JPS63165750A - 排水中の亜硝酸性窒素の連続測定法 - Google Patents
排水中の亜硝酸性窒素の連続測定法Info
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- JPS63165750A JPS63165750A JP61314816A JP31481686A JPS63165750A JP S63165750 A JPS63165750 A JP S63165750A JP 61314816 A JP61314816 A JP 61314816A JP 31481686 A JP31481686 A JP 31481686A JP S63165750 A JPS63165750 A JP S63165750A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、固定化微生物を応用した排水中の亜硝酸性窒
素の連続測定法に関する。
素の連続測定法に関する。
排水中の亜硝酸性窒素は、土としてし尿、下水等の中に
含まれるたん白質等の分解によって生じたアンモニア性
窒素がさらに生物化学的に酸化された結果として生じる
ものであって、下排水処理においては汚濁物質の浄化の
程度を知る指標となる。また、自然水域においてはアン
モニア性窒素と同時にし尿汚染の指標ともなる〔「下水
道試験法」、(社)日本下水道協会績、!984年〕。
含まれるたん白質等の分解によって生じたアンモニア性
窒素がさらに生物化学的に酸化された結果として生じる
ものであって、下排水処理においては汚濁物質の浄化の
程度を知る指標となる。また、自然水域においてはアン
モニア性窒素と同時にし尿汚染の指標ともなる〔「下水
道試験法」、(社)日本下水道協会績、!984年〕。
したがって、亜硝酸性窒素の測定の意義は大きい。
従来、亜硝酸性窒素の測定は、主として、N−(1−ナ
フチル)エチレンジアミン吸光光度法によって行われて
きた。この方法は、試料水中の亜硝酸イオンがスルファ
ニルアミドをジアゾ化し、次いでこれがN−(1−ナフ
チル)エチレンジアミンと結合して生じる化合物の桃紅
色の吸光度を測定して亜硝酸性窒素の濃度を求める方法
である。
フチル)エチレンジアミン吸光光度法によって行われて
きた。この方法は、試料水中の亜硝酸イオンがスルファ
ニルアミドをジアゾ化し、次いでこれがN−(1−ナフ
チル)エチレンジアミンと結合して生じる化合物の桃紅
色の吸光度を測定して亜硝酸性窒素の濃度を求める方法
である。
また、近年、亜硝酸性窒素酸化細菌よりなる固定化微生
物膜を備えた微生物電極(センサ)を亜硝酸性窒素を含
む排水に浸漬・接触させて亜硝酸性窒素のみを硝酸性窒
素に選択的に酸化し、該排水中の亜硝酸性窒素の減少に
対応して生じる溶存酸素の減少量を微生物電極の出力電
流として感知させて間接的に亜硝酸性窒素の濃度を求め
る方法が提案されている(特開昭56−60342号参
照)。
物膜を備えた微生物電極(センサ)を亜硝酸性窒素を含
む排水に浸漬・接触させて亜硝酸性窒素のみを硝酸性窒
素に選択的に酸化し、該排水中の亜硝酸性窒素の減少に
対応して生じる溶存酸素の減少量を微生物電極の出力電
流として感知させて間接的に亜硝酸性窒素の濃度を求め
る方法が提案されている(特開昭56−60342号参
照)。
(発明が解決しようとする問題点〕
上記のようなN−(1−ナフチル)エチレンジアミン吸
光光度法は試料水中の亜硝酸性窒素の定量法として優れ
ているが、(11試料水に色や濁りがあるときや残留塩
素などの酸化性物質が共存する系では前処理を必要とし
、したがって測定操作が繁雑となること、(2)測定が
手分析で行われるため自動化が困難であること等の欠点
を有している。
光光度法は試料水中の亜硝酸性窒素の定量法として優れ
ているが、(11試料水に色や濁りがあるときや残留塩
素などの酸化性物質が共存する系では前処理を必要とし
、したがって測定操作が繁雑となること、(2)測定が
手分析で行われるため自動化が困難であること等の欠点
を有している。
このため、排水中の亜硝酸性窒素の簡便でかつ迅速な定
量法が望まれていた。
量法が望まれていた。
この点で、前記のような微生物電極(センサ)を用いる
測定法は簡単な操作でかつ短時間で測定できるという利
点があるが、以下のような欠点を有する。(l) 連
