JPS63159767A - 電気信号観測装置 - Google Patents

電気信号観測装置

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JPS63159767A
JPS63159767A JP61307371A JP30737186A JPS63159767A JP S63159767 A JPS63159767 A JP S63159767A JP 61307371 A JP61307371 A JP 61307371A JP 30737186 A JP30737186 A JP 30737186A JP S63159767 A JPS63159767 A JP S63159767A
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light
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裕 土屋
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、極めて速い速度で変化する電気信号を観測す
るための電気信号観測装置に関する。
(従来の技術) 高速度で変化する電気信号の波形等を測定する手段とし
て高速オシロスコープが知られている。
高速オシロスコープの時間応答(あるいは時間分解能)
が1ナノ秒(10−9秒)程度である。
また、サンプリング形オシロスコープを用いれば時間分
解能は、数ピコ秒程度になる。
しかしサンプリング形オシロスコープの観測の対象は繰
り返し現象に限られる。
超高速で変化する発光現象を測定する手段として超高速
ストリークカメラが知られている。
ストリークカメラは、ピコ秒域の時間分解能を有するも
ので、通常は、光信号を直接測定する。
このストリークカメラの前に、電気信号を光信号に変換
する素子、例えばレーザダイオードを用いれば前述のオ
シロスコープの場合よりも優れた時間分解能(ナノ秒〜
数ピコ秒)で電気信号の計測が可能となる。
ストリークカメラを利用した測定方法の動作原理を第1
1図を参照して説明する。
光強度が測定されるべき電気信号と比例関係、あるいは
1対1の関係にある光信号を作り、これをストリーク管
によってストリーク像に変換して測定する。
測定されるべき電気信号によって駆動されたレーザダイ
オード901の発光は入力光学系のスリット板902を
照射する。
スリット板902のスリット像は、リレーレンズ903
を通し、ストリーク管900の光電陰極910に結像さ
せられる。
スリット像は光電陰極910で電子像に変換され、加速
電極911で加速され偏向空間へ入る。
偏向空間には、一対の偏向板912A、912Bがあり
、電子像が偏向空間を通過する瞬間にこの偏向板912
A、912Bに掃引電圧発生回路915から高速掃引電
圧が印加されており、電子像は上方から下方へ掃引され
る。
この掃引は、電子像の通過時期と同期する必要があり、
入射光の一部を分岐して受光した電気信号や、測定され
るべき電気信号の一部を分岐したものをトリガ信号とし
て利用している。
単掃引ストリークカメラでは、この高速掃引電圧は、ノ
コギリ波に類似した波形を使用しているため、掃引の繰
り返しは最高で数kHzに制限される。
シンクロスキャンストリークカメラの掃引電圧波形は、
高繰り返しの測定されるべき電気信号と同期した正弦波
であり、掃引周波数は75〜165MH2である。
前記レーザダイオード901の発光と掃引波形が同期し
ていれば、螢光面914上の同一位置に高繰り返しのス
トリーク像を得ることができ、これを積算することによ
って、微弱な光現象を短時間のうちに高いS/Nで測定
することができる。
掃引された電子像は、マイクロチャンネルプレート91
3を通過する時に1000倍程度に電子増倍され螢光面
914に入射させられて、螢光面914で再び光学像に
変換される。
こうして得られたストリーク像を図示されていないリレ
ーレンズを通してSITカメラ等により擾徴し、解析す
ることができる。
入射光による電子がいつ光電陰極910を出たかによっ
て螢光面914上での位置が決る。
つまり、入射光の時間軸が螢光面914の縦軸に変換さ
れることになる。
したがって、螢光面914の縦軸上の位置から時間差、
iの濃淡から光強度が判る。
また、ストリーク像の横軸方向には、光電陰極914上
のスリット像のスリン(・方向に沿う情報がそのまま残
っているので、ストリーク管900の前段に結像系や分
光器を配置することにより、位置や波長に対する光強度
の変化を測定することができる。
第12図にストリーク像の横軸方向に含まれている情報
の強度変化とストリーク像を対応して示しである。
(発明が解決しようとする問題点) 以上、説明したストリークカメラを利用する測定方法で
は、時間分解能と観測できる時間域が比例する。
そのため、時間分解能を向上させると観測できる時間域
が狭くなる。
通常のストリークカメラでは、この関係は、(観測でき
る時間域”)’= (200X時間分解能)となる。
