JPS63155112A - 望遠鏡ミラーの支持システム - Google Patents

望遠鏡ミラーの支持システム

Info

Publication number
JPS63155112A
JPS63155112A JP62308807A JP30880787A JPS63155112A JP S63155112 A JPS63155112 A JP S63155112A JP 62308807 A JP62308807 A JP 62308807A JP 30880787 A JP30880787 A JP 30880787A JP S63155112 A JPS63155112 A JP S63155112A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
bearing
mirror
support
force
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP62308807A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0750235B2 (ja
Inventor
ハンス−ユルゲン・マイアー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Carl Zeiss AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH, Carl Zeiss AG filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Publication of JPS63155112A publication Critical patent/JPS63155112A/ja
Publication of JPH0750235B2 publication Critical patent/JPH0750235B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B23/00Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices
    • G02B23/16Housings; Caps; Mountings; Supports, e.g. with counterweight

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Astronomy & Astrophysics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Telescopes (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 天文用の反射望遠鏡全製作する場合、ミラーが、あらゆ
る位置において、即ち重力の方向に対するその表面の傾
斜とは無関係に、その外形を変更させることなく維持で
きるように配慮しなければならない。この外形保持に対
する通常の要求は、わずか10nmRMSの範囲である
このために1 ミラー用の特別の軸受が必要である。こ
の軸受け、それに加えて、外力と温度変動の結果として
支持構造部からやむな(伝わつてきた変形ヲミラーから
隔離するという課題金持っている。大型の望遠鏡の場合
には、数100μmのオーダーとなり、しだがって、所
望の外形保持を大幅に越えてしまう。
〔従来の技術〕
このようなミラーを軸受けするために、今までは、軸方
向及び半径方向のミラー荷重を受は入れるほぼ専用の従
動的支持システムが利用されてきた。例えば、ツァイス
・インフォメーション、27(1982)94号、ペー
ジ8〜9に記載されているように、公知の軸方向支持シ
ステムは、支持力を十分多い個別の支持点を通じてミラ
ーの背面側に一様に配分させている。
この支持点の数及び配置は、ミラーの大きさ、全重量そ
して不撓性に依存する。
かなり昔から、ミラーは薄肉化し、その面積は増大化す
るという傾向がある。不撓性が減少しているにもかかわ
らず、ミラーの外形保持に対する高度な要求に対応する
ためには、ミラーの外形を適切に調達された外力によっ
て強情り的に補整しなければならない。これに対して、
既に、いわゆる「主動的」軸受を組み込むことが提案さ
れている。この主動的軸受では、前記軸方向支持システ
ムの支持点に作用する力は、コンぎユータにより算出さ
れ、アクチュータによってミラー背面側に加えられる。
このアクチュータの力は、コンぎユータによって算出さ
れた配分に応じて個々に制御される。
アクチュータによって及ぼされた力を正しく調整すれば