続的に測定を行った場合に微生物センサの寿命が約20
日程度と短い、(2)測定試料が下排水等であって種々
の有機物を含むものである場合、長期間使用すると微生
物センサ内に硝酸生成細菌以外の微生物が増殖し、セン
サの亜硝酸性窒素に対する選択性が劣化し、測定誤差を
与える。
測定法は簡単な操作でかつ短時間で測定できるという利
点があるが、以下のような欠点を有する。(l) 連
続的に測定を行った場合に微生物センサの寿命が約20
日程度と短い、(2)測定試料が下排水等であって種々
の有機物を含むものである場合、長期間使用すると微生
物センサ内に硝酸生成細菌以外の微生物が増殖し、セン
サの亜硝酸性窒素に対する選択性が劣化し、測定誤差を
与える。
したがって、本発明の目的は、上記のような吸光光度法
や微生物センサを用いる亜硝酸性窒素濃度測定方法にお
ける欠点を改良することを目的とする。他の目的は、固
定化微生物膜または固定化微生物カラムを用いる排水中
の亜硝酸性窒素濃度の測定方法において、固定化微生物
膜または固定化微生物カラムのセンサとしての選択性の
劣化を防止し、かつ寿命の延長をはかることによって連
続的に精度良く測定することを可能にする測定方法を提
供することである。
や微生物センサを用いる亜硝酸性窒素濃度測定方法にお
ける欠点を改良することを目的とする。他の目的は、固
定化微生物膜または固定化微生物カラムを用いる排水中
の亜硝酸性窒素濃度の測定方法において、固定化微生物
膜または固定化微生物カラムのセンサとしての選択性の
劣化を防止し、かつ寿命の延長をはかることによって連
続的に精度良く測定することを可能にする測定方法を提
供することである。
上記の目的は、本発明に従って、固定化微生物膜または
固定化微生物カラムに使用する微生物として独立栄養細
菌である硝酸生成細菌を用い、そして固定化微生物膜ま
たは固定化微生物カラムを該硝酸生成細菌が選択的に生
育するように、かつ、排水中の有機物を資化して、酸素
を消費する従属栄養細菌の増殖を阻害するように抗生物
質を含む無機液体培地によって隔時的に洗浄することに
よって達成される。
固定化微生物カラムに使用する微生物として独立栄養細
菌である硝酸生成細菌を用い、そして固定化微生物膜ま
たは固定化微生物カラムを該硝酸生成細菌が選択的に生
育するように、かつ、排水中の有機物を資化して、酸素
を消費する従属栄養細菌の増殖を阻害するように抗生物
質を含む無機液体培地によって隔時的に洗浄することに
よって達成される。
要約すれば、本発明は、亜硝酸性窒素酸化細菌を含む固
定化微生物膜を備えた微生物センサまたは固定化微生物
カラム−酸素電極系を亜硝酸性窒素を含む排水に浸漬・
接触させ、亜硝酸性窒素濃度の減少に対応して生ずる溶
存酸素の減少量を微生物センサまたは酸素電極で検出し
、これより間接的に亜硝酸性窒素を測定することを包含
する排水中の亜硝酸性窒素連続測定法において、亜硝酸
性窒素酸化細菌が独立栄養細菌である硝酸生成細菌であ
ること、そして該固定化微生物膜または固定化微生物カ
ラムを抗生物質を含有する無機液体培地により隔時的に
洗浄することを特徴とする排水中の亜硝酸性窒素連続測
定法である。
定化微生物膜を備えた微生物センサまたは固定化微生物
カラム−酸素電極系を亜硝酸性窒素を含む排水に浸漬・
接触させ、亜硝酸性窒素濃度の減少に対応して生ずる溶
存酸素の減少量を微生物センサまたは酸素電極で検出し
、これより間接的に亜硝酸性窒素を測定することを包含
する排水中の亜硝酸性窒素連続測定法において、亜硝酸
性窒素酸化細菌が独立栄養細菌である硝酸生成細菌であ
ること、そして該固定化微生物膜または固定化微生物カ
ラムを抗生物質を含有する無機液体培地により隔時的に
洗浄することを特徴とする排水中の亜硝酸性窒素連続測
定法である。
(作 用〕
本発明の固定化微生物膜または固定化微生物カラムに用
いられる亜硝酸性窒素酸化細菌は、独立栄養細菌である
硝酸生成細菌、例えばニトロバクタ−・ビッグラドスキ
ー(H4trobactor winogra−dsk
yiなどである。このような独立栄養細菌は、排水中に
存在する有機物を資化して酸素を消費することがないの
で特に有効である。このような硝酸生成細菌を用いた固
定化微生物膜および固定化微生物カラムの調製について
は以下の実施例の部で説明する。
いられる亜硝酸性窒素酸化細菌は、独立栄養細菌である