例えば、時間分解能が2ピコ秒であれば、観測できる時
間域は、 2X10−12X200=4X10−”=0.4ナノ秒
となる。
したがって、比較的長い光現象を高い時間分解能で1回
の測定(掃引)で測定することは不可能である。
超高速IC,超高速ロジック回路などでは、高い時間分
解で比較的長い時間域を計測し、その動作、各パルスの
タイミングなどを測定する必要がある。
また、そのような波形を瞬時に記録して解析する手段も
必要である。
本発明の目的は、上述の問題点を解決するもので、高い
時間分解能を維持したまま、比較的長い観測時間が可能
となる電気信号観測装置を提供することにある。
(問題点を解決するための手段) 前記目的を達成するために、本発明による電気信号観測
装置は、複数個の発光素子よりなる発光素子群と、前記
発光素子群の発光素子に被測定対象期間の電気信号をサ
イクルに時間分割し前記各サイクルを前記複数個に分割
して前記発光素子に逐次繰り返して接続する電気信号接
続手段と、前記被測定対象期間相当の掃引時間で掃引す
るストリークカメラと、前記発光素子群の1発光サイク
ルの出力が掃引方向に交差する方向に並ぶように接続す
る発光接続手段から構成されている。
前記装置をn個の発光素子よりなる発光素子群と、前記
発光素子群の発光素子に被測定対象期間の電気信号を(
m)サイクルに時間分割し前記各サイクルを前記n期間
に分割して前記発光素子に逐次繰り返して接続する電気
信号接続手段と、前記被測定対象期間(n×m)相当の
掃引時間で掃引するストリークカメラと、前記発光素子
群の1発光号イクルの出力が掃引方向に交差する方向に
並ぶように接続する発光接続手段から構成することがで
きる。
前記発光素子群は直線状に配列された複数個の発光素子
からなる発光素子列とし、前記発光接続手段は前記発光
素子列の像を前記ストリークカメラの掃引方向に直交す
る方向の細長い像を形成する光学手段とすることができ
る。
前記発光素子群は直線状に配列された複数個の発光素子
からなる発光素子列であり、前記発光接続手段は前記発
光素子列の発光側に配置されたスリット板とこのスリッ
トの像を前記ストリークカメラの掃引方向に直交する方
向の細長い像を形成する光学手段とすることができる。
前記発光素子群は直線状に配列された複数個の発光素子
からなる発光素子列であり、前記発光接続手段は前記ス
トリークカメラの掃引方向に直交する方向の細長い像を
形成する光学手段およびこの細長い像をより細くするた
めに前記ストリーク管の光電陰極の前に配置されたスリ
ットとすることができる。
前記発光素子群は複数個の発光素子であり、前記発光接
続手段は前記各発光素子の出力を取り出すファイバとこ
のファイバの出力端を前記ストリークカメラの掃引方向
に直交する方向に接続する配列接続手段とすることがで
きる。
前記電気信号接続手段は、切換スイッチ手段とすること
ができる。
前記ストリークカメラの掃引は傾斜電圧による単一掃引
とすることができる。
また前記被測定対象の電気信号は同一の変化を繰り返す
ものであるときは、前記ストリークカメラの掃引は前記
繰り返しに同期した繰り返し掃引とすることができる。
前記電気信号接続手段は、発光素子に対応するスイッチ
ング素子群を含むものとすることができる。
前記スイッチング素子は、超高速GaAsスイッチ素子
とすることができる。
前記発光素子群はレーザダイオードから形成することが
できる。
前記電気信号接続手段と前記発光素子群は、被測定対象
の電気信号を増幅する増幅器、前記増幅器出力を分配す
るスイッチ素子群、レーザダイオード群を一体に設けて
小形化に寄与することができる。
前記電気信号接続手段のスイッチの制御をストリップラ
イン上のパルス電圧で行うように構成することができる
前記電気信号接続手段のスイッチの制御を分布定数回路
上のパルス電圧ですることができる。
前記電気信号接続手段のスイッチは光制御形のスイッチ
とすることができる。
(実施例) 以下、実施例等を参照して本発明をさらに詳しく説明す
る。
第1図は、本発明による電気信号観測装置の実施例を示
すブロック図である。
測定対象の信号は電気信号接続手段に含まれる増幅器1
の入力端子1aに接続される。
増幅器1の出力は切換スイッチ2に接続されている。ス
イッチ2はスイッチ制御手段3により、切換駆動され、
増幅された信号を発光素子群を形成するレーザダイオー
ドアレー4の各ダイオードD1+D2 ・・・Dnに順
次繰り返し接続する。
レーザダイオードアレー4の各ダイオードDlrD2 
・・・Dnは直線上に配列されており、この各ダイオー
ドD、1D21  ・・・Dnの光出力は発光接続手段
を形成するレンズ5によりストリークカメラのストリー
ク管10の光電陰極11にその掃引方向に直交する方向
に形成される。
この場合、直線上に並んだ各ダイオードの発光による像
を光電陰極11上にスリット状に結像させることが好ま
しい。
第2図は、ダイオードの配列の実施例を示す斜視図であ
る。
レーザダイオードアレー4の各ダイオードD寡。