、ミラーは、外乱を受けた外形を復元する方向に適切に
変形され得る。この場合、更にミラー表面の加工に基づ
く製造誤差も補整され得る。
このような支持システムは、例えば、IAU専門家会議
会報No、 79 r超大型望遠鏡、その運転とプログ
ラムJ Garching +  9〜12 Apri
11984、ページ23〜40により公知である。
そこで提案されたアクチュータは、2つの主要素から成
る:1つはその時々の支持点に作用するミラーの部分荷
重を測定するセンサー、そして1つは予測された力を生
成する・モータ駆動のレバーシステム形式の電磁手段で
ある。制御手段を用いることによシ、前記モータは、前
記センサーにより測定された力が、受動的基本荷重と変
形に必要な付加力とから構成される計算値と一致するよ
うに調整される。
このようなシステムにおいて、支持力の制御すべき部分
的値は非常に小さく、そ九は1つの支持点の全体の力の
約10/。。にしかすぎず、しかも力を制御するために
組み込まれたセンサーは、その全体の力を測定するもの
である。そのため、センサーの精度及び時間的安定性に
対して、完全には満され得ない非常に高度な要求が出さ
れている。したがって、予測された理想的な力の配分を
実際にミラーの背面側に付与することは困難である。こ
の困難性は、特に、ある一点に付加力全適切に与えるに
は他の全て点の刃金変更させることが必要であるという
ことに原因がある。この変更は、自然に起こるのではな
く、他の全ての点を主動的に制御することによってのみ
再度起こるものである。
西独特許発明第3521973号明細書には、アクチュ
ータの使用により個別の支持点において個々に調節可能
な付加力全ミラーに付与することを可能にする主動的軸
受に加えて、荷重分散液圧システム形式の従動的軸受を
備える望遠鏡ミラーの支持システムが記載されている。
そのアクチュータは、従動的軸受の支持具に一定の力で
接続されているリニアモータである。第1図には、この
公知の支持システムの1つの支持点の構造が示されてい
る。: 各支持点は、ダイアフラム2によって上部室3と下部室
4に分割された1つのケーシング1から成る。各室は流
体で満されておシ、圧力調整する目的から、管路5,6
t−経て、このシステムの他の支持点の対応する室に連
通している。
ダイアフラム2は、円板Tを中央で支持しており、この
円板は、プランジャ8、ミラーを支える該シランジャに
取シ付けられた円板16、そして主動的なミラーの変形
に対して算出された付加力を付与するプランジャ9に接
続されている。このプランジャ8,9は、ダイアフラム
10.11によってケーシング1に対してシールされて
いる。
2つの室3,4に分割することによって、2つの互いに
隔離された圧力システムが発生する。
ミラー15が常に水平状態にあるとするならば、下部の
中室4だげが必要である。しかし、ミラーは必ず傾けら
れるのでちゃ、傾斜状態にあっては流体の自重が各支持
点に付加的に作用する、それも各状態に応じて異なるよ
うに作用する。
そのため、付加的な圧力を補整する上部の中室3が設け
られている。
圧力円板7のシランジャ9として構成された下部延長部
は、リニアモータの永久磁石の電機子12に接続されて
いる。この電機子12は、プランジャ9の方向に、該電
機子12を取り囲むコイルを流れる電流に比例する力を
及ぼす。
この力は、プランジャ9、円板7、プランジャ8そして
支持円板16ft、介して、支持されるミラーの背面側
に直接伝達され、そして、従動的液圧支持システムの円
板7の支持力に重ねられる。
〔発明が解決すべき問題点〕
この公知の支持システムは、確かにミラーの基本荷重に
関してセルフ・アジヤスティングであり、主動的軸受に
必要な付加力の制御を単に必要としているだけである。
しかしながら、停止状態においても、各支持点の各リニ
ヤモータにエネルギが供給されるという欠点が存在する
それによって、ミラー及び支持システム全歪め得る局所
的な熱源が発生する。
ここに提案された発明の課題は、停止状態においてエネ
ルギを消費することなく作動し、更に、液圧ベース上の
無定位性の従動的軸受システムと連動して操作され得る
ところの主動的に作動する支持システムを提供すること
にある。
〔問題点全解決するだめの手段〕
この課題は、特許請求の範囲第1項の特徴とする記載に
おいて述べられた措置にしたがった構成によって解決さ
れる。
〔作用〕
本発明による解決に際して、ミラーの各支持点における
主動的軸受に必要とされる付加力は、従動的軸受の液圧
システム中に既に存在する圧力から取り出される。ミラ
ーの基本荷重は、この従動的軸受によって支持される。
この付加力の大きさは、圧力円板の有効面積、ないしは