硝酸生成細菌、例えばニトロバクタ−・ビッグラドスキ
ー(H4trobactor winogra−dsk
yiなどである。このような独立栄養細菌は、排水中に
存在する有機物を資化して酸素を消費することがないの
で特に有効である。このような硝酸生成細菌を用いた固
定化微生物膜および固定化微生物カラムの調製について
は以下の実施例の部で説明する。
一般に、固定化微生物膜または固定化微生物カラムの使
用を長期間にわたり連続的に操作すると膜またはカラム
内に他の微生物が増殖してセンサとしての選択性の劣化
を生しる。したがって、本発明の方法においては、固定
化微生物膜または固定化微生物カラム内で硝酸生成細菌
が選択的に生育するように、かつ、排水中に存在する有
機物を資化して酸素を消費する従属栄養細菌の増殖を阻
害するように、該膜またはカラムを硝酸生成細菌に適し
た無機液体培地にテラマイシンのような抗生物質を添加
したもので隔時的に洗浄する。このような無機液体培地
としては、KNO,、にHCO3、に、IIPO,、K
IIIPO4、Mg5OイCa1z、 FeSO4、N
aC1等を含有する水溶液があげられる。
用を長期間にわたり連続的に操作すると膜またはカラム
内に他の微生物が増殖してセンサとしての選択性の劣化
を生しる。したがって、本発明の方法においては、固定
化微生物膜または固定化微生物カラム内で硝酸生成細菌
が選択的に生育するように、かつ、排水中に存在する有
機物を資化して酸素を消費する従属栄養細菌の増殖を阻
害するように、該膜またはカラムを硝酸生成細菌に適し
た無機液体培地にテラマイシンのような抗生物質を添加
したもので隔時的に洗浄する。このような無機液体培地
としては、KNO,、にHCO3、に、IIPO,、K
IIIPO4、Mg5OイCa1z、 FeSO4、N
aC1等を含有する水溶液があげられる。
本発明の方法を実施するためには、例えば、第1図に示
したような装置を用いればよい。第1図は、固定化微生
物カラムを用いた亜硝酸性窒素連続測定装置の一構成図
である。まず、装置について説明すると、1はフィルタ
、2は送液ポンプ、3はエア・ポンプ、4は熱交換器、
5は恒温槽、6ば固定化微生物カラム、7は酸素電極、
8は表示計、9はメモリ、10は記録計、11は演算部
、12及び14は流路切換バルブ、13は送液ポンプ、
15は標準溶液ボトル、16は緩衝液ボトル、17は洗
浄再生液ボトルである。
したような装置を用いればよい。第1図は、固定化微生
物カラムを用いた亜硝酸性窒素連続測定装置の一構成図
である。まず、装置について説明すると、1はフィルタ
、2は送液ポンプ、3はエア・ポンプ、4は熱交換器、
5は恒温槽、6ば固定化微生物カラム、7は酸素電極、
8は表示計、9はメモリ、10は記録計、11は演算部
、12及び14は流路切換バルブ、13は送液ポンプ、
15は標準溶液ボトル、16は緩衝液ボトル、17は洗
浄再生液ボトルである。
次に、測定法の実施について説明するに、測定すべき試
料水はフィルタ1を通り、送液ポンプ2によりエアポン
プ3からの空気と恒温槽5内で熱交換器4で加温・混合
されて固定化微生物カラム6に送られ、ここで亜硝酸性
窒素は硝酸性窒素に変換され、溶存酸素が減少する。試
料水は、酸素電極7によってその溶存酸素量が測定され
た後、排出される。この測定された溶存酸素量に、予め
亜硝酸性窒素標準溶液15を用いることにより求めてお
いた演算式(これはメモリ9に記憶しておく)を適用す
れば試料水中の亜硝酸性窒素濃度が計算され、表示(8
)され、記録(10)される。
料水はフィルタ1を通り、送液ポンプ2によりエアポン
プ3からの空気と恒温槽5内で熱交換器4で加温・混合
されて固定化微生物カラム6に送られ、ここで亜硝酸性
窒素は硝酸性窒素に変換され、溶存酸素が減少する。試
料水は、酸素電極7によってその溶存酸素量が測定され
た後、排出される。この測定された溶存酸素量に、予め
亜硝酸性窒素標準溶液15を用いることにより求めてお
いた演算式(これはメモリ9に記憶しておく)を適用す
れば試料水中の亜硝酸性窒素濃度が計算され、表示(8
)され、記録(10)される。
また、固定化微生物カラム6は、洗浄再生液ボトルから
洗浄再生液を隔時的に流すことにより洗浄再生できる。
洗浄再生液を隔時的に流すことにより洗浄再生できる。
また、本発明の方法を実施するのに用いることができる
