JPS63157107A - 高複屈折性単一モ−ドガラス光導波路 - Google Patents
高複屈折性単一モ−ドガラス光導波路Info
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- JPS63157107A JPS63157107A JP30599786A JP30599786A JPS63157107A JP S63157107 A JPS63157107 A JP S63157107A JP 30599786 A JP30599786 A JP 30599786A JP 30599786 A JP30599786 A JP 30599786A JP S63157107 A JPS63157107 A JP S63157107A
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Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、導波形光部品の構成に必要な単一モードガラ
ス光導波路、更に詳しくは、高複屈折性の単一モードガ
ラス先導波路に関するものである。
ス光導波路、更に詳しくは、高複屈折性の単一モードガ
ラス先導波路に関するものである。
平面基板上に作製される単一モードガラス光導波路、特
に石英系ガラス単一モード光導波・路は、そのコア部断
面寸法を通常使用されている単一モード光ファイバに合
わせて５〜１０μｍ程度に設定することができるため、
光ファイバとの整合性に優れた実用的な導波形光部品の
実現手段として期待されている。
に石英系ガラス単一モード光導波・路は、そのコア部断
面寸法を通常使用されている単一モード光ファイバに合
わせて５〜１０μｍ程度に設定することができるため、
光ファイバとの整合性に優れた実用的な導波形光部品の
実現手段として期待されている。
光伝播損失の小さい高品質の石英系ガラス単一モード光
導波路は、石英ガラス基板上あるいは結晶シリコン基板
上に、ＳＬ Ｃ１４、ＴＬ Ｃ１４等のガラス形成原料
ガスの火炎加水分解反応によるガラス膜堆積技術と、反
応性イオンエツチングによるガラス膜加工技術との組み
合わせにより作製できることが知られている（河内正夫
：［石英系光導波路の微細加工」応用物理学会光学懇話
会微小光学研究グループ機関誌、 １９８６．４／ＶＯ
１，Ｎ（１２、ｐｐ。
導波路は、石英ガラス基板上あるいは結晶シリコン基板
上に、ＳＬ Ｃ１４、ＴＬ Ｃ１４等のガラス形成原料
ガスの火炎加水分解反応によるガラス膜堆積技術と、反
応性イオンエツチングによるガラス膜加工技術との組み
合わせにより作製できることが知られている（河内正夫
：［石英系光導波路の微細加工」応用物理学会光学懇話
会微小光学研究グループ機関誌、 １９８６．４／ＶＯ
１，Ｎ（１２、ｐｐ。
３３−３８）。
石英ガラス基板上に作製された石英系ガラス単一モード
光導波路は、石英ガラス基板より受ける弱い引張り応力
に起因する弱い複屈折性を呈している。通常、複屈折値
Ｂは１０４のオーダーである。シリコン基板上に作製さ
れた石英系ガラス単−モード光導波路は、シリコン基板
との熱膨張係数差に起因する圧縮応力を受けており、比
較的強い複屈折性を示す。この場合の複屈折値Ｂは１０
−４のオーダーであり、最大４Ｘ１０’程度である。
光導波路は、石英ガラス基板より受ける弱い引張り応力
に起因する弱い複屈折性を呈している。通常、複屈折値
Ｂは１０４のオーダーである。シリコン基板上に作製さ
れた石英系ガラス単−モード光導波路は、シリコン基板
との熱膨張係数差に起因する圧縮応力を受けており、比
較的強い複屈折性を示す。この場合の複屈折値Ｂは１０
−４のオーダーであり、最大４Ｘ１０’程度である。
光導波路の複屈折性は、導波形光部品の偏波特性等の性
能を支配する重要因子の一つであり、光導波路の応用目
的に応じて種々の複屈折値を選べることが望まれている
が、従来の石英ガラス基板上あるいはシリコン基板上の
石英系ガラス単一モード光導波路では、５Ｘ１０−４を