、各支持点における該圧力円板を取り囲むケーシングの
有効面積が変化せしめられることにより、調節される。
それにもかかわらず、従動的液圧システムによって受は
止められた基本荷重は、主動的システムから完全に切り
離されたままである。この付加力の制御方式は、停止運
転中にエネルギを消費することなく作動し、その結果、
ミラーの熱的障害は、主動的軸受全通じて発生し得ない
本発明の支持システムは、重力の影響金量ける地上で使
用されるミラーに対してのみ適合するのではな(、無重
力領域、即ち、大気圏外で使用されるミラーに対しても
取り付けることができる。そこでは、従動的液圧システ
ムは、確かに基本荷重(ミラーの重量)を受は止めるこ
とはない。しかし、荷重分散液圧システムは、主動的軸
受に対する一点で付与される付加力の反力が軸受の残り
の点に一様に配分されるようになすものである。主動的
軸受に必要とされる付加力を制御するコストは、それゆ
え非常にわずかで済む。
本発明の本質的なポイントは、従動的液圧軸受システム
における有効受圧面積を適切に変更する方式及び方法で
ある。このために、圧力円板の一部又は該圧力円板全域
り囲む室の一部をなす硬直自在のベローズが設けられて
いる。以上の点は、以下の実施例の記載において、添付
された図面第1〜5図に基づいてより詳細に説明される
〔実施例〕
第1囚は、従来技術の記載において既に詳細に説明され
ている。主動的、従動的複合ミラー軸受の作用をより良
く理解するには、前記の西独特許発明第3521973
号明細書をこの代わりに参照するのがよい。
ここに提案された発明によれば、第1図に示された支持
点におけるリニアモータ12/13を省略することがで
きる。:このため、圧力円板7は、第2図に示されたよ
うに修正される。
第2図において、支持点の1つにおいてミラー荷重を支
持するプランジャは符号28で示されている。このプラ
ンジャ28は同様に、符号23.24で示された2つの
圧力室を取り囲むケーシング21内の圧力円板2Tに接
続されている。このため、ダイアフラム30,31は、
ケーシング21に対して可動に支持されたプランジャ2
8をシールするのに用いられる。室23.24は、第1
図の圧力室3.4に対応しておυ、この場合においても
互いに隔離されている。ミラーの他の支持点の対応する
室に連通させるために、室23.24に連通ずる2つの
管路25,26が設けられている。
シランジャ28によってミラーに及ぼされる合力Qge
sは、 Qges = (P23  P24 )・π・(ref
f  rO2)  (1)となる。ここに: re ffは円形の圧力円板27の有効外径、rOは圧
力円板27の無効な内側部分を境界づける内径である。
第1図の従来技術の軸受とは対照的に、2つの室23.
24は単一のダイアフラムによって互いに分離されてい
るのではなくて、そこには、剛性の中間リングによって
互いに接続された2組の2重ダイアフラム22 a、 
 22 b ;32 a。
32bが設けられている。この2重ダイアフラム22a
、221)は、この場合、−側で圧力円板27に接続さ
れており、また2重ダイアフラム32al  32bは
、−側で該圧力円板27を取り囲むケーシング21に固
定されている。それにより、各2重ダイアプラムはリン
グ状の中空室33.34全密閉する。
中空室33.34は、別の2つの圧力管路35.36に
連通している。今、その中空室33又は34の一方が昇
圧されると、その2重ダイアフラム22al  22b
又は32a、32k)により構成されたベローズが硬直
化する。この硬直化によって、中間リング29は、2つ
のベローズ32又は22のどちらがより強力に硬直化さ
れるかに応じて、一定の強い力で、a)圧力円板27に
連結されるか、あるいはb)ケーシング21に連結され
る。
限界点におる、即ち、この2つのベローズの一方が膨張
してかたくなり、他方が無圧となっている時のこの2つ
のケースa)とb) k純粋に現象学的に観察すれば、
次のことが容易に認識サレる。即ち、この両方のケース
において、プランジャ28に接続された圧力円板27の
有効半径reffは相違していて、第2図の符号ra及
びrbで表わされた値を取り得るのである。プランジャ
2Bの属する支持点において、支持されるべきミラーに
及ぼす力が、圧力円板27の面積に比例することから、
そして室33.34内の圧力が互いに反転的に変更され
るために、圧力円板27の有効半径ないしは有効面積が
今述べられたように変化することによって、主動的ミラ
ー軸受に必要な変化自在の付加力が生成されるのである
ここにおいて、圧力円板27の有効半径は前記限界点r
a、  rbO間で無段階に調節され、そして、圧力P