亜硝酸性窒素連続測定装置の他の構成を第2図に示す、
第2図の装置は、第1図に示した装置における固定化微
生物カラム6及び酸素電極7に代えて微生物センサ18
を用いたものである。
亜硝酸性窒素連続測定装置の他の構成を第2図に示す、
第2図の装置は、第1図に示した装置における固定化微
生物カラム6及び酸素電極7に代えて微生物センサ18
を用いたものである。
測定のフローは、第1図に関して説明したものとほぼ同
様であり、微生物電極により試料水中の亜硝酸性窒素濃
度を求める。
様であり、微生物電極により試料水中の亜硝酸性窒素濃
度を求める。
以下、本発明の方法を実施例により説明する。
大施■上
まず、下記の表1に示す組成の無機液体培地100al
硝#IM、生成細菌(Nitrobactor win
ograd−skyi)を約101個/ s j含む液
体培地5mjを接種し300ag三角フラスコ内で28
℃、300rp−にて回転振盪培養を2週間行った。こ
の間に基質No!−N)の消失に対応して100 →2
50ugN/ m lのフィーディングを行った。
硝#IM、生成細菌(Nitrobactor win
ograd−skyi)を約101個/ s j含む液
体培地5mjを接種し300ag三角フラスコ内で28
℃、300rp−にて回転振盪培養を2週間行った。こ
の間に基質No!−N)の消失に対応して100 →2
50ugN/ m lのフィーディングを行った。
表1 培地組成
上記培養液を7.0OQrp■で30分間遠心分離を行
い、菌体を分離し、これを蒸留水10−1に分散させた
。この溶液に滅菌した3%アルギン酸ナトリウム水溶液
1OI11を溶解させた。この溶液をシリンジに採取し
、0. I MCaC1ffi溶液中に滴下し、アルギ
ン酸カルシウム固定化微生物ゲル粒子を得た。このゲル
粒子を直径10fi、長さ100鶴のガラス管に充填し
て固定化微生物カラムとした、 次いで、この固定化微
生物カラムを用いて第1図に示すような亜硝酸性窒素連
続測定装置を構成した。
い、菌体を分離し、これを蒸留水10−1に分散させた
。この溶液に滅菌した3%アルギン酸ナトリウム水溶液
1OI11を溶解させた。この溶液をシリンジに採取し
、0. I MCaC1ffi溶液中に滴下し、アルギ
ン酸カルシウム固定化微生物ゲル粒子を得た。このゲル
粒子を直径10fi、長さ100鶴のガラス管に充填し
て固定化微生物カラムとした、 次いで、この固定化微
生物カラムを用いて第1図に示すような亜硝酸性窒素連
続測定装置を構成した。
次いで、この測定装置について亜硝酸性窒素標準溶液(
NCh−Nとして20mg/g溶液)を測定試料として
測定を行い、微生物カラムの安定性(相対活性)を求め
た。得られた結果を第3図に示す、第3図において、1
は下記の表2に示すような洗浄再生液によって洗浄した
場合、2はそのような洗浄をしない場合の相対活性を表
わす、第3図から明らかなように、表2に示す洗浄再生
液による洗浄によって1ケ月以上の安定した測定が可能
になった。
NCh−Nとして20mg/g溶液)を測定試料として
測定を行い、微生物カラムの安定性(相対活性)を求め
た。得られた結果を第3図に示す、第3図において、1
は下記の表2に示すような洗浄再生液によって洗浄した
場合、2はそのような洗浄をしない場合の相対活性を表
わす、第3図から明らかなように、表2に示す洗浄再生
液による洗浄によって1ケ月以上の安定した測定が可能
になった。
表2 洗浄再生液組成
実施例1と同様の方法で培養した硝酸生成細菌(Nit
robactor winogradskyi)の培養
液1 (1/lを孔径0.45μ墨、膜厚100μ−の
酢酸セルロース膜で加圧濾過し、菌体を膜上に捕捉した
後、厚さ7μ鋤、孔径0.1 μ−のポリカーボネート
膜を積層し、膜間を接着して固定化微生物膜を得た。
robactor winogradskyi)の培養
液1 (1/lを孔径0.45μ墨、膜厚100μ−の
酢酸セルロース膜で加圧濾過し、菌体を膜上に捕捉した
後、厚さ7μ鋤、孔径0.1 μ−のポリカーボネート
膜を積層し、膜間を接着して固定化微生物膜を得た。
このようにして得られた固定化微生物膜を酸素電極に装
着して微生物センサとし、これを用いて第2図に示すよ
うな亜硝酸性窒素連続測定装置を構成した。
着して微生物センサとし、これを用いて第2図に示すよ
うな亜硝酸性窒素連続測定装置を構成した。