越える大きな複屈折値を実現することが困難であった。
能を支配する重要因子の一つであり、光導波路の応用目
的に応じて種々の複屈折値を選べることが望まれている
が、従来の石英ガラス基板上あるいはシリコン基板上の
石英系ガラス単一モード光導波路では、５Ｘ１０−４を
越える大きな複屈折値を実現することが困難であった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的は
、上記従来の難点を解決した高複屈折性の単一モードガ
ラス光導波路とその応用光部品を提供することにある。
、上記従来の難点を解決した高複屈折性の単一モードガ
ラス光導波路とその応用光部品を提供することにある。
本発明は、石英系ガラス単一モード光導波路用の基板と
して、熱膨張係数αが、おおむね５×１０４／℃を越え
る基板を用いることを主要な特徴とする。このような基
板上に高温条件下で形成される光導波路には、室温状態
にて強大な圧縮応力が作用する。強大な圧縮応力に対応
して光導波路は、５Ｘ１０−４を越える高複屈折性を呈
する。ちなみに、従来用いられ、ていた石英ガラス基板
の熱膨張係数は、αり０．５Ｘ１０’／’Ｃ、シリコン
基板ではαり４Ｘ１０’／”Ｃ程度であり、石英系ガラ
ス光導波路（αに１Ｘ１０→／’Ｃ）との熱膨張係数差
が小さく、強力な応力誘起複屈折を発生させることがで
きない。
して、熱膨張係数αが、おおむね５×１０４／℃を越え
る基板を用いることを主要な特徴とする。このような基
板上に高温条件下で形成される光導波路には、室温状態
にて強大な圧縮応力が作用する。強大な圧縮応力に対応
して光導波路は、５Ｘ１０−４を越える高複屈折性を呈
する。ちなみに、従来用いられ、ていた石英ガラス基板
の熱膨張係数は、αり０．５Ｘ１０’／’Ｃ、シリコン
基板ではαり４Ｘ１０’／”Ｃ程度であり、石英系ガラ
ス光導波路（αに１Ｘ１０→／’Ｃ）との熱膨張係数差
が小さく、強力な応力誘起複屈折を発生させることがで
きない。
上記の本発明の要件を満たす基板としては、酸化ジルコ
ニウム（Ｚｒ０２ ）すなわち、ジルコニア基板を挙げ
ることができる。酸化ジルコニウムはαタ１０．６×１
０′４／℃という大きな熱膨張係数を有しているととも
に耐熱性にも優れており、後述するように、高品質の高
複屈折性単一モードガラス光導波路として優れている。
ニウム（Ｚｒ０２ ）すなわち、ジルコニア基板を挙げ
ることができる。酸化ジルコニウムはαタ１０．６×１
０′４／℃という大きな熱膨張係数を有しているととも
に耐熱性にも優れており、後述するように、高品質の高
複屈折性単一モードガラス光導波路として優れている。
以下、本発明を実施例によりさらに詳しく説明する。
〔実施例１〕
第１図は本発明の第一の実施例を説明する図であって、
石英系ガラス単一モード光導波路（埋込形）の断面構造
説明図である。図中、符号１は、酸化ジルコニウム基板
、２は石英系ガラスコア部、３はコア部２を埋め込むよ
うにとり囲む石英系ガラスクラッド層である。コア部２
には屈折率制御用ドーパントとしてＴＬＯｚが微量添加
されており、コア・クラッド間の比屈折率差Δは０．２
５％に調部されている。コア部２の断面寸法は８μｍ、
クラッド層３の厚みは５０μｍ程度である。使用した酸
化ジルコニウム基板１は、京セラ株式会社製ＮαＺ−２
０１であり、厚さは２ｍであり、その上面は平坦になる
ようあらかじめ研磨されている。
石英系ガラス単一モード光導波路（埋込形）の断面構造
説明図である。図中、符号１は、酸化ジルコニウム基板
、２は石英系ガラスコア部、３はコア部２を埋め込むよ
うにとり囲む石英系ガラスクラッド層である。コア部２
には屈折率制御用ドーパントとしてＴＬＯｚが微量添加
されており、コア・クラッド間の比屈折率差Δは０．２
５％に調部されている。コア部２の断面寸法は８μｍ、
クラッド層３の厚みは５０μｍ程度である。使用した酸
化ジルコニウム基板１は、京セラ株式会社製ＮαＺ−２
０１であり、厚さは２ｍであり、その上面は平坦になる
ようあらかじめ研磨されている。
第２図は、第１図に示した単一モード光導波路の作製工