33 +  P34はベロース22.32の内部に作用
することを考慮すべきである。
ベローズ22,32の内部33.34は、伝達管路35
.36e介して、第6図の実施例に示されているように
、電気的に調整自在の圧力小室の形態のアクチュータ要
素の開口60a。
60bに連通している。
ここで符号57で表わされたアクチュータ要素は、2つ
の互いに向かい合う圧力体59a。
59bから成る。この圧力体は、−側、即ちその吐出開
口5oal  60bの側において共通の基板51上に
固定されている。圧力体59a。
591)の容積は、軸61の回りで揺動自在のレバー5
5によって反転的に変更させられる。このために、揺動
レバー55は、電動モータ58に接続されたねじスぎン
ドル54によって駆動されるナツト56を備えている。
主動的ミラー軸受を実現するには、当然のことながら各
支持点について、別々の特有のアクチュータ要素57を
設けなげればならない。このアクチュータ要素のモータ
58は、その点のミラーの測定された形状変化に応じて
駆動され、それによって中空室33.34内の圧力、そ
して同時に、ベローズ22.32の剛性が適切に調節さ
れる。
確かに構造的には変わっているが、機能的には変わりの
ないアクチュータの別の実施例が、第4図に示されてい
る。ここでは、その断面図では明確でないモータの軸上
のウオーム歯車48によって、ねじナツト39に装着さ
れたぎニオン47が駆動される。このナツト39は、2
つの圧力小室52al  52bのダイアフラム5Qa
、50bk互いに固定的に連結しているねじスピンドル
49を駆動させる。このアクチュータによっても、圧力
小室52al  52bの開口53a、53bに接続さ
れたシステム内の圧力、即ち、それに接続された2つの
ベローズ22.32の剛性が調節され得るのである。
主動的ミラー軸受に対する付加力の生成は、第2図に示
された実施例によれば、2つの室23.24内に圧力差
が存在する時、即ち、圧力P23とP24が互いに相違
している時(式1参照)にのみ、可能になる。
このような作用は、まさに圧力差P23− P24がミ
ラーの重量を支持するのに使用されるからこそ、地上に
設置されたミラーについて常に実現されている。
第2図に基づいて示された原理は、しかしながら、無重
力空間にあるミラーの主動的変形に対しても適用され得
る。このようなケースでは、− ミラーの支持点に液圧
荷重分散システムが適用されていると仮定して一第2図
の2つの室23.24内の圧力P23+  P24が等
しいために、2つの室23.24に対する圧力円板2T
の有効面積を一様に変化させたとしても、主動的付加力
は生成され得ない。この付加力は、むしろ圧力円板27
の室23,24に隣接する面積の非対称性によって生成
されるに違いない。
このケースは、第5図の実施例に表わされている。: ここで、圧力円板67に接続されたシランジャ68は、
2つの圧力室63. 64tl−取り囲むケーシング6
1に対して、上端及び下端において、2つの同心的に配
設された硬直自在の一対のベローズを介してシールされ
ている。このプランジャ68の上端のベローズ対70/
72及び下端のベローズ対71/73は、第2図の実施
例のベローズ対22/32と同様に、2つの互いに向か
い合う個別のダイアフラム70a/70 b +  7
2 a / 72 b及び71a/71b。
73 a / 73 bから成るとともに、1つの剛性
の中間りング69ないし74によって互いに分離されて
いる。この中間リング69.74には、供給管路が取り
付けられていて、その供給管路によって、ダイアフラム
間の中空室80.82並び81.83が昇圧され、した
がってダイアフラムによって構成されたベローズが硬直
化され得る。
2つの室63.64内の圧力を等しくして、圧力円板6
7に対して力を発生させるために、管路75&、76b
及び管路γ5b、76aは、それぞハ、第3図又は第4
1のこの目的で使用されるアクチュータの各圧力小室に
接続され、その結果、ベローズ70,73の中空室80
゜83内の圧力は、互いに同期的であるが、ベローズ7
1.72の中空室81.82内の圧力に対しては反転的
に変化する。
これによって、ケーシング61の土壁及び下壁はその内
径が、そして、該壁に接続のシランジャ68ないし圧力
円板67に属する部分は、ケーシング61の上側及び下
側の外径が、互いに反転的に変化する。例えば、中間リ
ング69はケーシング61に接続され、そして中間り/
グア4はプランジャ6Bに接続されるのであって、第2
図において用いられた現象学的描写方法がそのまま使わ
れるのである。
この結果は、第6a+  6b図の記載から明らかであ
る。中空室82.81が昇圧され、それによってベロー