このように構成した装置により下水処理水を連続的に測
定し、微生物電極の安定性を求めた。
定し、微生物電極の安定性を求めた。
得られた結果を第4図及び第5図に示す。第4図は微生
物電極を実施例1の表2に示した組成の洗浄再生液を用
いて洗浄した場合、そして第5図はそのような洗浄をし
ない場合の結果を示す0両図において、実線は標準溶液
(亜硝酸性窒素として20mg/j)に対する相対出力
の経時変化を、破線はグルコース505g/lの溶液に
対する相対出力の経時変化を示す。
物電極を実施例1の表2に示した組成の洗浄再生液を用
いて洗浄した場合、そして第5図はそのような洗浄をし
ない場合の結果を示す0両図において、実線は標準溶液
(亜硝酸性窒素として20mg/j)に対する相対出力
の経時変化を、破線はグルコース505g/lの溶液に
対する相対出力の経時変化を示す。
本発明に従って洗浄再生液による洗浄を行った場合には
、1ケ月近く安定して亜硝酸性窒素濃度の計測が可能で
あり、しかも有機物(グルコース)による妨害はほとん
ど認められないが(第4図)、洗浄再生液による洗浄を
行わないと亜硝酸性窒素に対する出力は低下し、逆にグ
ルコースに対する出力の増加が認められた(第5図)、
これは、洗浄再生液により亜硝酸生成細菌が選択的に生
育し、また抗生物質により雑菌の増殖が阻害されている
ことを示すものと考えられる。
、1ケ月近く安定して亜硝酸性窒素濃度の計測が可能で
あり、しかも有機物(グルコース)による妨害はほとん
ど認められないが(第4図)、洗浄再生液による洗浄を
行わないと亜硝酸性窒素に対する出力は低下し、逆にグ
ルコースに対する出力の増加が認められた(第5図)、
これは、洗浄再生液により亜硝酸生成細菌が選択的に生
育し、また抗生物質により雑菌の増殖が阻害されている
ことを示すものと考えられる。
本発明により、排水中の亜硝酸性窒素濃度を固定化微生
物を応用して測定する場合に、微生物として独立栄養細
菌である硝酸生成細菌を用いるとともに、所定の無機液
体培地を洗浄再生液として用いて洗浄することにより、
亜硝酸生成細菌が選択的に生育し、したがってセンサと
しての選択的の低下が防止されるので、長期間安定して
精度よく連続して亜硝酸性窒素の測定が可能となる。
物を応用して測定する場合に、微生物として独立栄養細
菌である硝酸生成細菌を用いるとともに、所定の無機液
体培地を洗浄再生液として用いて洗浄することにより、
亜硝酸生成細菌が選択的に生育し、したがってセンサと
しての選択的の低下が防止されるので、長期間安定して
精度よく連続して亜硝酸性窒素の測定が可能となる。
第1図は、本発明の方法を実施するのに用いられる固定
化微生物カラムを用いた亜硝酸性窒素連続測定装置の一
構成図である。第2図は、本発明の方法を実施するのに
用いられる微生物センサを用いた亜硝酸性窒素連続測定
装置の一構成図である。第3図は0本発明に従う洗浄再
生液の有効性(微生物カラムの安定性)を示す図である
。第4図は、本発明に従う洗浄再生液の有効性(微生物
センサの安定性)を示す図である。第5図は、洗浄再生
液による洗浄をしない場合の微生物センサの安定性を示
す図である。 1・・・フィルタ、2・・・送液ポンプ、3・・・エア
ポンプ、4・・・熱交換器、5・・・恒温槽、6・・・
固定化微生物カラム、7・・・酸素電極、8・・・表示
計、9・・・メモリ、10・・・記録計、11・・・演
算部、12.14・・・流路切換バルブ、13・・・送
液ポンプ、15・・・標準溶液ボトル、16・・・緩衝
液ボトル、17・・・洗浄再生液ボトル、18・・・微
生物センサ。 箋l濡 ノσ 箋3坊 脛蓮時間 B 箋qス H擾吟門 B
化微生物カラムを用いた亜硝酸性窒素連続測定装置の一
構成図である。第2図は、本発明の方法を実施するのに
用いられる微生物センサを用いた亜硝酸性窒素連続測定
装置の一構成図である。第3図は0本発明に従う洗浄再
生液の有効性(微生物カラムの安定性)を示す図である
。第4図は、本発明に従う洗浄再生液の有効性(微生物
センサの安定性)を示す図である。第5図は、洗浄再生
液による洗浄をしない場合の微生物センサの安定性を示
す図である。 1・・・フィルタ、2・・・送液ポンプ、3・・・エア
ポンプ、4・・・熱交換器、5・・・恒温槽、6・・・
固定化微生物カラム、7・・・酸素電極、8・・・表示
計、9・・・メモリ、10・・・記録計、11・・・演