程側説明図である。まず、（ａ） １ＭＩ化ジルコニウ
ム基板１上に、ＳＬ Ｃ１４を原料ガスとする火炎加水
分解反応により、ガラス微粒子からなる上層クラッド多
孔質ガラス層２１を堆積し、次の原料ガスとしてざらに
ＴＬ Ｃｊ ４を加えてコア多孔質ガラス層２２を堆積
する。（１））多孔質ガラス層付の基板１を電気炉中で
高温（約１３００℃）に加熱して、脱泡、透明ガラス化
し、下層クラッドガラス１ｌＤ２１ａとコアｆｆ１２２
ａとする。この際、多孔質ガラス層は厚さ方向に１１５
〜１／１０程度の寸法化になるまで収縮する。（Ｃ）コ
ア！２２ａの不要部分を反応性イオンエツチングにより
除去し、リッジ状のコア部２を形成する。（ｄ）コア部
２を覆うように上層クラッド多孔質ガラス層２３を再び
火炎加水分解反応法により堆積する。（ｅ）最後に、再
び電気炉中で高温に加熱して多孔質ガラス！７２３を透
明ガラス化し、下層クラッドｌＩ２１ａと合わせてクラ
ッドＦ１３とする。以上の作製工程において、原料ガス
中にガラス微粒子の軟化温度低減化の目的でＰＣｌ３．
ＢｅＦ２等のドーパントを微量添加しておくのが、
透明ガラス化を容易にする上で得策である。
程側説明図である。まず、（ａ） １ＭＩ化ジルコニウ
ム基板１上に、ＳＬ Ｃ１４を原料ガスとする火炎加水
分解反応により、ガラス微粒子からなる上層クラッド多
孔質ガラス層２１を堆積し、次の原料ガスとしてざらに
ＴＬ Ｃｊ ４を加えてコア多孔質ガラス層２２を堆積
する。（１））多孔質ガラス層付の基板１を電気炉中で
高温（約１３００℃）に加熱して、脱泡、透明ガラス化
し、下層クラッドガラス１ｌＤ２１ａとコアｆｆ１２２
ａとする。この際、多孔質ガラス層は厚さ方向に１１５
〜１／１０程度の寸法化になるまで収縮する。（Ｃ）コ
ア！２２ａの不要部分を反応性イオンエツチングにより
除去し、リッジ状のコア部２を形成する。（ｄ）コア部
２を覆うように上層クラッド多孔質ガラス層２３を再び
火炎加水分解反応法により堆積する。（ｅ）最後に、再
び電気炉中で高温に加熱して多孔質ガラス！７２３を透
明ガラス化し、下層クラッドｌＩ２１ａと合わせてクラ
ッドＦ１３とする。以上の作製工程において、原料ガス
中にガラス微粒子の軟化温度低減化の目的でＰＣｌ３．
ＢｅＦ２等のドーパントを微量添加しておくのが、
透明ガラス化を容易にする上で得策である。
上記の工程により作製した単一モード光導波路の複屈折
値Ｂを光弾性光学手法により測定したところ、Ｂ七９Ｘ
１０−４となり、石英ガラス基板上やシリコン基板上に
形成された従来の光導波路に比べてはるかに大きく、酸
化ジルコニウム基板の効果が確認された。上記のＢ値か
ら推定すると、本実施例の先導波路には、約３０Ｋｇ／
ｆｆ１ｌｌ＋２という大きな圧縮応力が作用していると
考えられるが、光導波路コア部およびクラッド層にひび
割れの発生は皆無であった。これは石英系ガラスは、引
っばり強度が５ Ｋｌ ／ ｓｒ ２程度であるのに対
し、圧縮強度は１００Ｋｇ／Ｉｍ２程度と強く、上記程
度の圧縮応力には充分な耐性を持つためと推察される。
値Ｂを光弾性光学手法により測定したところ、Ｂ七９Ｘ
１０−４となり、石英ガラス基板上やシリコン基板上に
形成された従来の光導波路に比べてはるかに大きく、酸
化ジルコニウム基板の効果が確認された。上記のＢ値か
ら推定すると、本実施例の先導波路には、約３０Ｋｇ／
ｆｆ１ｌｌ＋２という大きな圧縮応力が作用していると
考えられるが、光導波路コア部およびクラッド層にひび
割れの発生は皆無であった。これは石英系ガラスは、引
っばり強度が５ Ｋｌ ／ ｓｒ ２程度であるのに対
し、圧縮強度は１００Ｋｇ／Ｉｍ２程度と強く、上記程
度の圧縮応力には充分な耐性を持つためと推察される。
なお、作製した光導波路の光伝播損失を測定したところ
、０．１ｄＢ／α以下となり、種々の導波形光部品を構
成するのに充分なは２低損失であった。
、０．１ｄＢ／α以下となり、種々の導波形光部品を構
成するのに充分なは２低損失であった。
ところで、光導波路の偏波特性を議論する上で重要なパ
ラメーターであるいわゆるビート長（偏光状態が伝搬に