ズ72.71が硬直化すると、第6a図のケースとなる
。:圧力円板67の圧力室63に隣接する面積は、圧力
円板67の圧力室64に隣接する面積より大きい。それ
によシ、下方に向けられた合成力が発生し、その合成力
は、プラジャ28によってミラーに伝達される。それに
対して、中空室80.83が昇圧され、即ちベローズ7
0.73が硬直化すると、第6b図に示された逆のケー
スとなる。:圧力円板の圧力室64に隣接する受圧面積
は、圧力円板67の圧力室63に隣接する面積よりも大
きい。それに応じて、上方に向けられた合成力Faが発
生する。プランジャ68に作用する合成力QgeSは、
第5図ないし第61の実施例に対しては、 Qges ”” P63 ・” ・(rx2−r32)
−Pd2・π・(rx”−r22) (2)となる。
この公式によれば、プランジャ68によってミラーに及
ぼされる力は、圧力室63.64内の圧力が等しい場合
でも、変更可能であることが明白である。
【図面の簡単な説明】
第1図は、従来技術の主動的、従動的複合軸受の1支持
点部分の詳細な断面図である。 第2図は、本発明の主動的、従動的複合支持システムの
支持点における圧力円板の断面を示す原理図である。 第3図は、第2図の圧力円板27ないしは第5図の圧力
円板67の有効受圧面@全調節し得るアクチュータの原
理図である。 第4図は、第3図に示されたアクチュータの他の構造形
態を示す。 第5図は、本発明の主動的、従動的複合支持システムの
支持点における圧力円板の他の構造形態を示す。 第6a図、第6b図は、第5図の圧力円板67の有効受
圧面積の変化を説明する簡単な原理図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、主動的軸受と荷重分散液圧システムの形式の無定位
    性の従動的軸受とを有し、前記主動的軸受によつて、個
    別の支持点からミラーへ及ぼされる力が個々に調節可能
    ないしは制御可能であり、かつ前記従動的軸受が、前記
    支持点において一定の力で、前記主動的軸受に接続され
    ている形式のものにおいて、前記主動的軸受に対する付
    加力(Fa)が、前記従動的液圧軸受の圧力(P_2_
    3、P_2_4;P_6_3、P_6_4)が作用する
    受圧面積の変更によつて生成されることを特徴とする、
    望遠鏡ミラーの支持システム。 2、各支持点における前記従動的軸受の圧力板(27:
    67)の面の1部、又は、該圧力板を取り囲むケーシン
    グ(61)の1部が、硬直自在のベローズ(22、32
    ;70〜73)として構成されている、特許請求の範囲
    第1項記載の支持システム。 3、前記ベローズ(22、32;70〜73)の硬直度
    の制御が、該ベローズ内の内圧(P_3_3、P_3_
    4)を変化させることにより行われる、特許請求の範囲
    第2項記載の支持システム。 4、前記圧力板(27)と圧力室(23、24)のケー
    シング(21)とが、2つの同心状のベローズ(32、
    22)によつて相互に接続しており、前記有効受圧面積
    の変更は、前記2つのベローズ(22、32)内の互い
    に反転的な圧力上昇、ないしは、圧力低下によつて行わ
    れる、特許請求の範囲第2項記載の支持システム。 5、前記無定位性の軸受の各支持点が、2つの圧力室(
    63、64)を有しており、該圧力室の圧力は、正反対
    の方向から該支持点に作用するものであり、かつ、主動
    的軸受力(Fa)を発生させるために、該2つの室(6
    3、 64)に関係する前記圧力板(67)の受圧面積(r_
    1−r_3、r_1−r_2)が、互いに反転的に変更
    可能である、特許請求の範囲第2項記載の支持システム
    。 6、各支持点に関係する前記ベローズの内圧を生成せし
    めるために、2つの電気的に調節自在な圧力小室(52
    ;60)を有するアクチュータ(37;47)が設けら
    れている、特許請求の範囲第3項から第5項までのいず
    れか1項記載の支持システム。
JP62308807A 1986-12-10 1987-12-08 望遠鏡ミラーの支持システム Expired - Lifetime JPH0750235B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19863642128 DE3642128A1 (de) 1986-12-10 1986-12-10 Unterstuetzungssystem fuer teleskopspiegel
DE3642128.6 1986-12-10

