JPS63155006U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63155006U JPS63155006U JP4849387U JP4849387U JPS63155006U JP S63155006 U JPS63155006 U JP S63155006U JP 4849387 U JP4849387 U JP 4849387U JP 4849387 U JP4849387 U JP 4849387U JP S63155006 U JPS63155006 U JP S63155006U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- positions
- polarizing plate
- image sensor
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施の態様を示す図であつ
て、同図イはその平面図、同図ロはその正面図、
同図ハはその側面図である。第２図は本考案の表
面形状測定器の原理説明図である。第３図は従来
の表面形状測定器の原理説明図である。 １…被測定体、２…載置台、３…光源、３１…
スライドベース、３９…偏光板、４…イメージセ
ンサー、４１…スライドベース、４９…偏光板、
５…光線、６…偏光、７…枠体。
て、同図イはその平面図、同図ロはその正面図、
同図ハはその側面図である。第２図は本考案の表
面形状測定器の原理説明図である。第３図は従来
の表面形状測定器の原理説明図である。 １…被測定体、２…載置台、３…光源、３１…
スライドベース、３９…偏光板、４…イメージセ
ンサー、４１…スライドベース、４９…偏光板、
５…光線、６…偏光、７…枠体。
Claims (1)
- 被測定体を静置するための載置台と前記被測定
体を介して互に相対向する位置に、それぞれ偏光
板を前置した光源とイメージセンサーとを位置調
節可能に設けてなる表面形状測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4849387U JPS63155006U (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4849387U JPS63155006U (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63155006U true JPS63155006U (ja) | 1988-10-12 |
Family
ID=30870073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4849387U Pending JPS63155006U (ja) | 1987-03-30 | 1987-03-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63155006U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2018036172A (ja) * | 2016-09-01 | 2018-03-08 | 富士フイルム株式会社 | 検査装置及び方法 |
| CN107873080A (zh) * | 2015-01-23 | 2018-04-03 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置评价用工具、半导体装置评价装置及半导体装置评价方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5968607A (ja) * | 1982-10-13 | 1984-04-18 | Hitachi Ltd | 車輪踏面の摩耗形状測定装置 |
-
1987
- 1987-03-30 JP JP4849387U patent/JPS63155006U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5968607A (ja) * | 1982-10-13 | 1984-04-18 | Hitachi Ltd | 車輪踏面の摩耗形状測定装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107873080A (zh) * | 2015-01-23 | 2018-04-03 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置评价用工具、半导体装置评价装置及半导体装置评价方法 |
| JP2018036172A (ja) * | 2016-09-01 | 2018-03-08 | 富士フイルム株式会社 | 検査装置及び方法 |