伴って周期的に変化するその周期Ｌｌ）は、複屈折値８
１使用光波長λと、関係式１式％ により結ばれているので、本実施例の光導波路は波長λ
＝１．３μ乳にてＬｐ〜１．４＃１ｍ程度の短いビート
長を有することになる。これは、本発明の光導波路を用
いると、馴オーダーの短い素子長にて、偏波制御素子を
構成できることを意味している。
ラメーターであるいわゆるビート長（偏光状態が伝搬に
伴って周期的に変化するその周期Ｌｌ）は、複屈折値８
１使用光波長λと、関係式１式％ により結ばれているので、本実施例の光導波路は波長λ
＝１．３μ乳にてＬｐ〜１．４＃１ｍ程度の短いビート
長を有することになる。これは、本発明の光導波路を用
いると、馴オーダーの短い素子長にて、偏波制御素子を
構成できることを意味している。
〔実施例２〕
第３図は、本発明の高複屈折性単一モード光導波路の一
応用例としての導波形光波長板の構Ｔｉ説明図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は線分ＡΔ′に沿っての断面図
を示す。図中、符号３１は、コア部２の片側のクラッド
層３に、コア部２に沿って設けた溝である。酸化ジルコ
ニウム基板１から光導波路に作用している応力の一部が
前記溝３１によって解放されるので、第３図（ｂ）にお
いてコア部２を中心とする左右対称性がくずれ、複屈折
主＠３２ａ、３２ｂを応力解放溝３１がないときの基板
１に垂直、水平な方向からそれぞれ角度θだけ傾けるこ
とができる。第４図はコア部２を厚さ５０μｍのクラッ
ドＷＪ３の中心位置に配置した場合につき、主軸角θを
溝路＃ｔＳの関数として示したものである。第４図はい
わゆる有限要素法による応力分布計惇により導出した。
応用例としての導波形光波長板の構Ｔｉ説明図であり、
（ａ）は平面図、（ｂ）は線分ＡΔ′に沿っての断面図
を示す。図中、符号３１は、コア部２の片側のクラッド
層３に、コア部２に沿って設けた溝である。酸化ジルコ
ニウム基板１から光導波路に作用している応力の一部が
前記溝３１によって解放されるので、第３図（ｂ）にお
いてコア部２を中心とする左右対称性がくずれ、複屈折
主＠３２ａ、３２ｂを応力解放溝３１がないときの基板
１に垂直、水平な方向からそれぞれ角度θだけ傾けるこ
とができる。第４図はコア部２を厚さ５０μｍのクラッ
ドＷＪ３の中心位置に配置した場合につき、主軸角θを
溝路＃ｔＳの関数として示したものである。第４図はい
わゆる有限要素法による応力分布計惇により導出した。
第４Ｆ４には、満３１を設けない場合の複屈折値Ｂｏ〜
９Ｘ１０−４を基準とした規格化複屈折値Ｂ ／ Ｂ
ａも示しである。
９Ｘ１０−４を基準とした規格化複屈折値Ｂ ／ Ｂ
ａも示しである。
第４図を参考にして、導波形１／２光波長板を次のよう
に設計し、製作した。まず、溝路離Ｓを、主軸角θが２
２．５度になるように、Ｓ＃３４μｍとした。この時、
Ｂ／Ｂｏ＃０．６であり、Ｂ＃５．４Ｘ１０’の傾いた
主軸角の複屈折性を得ることができる。溝３１の長さＪ
は、Ｂ−ｊ−１／２・λとなるように、すなわち、使用
波長λ＝１．３μ瓜でＪ＝１．２ｍとなるよう設定した
。
に設計し、製作した。まず、溝路離Ｓを、主軸角θが２
２．５度になるように、Ｓ＃３４μｍとした。この時、
Ｂ／Ｂｏ＃０．６であり、Ｂ＃５．４Ｘ１０’の傾いた
主軸角の複屈折性を得ることができる。溝３１の長さＪ
は、Ｂ−ｊ−１／２・λとなるように、すなわち、使用
波長λ＝１．３μ瓜でＪ＝１．２ｍとなるよう設定した
。
溝３１の幅は、比較的任意に選ぶことができ、本実施例
では２００μｍに設定した。ここで応力解放溝３１は反
応性イオンエツチングによりクラッド層３の一部を除去
することにより形成した。
では２００μｍに設定した。ここで応力解放溝３１は反
応性イオンエツチングによりクラッド層３の一部を除去
することにより形成した。
基板面に垂直な直線偏光＜ＴＭ波）をコア部２に入射し
たところ、応力解放溝３１形成部、すなわち１／２波長
板部を通過後、偏光面が２θすなわら４５６回転するこ