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63155112A true JPS63155112A (ja) 1988-06-28
JPH0750235B2 JPH0750235B2 (ja) 1995-05-31

Family

ID=6315854

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62308807A Expired - Lifetime JPH0750235B2 (ja) 1986-12-10 1987-12-08 望遠鏡ミラーの支持システム

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4775230A (ja)
EP (1) EP0270967B1 (ja)
JP (1) JPH0750235B2 (ja)
DE (2) DE3642128A1 (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3908430A1 (de) * 1988-03-18 1989-09-28 Mitsubishi Electric Corp Spiegelstuetzvorrichtung und spiegelstuetzsystem
US5005961A (en) * 1989-12-19 1991-04-09 Eastman Kodak Company Device for converting a displacement in a direction into a force in the same direction
US5151809A (en) * 1990-07-10 1992-09-29 Carl-Zeiss-Stiftung Mirror support arrangement for a primary mirror of a telescope
US5074654A (en) * 1990-08-22 1991-12-24 Litton Systems, Inc. Hydraulic actuators for optical systems
DE4208229A1 (de) * 1992-03-14 1993-09-16 Krupp Industrietech Formeinstellbarer teleskopspiegel
JP2891074B2 (ja) * 1993-12-10 1999-05-17 三菱電機株式会社 反射鏡固定装置
DE29603024U1 (de) * 1996-02-21 1996-04-18 Zeiss Carl Fa Spannungsfreie Lagerung
TW508653B (en) 2000-03-24 2002-11-01 Asml Netherlands Bv Lithographic projection apparatus and integrated circuit manufacturing method
US6398373B1 (en) * 2000-08-09 2002-06-04 Asml Us, Inc. Pneumatic control system and method for shaping deformable mirrors in lithographic projection systems
JP4433805B2 (ja) * 2004-01-21 2010-03-17 三菱電機株式会社 鏡支持機構、及びこれを用いた光学装置
US7125128B2 (en) * 2004-01-26 2006-10-24 Nikon Corporation Adaptive-optics actuator arrays and methods for using such arrays
US7232232B2 (en) * 2004-07-14 2007-06-19 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Reflector device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR987988A (fr) * 1943-07-09 1951-08-21 Messier Sa Perfectionnements aux systèmes réfléchissants des télescopes
FR1473976A (fr) * 1966-01-06 1967-03-24 R E O S C Dispositif pour le support latéral d'un objet, notamment pour le support d'un grand miroir d'astronomie
DE3521973C1 (de) * 1985-06-20 1986-07-17 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Unterstützungssystem für Teleskopspiegel

Also Published As

Publication number Publication date
EP0270967B1 (de) 1993-11-18
DE3788197D1 (de) 1993-12-23
EP0270967A3 (en) 1988-08-24
DE3642128A1 (de) 1988-06-16
EP0270967A2 (de) 1988-06-15
JPH0750235B2 (ja) 1995-05-31
US4775230A (en) 1988-10-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS63155112A (ja) 望遠鏡ミラーの支持システム
Chen et al. Bearing load analysis and control of a motorized high speed spindle
KR0166987B1 (ko) 자중지지장치
JP3182158B2 (ja) 露光装置用のステージ支持装置
US4502832A (en) Turbo-molecular pump
JPH0429659A (ja) 摩擦車式無段変速機
Stepp et al. Gemini primary mirror support system
JPH11268693A (ja) ロータブレードのフラップ駆動装置
CN105021402A (zh) 一种电磁式的主轴轴承可控预紧装置
WO2010078473A2 (en) Solar energy utilization systems and methods
CN111749979A (zh) 一种空气箔片动压轴承
US7125129B2 (en) Mirror support mechanism and optical apparatus using the same
US4843912A (en) Variable stiffness support ring
JPH07293553A (ja) 傾斜パッド軸受
JP2018189206A (ja) 摩擦ローラ式減速機及びこれを用いた減速機ユニット
US3457479A (en) Linear actuator and quadruple redundant type fail operative closed loop servo system
CN115325026A (zh) 一种内置节流器的静压轴承单元及超精密液体静压转台
JP2010216653A (ja) 制振装置
CN114623239B (zh) 机械密封及其密封端面变形程度的调节方法
JP2014533818A (ja) リミテッド・スリップ遊星ギア伝導装置
JPS60256667A (ja) ボ−ルねじ送り装置の予圧調整機構
JPS5920576A (ja) 可変容量形アキシヤルピストン機械の容量制御機構
JPH11223246A (ja) ロータリダンパ
JP2002181040A (ja) 転がり軸受用の予圧調節機構
JP2023136046A (ja) 係合装置、及びそれを備えた車両用駆動装置