D2 ・・・Dnを密着゛して配列し、前面にスリット
21aを有するスリット坂21を配置する。
このスリット21aを通過した光のみを第1図に示すレ
ーザ5でストリーク管10の光電陰極11にスリット状
に結像させる。
なお、このスリット坂21をストリーク管10の光電陰
極11の直前に配置しても良い。
第3図は、本発明による電気信号観測装置の発光素子群
と発光接続手段の他の実施例を示す斜視図である。
発光素子群30は必ずしも、前述のように整列して配置
される必要はない。
発光素子群30に含まれるダイオードD、、D2・・・
Dnをファイバ出力形のダイオードとし、ファイバ群3
1の出力側を整列用の板32で直線上に整列させて、ス
トリーク管10の光電陰極11に対応させれば良い。
光電陰極11から放出された光電子は加速電極12によ
り加速され、収束電極13により収束され、アパーチャ
電極14を介して、偏向空間に入射させられる。
偏向空間を形成する偏向電極15には偏向電圧発生回路
から偏向電圧が印加されており、光電子はこの偏向空間
を通過するときに偏向される。
偏向を受けた電子はマイクロチャンネルプレート16に
入射しここで増倍されて螢光面17に入射させられて螢
光面17を発光させる。
前記実施例の動作例を第4図を参照して説明する。
第4図(A)は測定対象の電気信号の例を示す波形図、
同図(B)は前記電気信号とストリーク管10の螢光面
17の発光位置との関係を示した図である。
いま理解を容易にするために測定対象の電気信号の被測
定対象期間を第4図(A)に示すように、ΣTi  (
i=1〜n+)であったとする。
スイッチ2は最初のサイクルT、=Σtlj(J−1〜
n)の期間、増幅器1の出力のt 11. t 12゜
t13〜tinの期間をそれぞれレーザダイオードアレ
ー4のダイオードDB +  D2 +  ・・・Dn
に接続し、その期間、出力に対応する明るさで各ダイオ
ードを順次点灯する。
次のサイクルT2=Σt2j(j=1〜n)の期間。
増幅器1の出力のt 21. t 22. t 23り
t2nの期間をそれぞれレーザダイオードアレー4のダ
イオードD1.D2.  ・・・Dnに接続する。
スイッチ2の1サイクルの分配接続に要する時間がスト
リーク管20の掃引の期間に対して充分に短くしである
から、各信号は第4図(B)に示すように現れる。
すなわち各サイクルがあたかもn画素の走査線に対応さ
せられ、nXm1IJのアナログ輝度情報として取り出
される。
第5図は、電気信号接続手段と発光素子群の実施例を示
すブロック図である。
被測定信号は増幅器1の入力端子1aに入力されて増幅
される。
増幅器1の出力には、nullの超高速FETのスイッ
チF E T S W (〜F E T S W nが
直列に接続されている。スイッチFET5W、の出力は
増幅器A1で増幅されコンデンサC1を介してレーザダ
イオードアレー4のレーザダイオードD1に、FE T
 S W nの出力は増幅器Anで増幅されコンデンサ
Cnを介してレーザダイオードアレー4のレーザダイオ
ードDnに接続されている。
各FETのスイッチFET5W1〜FET5Wnのゲー
トはそれぞれリングカウンタRCの出力端子g++g2
 ・・・・gnに接続されている。
第6図は、リングカウンタRCの出力端子電圧の変化を
示す波形図である。
gt+g2 ・・・・gnで前記増幅器1の出力がt 
11.  t 12.  t 13〜tinの期間をそ
れぞれレーデダイオードアレー4のダイオードD1.0
2+  ・・・Dnに接続され、次のgi、g2 ・・
・・gnで前記増幅器1の出力がt 21. t 22
. t 23〜t2nの期間をそれぞれレーザダイオー
ドアレー4のダイオードDI +  D2 +  ・・
・Dnに接続されることになる。
この実施例で、スイッチの切換速度を500ピコ秒毎切
換(クロック周波数2CI(z) 、n=50とする。
レーザダイオードアレイ4の中のレーザダイオードD、
、D2.  ・・・Dnまでに信号が分配されるのには
25ナノ秒(500X10”’、’ 2 x5Q−2,
5X10”)を要する。
そして第4図(B)に示すストリーク管の螢光面で、第
1行(t 11. t 12. t 13〜t in)
と第2行(t21. t22. t23〜t 2n)の
間の時間間隔が25ナノ秒となるように、ストリーク管
の掃引を行えば、ストリーク像の縦軸のフルスケールは
25×mナノ秒となる。
m=100とすれば、上の値は2.5マイクロ秒となる
以上のようにすれば、時間分解能は500ピコ秒観測時
間は25マイクロ秒となる。
観測時間と時間分解能の比は2,5xlO−L!150
0XIO−12=5X10”となる。
前述した実施例ではストリークカメラ10の掃引は傾斜
電圧による単一掃引としである。
前記被測定対象の電気信号が同一の変化を繰り返すもの
である場合、例えば一定の周期で繰り返すアナログ波形
やディジタル波形であるときには、前記ストリークカメ
ラの掃引を前記繰り返しに同期した高繰り返し掃引とす
ることができる。
第5図に示した実施例で接続手段を形成する増幅器1.