とが確認された。このように、本発明によれば、１ｍ程
度の短い所要長で光導波路の所望場所に波長板作用を付
与することができる。
たところ、応力解放溝３１形成部、すなわち１／２波長
板部を通過後、偏光面が２θすなわら４５６回転するこ
とが確認された。このように、本発明によれば、１ｍ程
度の短い所要長で光導波路の所望場所に波長板作用を付
与することができる。
以上の実施例では、コア部の屈折率制御用ドーパントと
してＴＬ Ｏ’ ２を用いたが、光フアイバ作製時に多
用されているＧｅ０２を用いることもできることは言う
までもない。
してＴＬ Ｏ’ ２を用いたが、光フアイバ作製時に多
用されているＧｅ０２を用いることもできることは言う
までもない。
以上、二つの実施例で使用した酸化ジルコニウム基板は
京セラ株式会社製であったが、特に京セラ株式会社製に
限定されるものではない。低純度の基板には応々にして
アルカリ金属等の不純物が含まれており、基板上に作製
される光導波路の結晶化を招くので、できるだけ、高純
度な基板を使用することが大切である。
京セラ株式会社製であったが、特に京セラ株式会社製に
限定されるものではない。低純度の基板には応々にして
アルカリ金属等の不純物が含まれており、基板上に作製
される光導波路の結晶化を招くので、できるだけ、高純
度な基板を使用することが大切である。
また、大きな熱膨張係数を有するセラミック基板材料と
しては、前述の酸化ジルコニウム以外にも、アルミナ／
Ｖ２Ｏ３（αり８Ｘ１０’／’Ｃ）等があるが、本発明
者らが鋭意検討した結果によれば、アルミナ基板上では
、石英系ガラス導波路は作製途上で結晶化の障害をおこ
し、実用に耐える製品は得られなかったことを付記する
。ただし、アルミナ基板上に酸化ジルコニウム１１１１
をコーティングした複合基板を用いると結晶化を抑制で
きることを指摘しておく。このような大きな熱膨張係数
を有する複合基板上の高複屈折性光導波路も本発明の範
囲に含まれることはもちろんである。
しては、前述の酸化ジルコニウム以外にも、アルミナ／
Ｖ２Ｏ３（αり８Ｘ１０’／’Ｃ）等があるが、本発明
者らが鋭意検討した結果によれば、アルミナ基板上では
、石英系ガラス導波路は作製途上で結晶化の障害をおこ
し、実用に耐える製品は得られなかったことを付記する
。ただし、アルミナ基板上に酸化ジルコニウム１１１１
をコーティングした複合基板を用いると結晶化を抑制で
きることを指摘しておく。このような大きな熱膨張係数
を有する複合基板上の高複屈折性光導波路も本発明の範
囲に含まれることはもちろんである。
上述した酸化物の他にも、炭化物、窒化物、＾融点金属
等が基板材料としての可能性をもつが、熱膨張係数の大
きさの他に耐熱性２機械的特性（ヤング率など）、石英
系ガラス結晶化の有無等を考慮して選択することが必要
である。
等が基板材料としての可能性をもつが、熱膨張係数の大
きさの他に耐熱性２機械的特性（ヤング率など）、石英
系ガラス結晶化の有無等を考慮して選択することが必要
である。
以上説明したように、本発明によれば、従来になく高複
屈折性の単一モード光導波路を提供することができるの
で、偏光特性が重要な役割を果たすコヒーレント光通信
用や光センサ用の導波形光部品、例えば、波長板、偏光
子、偏波分離素子等をコンパクトに構成するのにきわめ
て有効である。
屈折性の単一モード光導波路を提供することができるの
で、偏光特性が重要な役割を果たすコヒーレント光通信
用や光センサ用の導波形光部品、例えば、波長板、偏光
子、偏波分離素子等をコンパクトに構成するのにきわめ
て有効である。
第１図は、本発明の一実施例として示した光導波路の断
面構造図、第２図（ａ）〜（ｅ）は、本発明の光導波路
の作製工程図、第３図は本発明の他の実施例の構造説明
図、第４図は有限要素法による複屈折値予想図である。 １・・・酸化ジルコニウム基板、２・・・コア部、３・
・・クラッド層、２１・・・下層クラッド多孔質層、２
２・・・コア多孔質層、２３・・・上クラッド多孔質層
、２１ａ・・・下層クラッド層、２２ａ・・・コア層、
３１・・・応力解放溝、３２ａ、３２ｂ・・・複屈折主