算部、12.14・・・流路切換バルブ、13・・・送
液ポンプ、15・・・標準溶液ボトル、16・・・緩衝
液ボトル、17・・・洗浄再生液ボトル、18・・・微
生物センサ。 箋l濡 ノσ 箋3坊 脛蓮時間 B 箋qス H擾吟門 B
Claims (1)
- 亜硝酸性窒素酸化細菌を含む固定化微生物膜を備えた微
生物センサまたは固定化微生物カラム・酸素電極系を亜
硝酸窒素を含む排水に浸漬・接触させ、亜硝酸性窒素濃
度の減少に対応して生ずる溶存酸素の減少量を微生物セ
ンサまたは酸素電極で検出し、これより間接的に亜硝酸
性窒素を測定することを包含する排水中の亜硝酸性窒素
連続測定法において、亜硝酸性窒素酸化細菌が独立栄養
細菌である硝酸生成細菌であること、そして該固定化微
生物膜または固定化微生物カラムを抗生物質を含有する
無機液体培地により隔時的に洗浄することを特徴とする
排水中の亜硝酸性窒素の連続測定法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61314816A JPS63165750A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 排水中の亜硝酸性窒素の連続測定法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61314816A JPS63165750A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 排水中の亜硝酸性窒素の連続測定法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63165750A true JPS63165750A (ja) | 1988-07-09 |
Family
ID=18057946
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61314816A Pending JPS63165750A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 排水中の亜硝酸性窒素の連続測定法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63165750A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7872242B2 (en) | 2003-10-17 | 2011-01-18 | Fei Company | Charged particle extraction device and method of design there for |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP61314816A patent/JPS63165750A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7872242B2 (en) | 2003-10-17 | 2011-01-18 | Fei Company | Charged particle extraction device and method of design there for |
JP4913599B2 (ja) * | 2003-10-17 | 2012-04-11 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | 帯電粒子抽出デバイスおよびその設計方法 |
US8405043B2 (en) | 2003-10-17 | 2013-03-26 | Fei Company | Charged particle extraction device and method of design there for |
US8653474B2 (en) | 2003-10-17 | 2014-02-18 | Fei Company | Charged particle extraction device and method of design there for |
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