FETスイッチ、各スイッチに対応する増幅器(AI−
An)をIC化して小形化するこができる。
さらに高速性能を得るためにGaAsICとして高速化
できる。
また、このGaAsICとレーザダイオードを一体化す
ることができる。
第7図は発光素子群と電気信号接続手段の池の実施例を
示すブロック図である。
レーザダイオードアレー4の個々のダイオードにバイア
ス電流を流すための回路を省略しである。
信号が印加される増幅器1の出力は、n個のFETのス
イッチFET5WI 〜FET5Wnのドレインに接続
されている。
FETのスイッチFET5WI 〜FET5Wnのソー
スはそれぞれコンデンサCX=Cnを介して、レーザダ
イオードアレー4のダイオードD1〜Dnに接続されて
いる。
ただし、各FETのソースと接地管に接続される抵抗を
省略しである。
FETのスイッチFET5W1〜FET5Wnのゲート
はFET5W1〜FET5Wnの順に等しい間隔を保っ
て、ストリップラインSのストリップ導体に接続されて
おり、ストリップラインSの終端には無反射となるよう
に抵抗RLが接続されている。
ストリップラインSのストリップ導体には前記FET5
W1〜F E T S W nをこの順に導通させるた
めのゲート信号が印加されている。
ゲート信号パルスの間隔は第2図に示したサイクル期間
Tiに等しくしである。
これにより、前記パルスがストリップラインSを伝播す
る速さで前記FET5W1〜FET5Wnを導通させる
ことができ、増@器1の出力が次々にレーザダイオード
アレー4のダイオードD1〜Dnに接続される。
第8図は、電気信号接続手段と発光素子群のさらに他の
実施例を示すブロック図である。
この実施例は第7図の実施例に示したストリップライン
Sを、Lll  L21  L3 ・” ・・Ln−。
C1,、C12−・−C1(n−1)からなる分布定数
回路に置き換えたものである。
第7図、第8図に示した実施例において、FETを光信
号で制御されるスイッチ素子にすることができる。
ただし、この場合第6図に示すゲート信号を光信号とす
る。
ディジタル信号処理、ディジタル光通信などでは、系の
基本となるクロック信号があり、これ占同期してディジ
タル信号(2値)を扱う場合が多い。
これらの場合、クロック周波数を上げることは、処理速
度の高速化になるから重要である。
しかし、1ギガヘルツ(IGHz=109Hz)を越え
るようになると、観測および記録手段がない。
次に系の基本となるクロック信号があり、これと同期し
てディジタル信号を測定する例について詳細に説明する
第9図は、クロック信号と同期して送られてくるディジ
タル信号(2値)とスイッチ動作の関係を示す波形図で
ある。
第2段に(1−n)番目のクロックに対応して、ディジ
タル信号(1011001・・・・1)(n+1.n+
2・・)のクロックに対応して、ディジタル信号(01
・・・)が送られてきている状態を示している。
第5図に示した回路のリングカウンタRCに前記クロッ
クパルスを直接接続し、ディジタル信号を増幅器の入力
端子1aに接続する。
(1〜n)番目のクロックに対応してリングカウンタR
Cの出力に、・gt+g2 ・・・・gnが現れ、FE
TのスイッチFET5W1〜FET5Wnが順次閉じら
れ、そのとき増幅器1に現れている電圧をレーザダイオ
ードアレー4のダイオードD1゜D2.  ・・・Dn
に順次接続する。
例えばクロックlに対応するディジタル信号はダイオー
ドD1に、クロックnに対応するディジタル信号はダイ
オードDnに接続される。
第1θ図にクロックパルスがm x n個発生する期間
内にストリーク管10の螢光面に現れる像を示す。
いま、クロック周波数を2GHz  (クロックの間隔
を500ピコ秒)、レーザダイオードの数nを100と
すれば、スイッチ回路は、 500xlO−” x100=50ナノ秒で一巡する。
つまり、ストリーク像の水平方向は、50ナノ秒に対応
する。
この中に、100クロツク存在する。
50×mナノ秒がストリーク像の縦の長さと等しくなる
ようにストリーク掃引すれば、観測時間はm=200の
とき10マイクロ秒となる。
この10マイクロ秒は、20000クロツクに相当し、