軸方向。 １ 白幌イしジルユニラム蟇巾え ２ 、モ攻蚕ガ・ラスコア伊
面構造図、第２図（ａ）〜（ｅ）は、本発明の光導波路
の作製工程図、第３図は本発明の他の実施例の構造説明
図、第４図は有限要素法による複屈折値予想図である。 １・・・酸化ジルコニウム基板、２・・・コア部、３・
・・クラッド層、２１・・・下層クラッド多孔質層、２
２・・・コア多孔質層、２３・・・上クラッド多孔質層
、２１ａ・・・下層クラッド層、２２ａ・・・コア層、
３１・・・応力解放溝、３２ａ、３２ｂ・・・複屈折主
軸方向。 １ 白幌イしジルユニラム蟇巾え ２ 、モ攻蚕ガ・ラスコア伊
Claims (1)
- 平坦な酸化ジルコニウム基板上に石英系ガラスクラッド
層がこのクラッド層より屈折率の大きい石英系ガラスコ
ア部を内部に位置させて形成され、この基板上に形成さ
れた石英系ガラス単一モード光導波路が前記基板から圧
縮応力を受けていることを特徴とする高複屈折性単一モ
ードガラス光導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30599786A JPH0677089B2 (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 高複屈折性単一モ−ドガラス光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30599786A JPH0677089B2 (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 高複屈折性単一モ−ドガラス光導波路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63157107A true JPS63157107A (ja) | 1988-06-30 |
| JPH0677089B2 JPH0677089B2 (ja) | 1994-09-28 |
Family
ID=17951823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30599786A Expired - Lifetime JPH0677089B2 (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 | 高複屈折性単一モ−ドガラス光導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0677089B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0335203A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-15 | Hitachi Cable Ltd | 希土類元素添加ガラス導波路の製造方法 |
| JP2017146543A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | Ｎｔｔエレクトロニクス株式会社 | 光導波路型デバイス |
-
1986
- 1986-12-22 JP JP30599786A patent/JPH0677089B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0335203A (ja) * | 1989-06-30 | 1991-02-15 | Hitachi Cable Ltd | 希土類元素添加ガラス導波路の製造方法 |
| JP2017146543A (ja) * | 2016-02-19 | 2017-08-24 | Ｎｔｔエレクトロニクス株式会社 | 光導波路型デバイス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0677089B2 (ja) | 1994-09-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |