本発明の適応制御装置を実験用プロセスに適
用したときの制御応答を示した図である。 1・・・制御対象、2・・・フィードフォ゛ワード部。 3・・・積分器、4・・・フィードバック部、5・・・
2値リレー要素、6・・・ムダ時間要素(遅延素子)、
10・・・制御性能監視部、11・・・動特性同定部、
12・・・推定パラメータ確認・修正部、13・・・制
御定数決定部、14・・・制御定数確認・修正部。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同    竹 花 喜久男 第2図 第  3 図 第  4  図           第  5  図
岬晰μ    e(t)  e(t−1)第  6 図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)制御対象および制御系にかかわる諸信号から制御
    対象であるプロセスの動特性を推定する動特性同定手段
    と、推定された動特性に基づき制御定数を演算する制御
    定数演算手段と、その制御定数にもとづき制御目標値と
    プロセス制御量から操作量を求める制御演算手段とを備
    えた適応制御装置において、上記制御演算手段として、
    フィードフォワード付I−PD(積分、比例、微分)制
    御および、非線形要素とムダ時間要素をもち、制御目標
    値と制御量との差である制御偏差信号が非線形要素およ
    びムダ時間要素を通過した後、制御演算手段へフィード
    バックすることにより、制御系内にリミットサイクルを
    発生させ、上記、動特性同定手段ではそのときのプロセ
    スの操作量および制御量のサンプリングデータから最小
    二乗法で自己回帰、移動平均モデルを推定し、そのモデ
    ルからプロセスのゲイン、位相の周波数特性曲線を求め
    る機能を有し、上記、制御定数演算手段では、この周波
    数特性曲線から、制御系があらかじめ指定したゲイン余
    裕、位相余裕を満たすように、制御定数を決定する機能
    を有することを特徴とした適応制御装置。
  2. (2)上記適応制御装置において、非線形要素として、
    2値リレー要素を有し、又ムダ時間要素のムダ時間を適
    応動作の開始とともに、0から除々に増やしていくこと
    を特徴とした特許請求の範囲第1項記載の適応制御装置
  3. (3)上記適応制御装置において目標値信号と制御偏差
    信号から制御性能を逐次監視する制御性能監視機能を有
    し、制御性能がある基準値より悪くなったとき、制御定
    数のチューニングを起動させることを特徴とした特許請
    求の範囲第1項記載の適応制御装置。
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JPS63165903A true JPS63165903A (ja) 1988-07-09

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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0397003A (ja) * 1989-09-11 1991-04-23 Toshiba Corp 2自由度pid制御装置
JPH03202902A (ja) * 1989-12-28 1991-09-04 Toshiba Corp 2自由度調節装置
JPH04353902A (ja) * 1991-05-30 1992-12-08 Nec Corp サーボ制御装置
JP2001184103A (ja) * 1999-11-04 2001-07-06 Fisher Rosemount Syst Inc ローバスト性マップからのプロセスコントローラのためのチューニングパラメータの決定方法
CN104216290A (zh) * 2014-09-01 2014-12-17 法泰电器(江苏)股份有限公司 永磁真空开关动态特性模糊神经自寻优的调控方法及系统
DE102014003168B4 (de) 2013-03-05 2021-09-30 Fanuc Corporation Steuereinrichtung für einen Servomotor

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