一枚のストリーク像で、20000個の連続した最大密
度2GHzの2値信号を観測することができる。
また、このようなストリーク像を高感度テレビジョンカ
メラ等で撮像して解析するこ七もできる。
取り扱う信号は2値信号であるため、先に説明したアナ
ログデータを取り扱う場合に比較してより高速かつ、高
密度にすることができる。
(発明の効果) 以上詳しく説明したように、本発明による電気信号観測
装置は、複数個の発光素子よりなる発光素子群と、前記
発光素子群の発光素子に被測定対象期間の電気信号を号
イクルに時間分割し前記各号イクルを前記複数個に分割
して前記発光素子に逐次繰り返して接続する電気信号接
続手段と、前記被測定対象期間相当の掃引時間で掃引す
るストリークカメラと、前記発光素子群の1発光サイク
ルの出力が掃引方向に交差する方向に並ぶように接続す
る発光接続手段から構成されている。
したがって、極めて高い時間分解能で比較的長い時間、
超高速のアナログまたは、2値信号を観測できる。
このような性能を有する装置は未だ実現されておらず、
その効果は、研究分野、超高速デバイス。
超高速信号処理、超高速通信、超高速ICなどの分野に
広く利用できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明による電気信号観測装置の実施例を示
すブロック図である。 第2図は、ホトダイオードアレーの配列例を示す斜視図
である。 第3図は、本発明による電気信号観測装置の発光素子群
と発光接続手段の他の実施例を示す斜視図である。 第4図は、被測定対象の電気信号の波形(A)とストリ
ーク管の螢光面(B)との対応を示す略図である。 第5図は、本発明による電気信号観測装置の発光素子群
と電気信号接続手段の実施例を示すブロック図である。 第6図は、第3図に示した実施例のリングカウンタRC
の出力端子電圧の変化を示す波形図である。 第7図は、本発明による電気信号観測装置の発光素子群
と電気信号接続手段の他の実施例を示すブロック図であ
る。 第8図は、本発明による電気信号観測装置の発光素子群
と電気信号接続手段のさらに他の実施例を示すブロック
図である。 第9図は、本発明による電気信号観測装置の実施例をデ
ィジタル信号の観測に利用する場合のクロックとディジ
タル信号とゲート信号を示すグラフである。 第10図は、ディジタル信号とストリーク管の螢光面と
の対応を示す略図である。 第11図は、ストリークカメラの動作原理を説明するた
めの斜視図である。 第12図は、ストリーク像の横軸方向に含まれている情
報の強度変化とストリーク像を対応して示したグラフで
ある。 1・・・増幅器 1a・・・増幅器の入力端子 2・・・スイッチ FET5W1〜FET5Wn”・FETのスイッチ3・
・・スイッチ制御回路 4・・・レーザダイオードアレー Dl r D2 +  ・・・Dn川用−ザダイオード
5・・・レンズ 10・・・ストリーク管 11・・・光電陰橿 12・・・加速電極 13・・・集束電極 14・・・アパーチャ板 15・・・偏向電極 16・・・マイクロチャンネルプレート17・・・螢光
面 20・・・偏向電圧発生回路 21・・・スリット板 21a・・・スリット 30・・・ファイバ接続の発光ダイオード群31・・・
ファイバ群 32・・・配列接続手段 特許出願人 浜松ホトニクス株式会社 代理人 弁理士  井 ノ ロ  壽 第2図 第10図 第12図 入射光          ストリーク像手続補正書 昭和62年 3月 3日

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)複数個の発光素子よりなる発光素子群と、前記発
    光素子群の発光素子に被測定対象期間の電気信号をサイ
    クルに時間分割し前記各サイクルを前記複数個に分割し
    て前記発光素子に逐次繰り返して接続する電気信号接続
    手段と、前記被測定対象期間相当の掃引時間で掃引する
    ストリークカメラと、前記発光素子群の1発光サイクル
    の出力が掃引方向に交差する方向に並ぶように接続する
    発光接続手段から構成した電気信号観測装置。
  2. (2)n個の発光素子よりなる発光素子群と、前記発光
    素子群の発光素子に被測定対象期間の電気信号を(m)
    サイクルに時間分割し前記各サイクルを前記n期間に分
    割して前記発光素子に逐次繰り返して接続する電気信号
    接続手段と、前記被測定対象期間(n×m)相当の掃引
    時間で掃引するストリークカメラと、前記発光素子群の
    1発光サイクルの出力が掃引方向に交差する方向に並ぶ
    ように接続する発光接続手段から構成した特許請求の範
    囲第1項記載の電気信号観測装置。
  3. (3)前記発光素子群は直線状に配列された複数個の発
    光素子からなる発光素子列であり、前記発光接続手段は
    前記発光素子列の像を前記ストリークカメラの掃引方向
    に直交する方向の細長い像を形成する光学手段である特
    許請求の範囲第1項記載の電気信号観測装置。
  4. (4)前記発光素子群は直線状に配列された複数個の発
    光素子からなる発光素子列であり、前記発光接続手段は
    前記発光素子列の発光側に配置されたスリット板とこの
    スリットの像を前記ストリークカメラの掃引方向に直交
    する方向の細長い像を形成する光学手段である特許請求
    の範囲第1項記載の電気信号観測装置。
  5. (5)前記発光素子群は直線状に配列された複数個の発
    光素子からなる発光素子列であり、前記発光接続手段は
    前記ストリークカメラの掃引方向に直交する方向の細長
    い像を形成する光学手段およびこの細長い像をより細く
    するために前記ストリーク管の光電陰極の前に配置され
    たスリットである特許請求の範囲第1項記載の電気信号
    観測装置。
  6. (6)前記発光素子群は複数個の発光素子であり、前記
    発光接続手段は前記各発光素子の出力を取り出すファイ
    バとこのファイバの出力端を前記ストリークカメラの掃
    引方向に直交する方向に接続する手段である特許請求の
    範囲第1項記載の電気信号観測装置。
  7. (7)前記電気信号接続手段は、切換スイッチ手段であ
    る特許請求の範囲第1項記載の電気信号観測装置。
  8. (8)前記ストリークカメラの掃引は傾斜電圧による単
    一掃引である特許請求の範囲第1項記載の電気信号観測
    装置。
  9. (9)前記被測定対象の電気信号は同一の変化を繰り返
    すものであり、前記ストリークカメラの掃引は前記繰り
    返しに同期した繰り返し掃引である特許請求の範囲第1
    項記載の電気信号観測装置。
  10. (10)前記電気信号接続手段は、発光素子に対応する
    スイッチング素子群を含むものである特許請求の範囲第
    1項記載の電気信号観測装置。
  11. (11)前記スイッチング素子は、超高速GaAsスイ
    ッチ素子である特許請求の範囲第7項記載の電気信号観
    測装置。
  12. (12)前記発光素子群はレーザダイオード群である特
    許請求の範囲第1項記載の電気信号観測装置。
  13. (13)前記電気信号接続手段と前記発光素子群は、被
    測定対象の電気信号を増幅する増幅器、前記増幅器出力
    を分配するスイッチ素子群、レーザダイオード群が一体
    に設けられている特許請求の範囲第1項記載の電気信号
    観測装置。
  14. (14)前記電気信号接続手段はスイッチ群をリングカ
    ウンタを用いて制御するように構成したものである特許
    請求の範囲第1項記載の電気信号観測装置。
  15. (15)前記電気信号接続手段のスイッチの制御をスト
    リップライン上のパルス電圧で行う特許請求の範囲第1
    項記載の電気信号観測装置。
  16. (16)前記電気信号接続手段のスイッチの制御を分布
    定数回路上のパルス電圧で行う特許請求の範囲第1項記
    載の電気信号観測装置。
  17. (17)前記電気信号接続手段のスイッチは光制御形の
    スイッチである特許請求の範囲第1項記載の電気信号観
    測装置。
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