JPS6315485A - ホロ−陰極型レ−ザ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明ホロー陰極型レーザを以下の項目に従って説明す
る。

Ａ、産業上の利用分野 Ｂ０発明の８！要 Ｃ１従来技術 り１発明が解決しようとする問題点 Ｅ０問題点を解決するための手段 Ｆ、実施例［第１図乃至第３図］ ａ、レーザ管 す、ホロー陰極 Ｃ１主陽極 ｄ、補助陽極 ｅ、陰極端子 ｆ　金属τ留部 ｇ、共振器 り、レーザ光出力検出装置 ｉ、陽極電流制御回路 ｊ、バッファガス自動補給装置 に、動作 、Ｃレーザ光出力検出装置の変形例 ｌ１−１．レーザ光の一部の取り出し手段 Ｉ−２，特定の色のレーザ光を取り出 す手段 Ｇ６発明の効果 （Ａ、産業上の利用分野） 本発明は新規なホロー陰極型レーザに関する。

詳しくは、複数の波長の同時発振をするホロー陰極型レ
ーザにおいて、陽極に供給する電流を制御することによ
って出力の安定化と雑音の低減とを図ろうとするもので
、発振レーザ光の一部の出力を検出し、該検出結果に応
じて陽極への供給電流を制御するようにしたものである
。

（Ｂ、発明の概要） 本発明ホロー陰極型レーザは、複数の波長の同時発振を
するホロー陰極型レーザにおいて、複数の陽極のうちの
少なくとも一つの陽極の電流を制御する陽極電流制御回
路による陽極への供給電流を、発振レーザ光の一部の出
力を検出するレーザ光出力検出装置による検出結果に応
じて制御することによって、全発振レーザ光の出力安定
性の向上と雑音の低減化とを図ったものである。

（Ｃ，従来技術） 近年負グロー放電を用いたホロー陰極型金属イオンレー
ザが種々提案されている。この種のレーザはその励起の
強さから多色発振が可能であり、現在のところＨｅ−Ｃ
ｄイオンレーザでは１２木の発振線が観測されており、
その中には光３原色の赤、青、緑が含まれ、液体レーザ
や固体レーザに見られない優れた特色を有している。

（Ｄ、発明が解決しようとする問題点）ホロー陰極型Ｈ
ｅ−Ｃｄレーザのように多数の発振源を有しく表１に示
す。）しかも、広帯域共振器を用いて数種類の波長、例
えば、赤（６３５，５ｎｍ、　６３６．　Ｏｎｍ）　、
緑（５３３゜７ｎｍ、５３７．８ｎｍ）、青（４４ｔ、
ｓｎｍ）等の波長を同時発振する白色レーザにあっては
、これらの波長の発振レーザ光を同時に安定化、低雑音
化しなければならない。

多波長で同時発振するレーザにおいては、利得、共振器
の反射率、透過率等、レーザ発振を規定する条件が同じ
でなく、また、第１図に示すように、発振レーザ光の出
力特性も異なって来る。

レーザ光出力が不安定となる要素としては、金属蒸気圧
、バッファガス圧力の変動、プラズマ状態の変動、陽極
電流又は電圧の変動がある。そのうち、バッファガス圧
力の変動は、バッファガスの自動補給装置を付設してバ
ッファガス圧力が低下したときはバッファガスが自動釣
に補給されるようすることによって、制御することがで
きる。

また、金属蒸気圧に関しては、金属蒸気によりレーザ管
内の放電インピーダンスが変化するため、金属蒸気圧の
変化による放電インピーダンスの変化を検出し、それに
よって金属溜を加熱するヒータの温度を制御して金属の
蒸気化を制御することによって、一定に保つことかでき
る。更に、陽極電流又は電圧は各陽極毎に定電流回路を
設けることによって、これも一定に保つことができる。

しかしながら、レーザ光を定電流で発振させていた場合
でも陰極ボア内のプラズマ状態の変動等によりレーザ光
出力に若干の変動を生じ、レーザ光出力の安定化及び低
雑音化が困難である。

（Ｅ、問題点を解決するための手段） 本発明ホロー陰極型レーザは、上記した問題点を解決す
るために為されたものであり、発振レーザ光の一部の出
力を検出し、その結果によって複数の陽極のうちの少な
くとも一つの陽極の電流を制御する陽極電流制御回路が
当該陽極への供給電流を制御するようにしたものである
。

従って、本発明ホロー陰極型レーザによれば、レーザ光
出力の変動は陽極電流制御回路にフィードバックされ、
それに応じて陽極への供給電流を制御するようにしたの
で、レーザ光出力の変動を抑えレーザ光出力の安定化と
低雑音化を容易に図ることができる。

（Ｆ、実施例）［第１図乃至第３図］ 以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。

（ａ、　　レーザ管） 図中１はレーザ管であり、ガラスを略管状に形成して成
り、その両端開口がブリュースター窓２．３によって閉
じられている。

また、レーザ管１にはその長手方向に沿って一定間隔で
並んだ陽極取付部４．４、・・・が形成されている。こ
れら陽極取付部４．４、・・・は外方に突出した椀形の
頂部を切截した形状をしている。

また、５．５、・・・はレーザ管１のうち前記陽極取付
部４．４、・・・が形成された側と反対の側に形成され
た金属溜部である。これら金属溜部５．５、・・・も外
方に突出した椀形をしており、後述するＣｄ等の蒸発金
属材料を収納しておく部分である。

６はレーザ管１に形成された＠極端子取付部であり、こ
の陰極端子取付部６もレーザ管１の略中間の部分を外方
へ向って略椀形に突出させてその頂部を切截した如き形
状に形成されている。

７はレーザ管１の一端に寄った箇所に形成されたバッフ
ァガス導入孔である。

（ｂ、ホロー陰極） ８はホロー陰極である。該ホロー陰極８は、例えば、ス
テンレス等からなる導電性の肉厚パイプで形成されてい
て、その中心孔がグロー領域９が発生する陰極ボア１０
を構成し、該ホロー陰極８の両端部にはセラミックス等
からなる筒状の絶縁体１１ａ、ｌｌｂが嵌号固定され、
また前記陽極取付部４．４、・・・のうち両端にあるも
のを除いたものに対応する周面には透孔がそれぞれ形成
され、この透孔にはリング状の絶縁体１２．１２、・・
・がそれぞれ嵌合固定されている。このような絶縁体１
１ａ、ｌｌｂ、１２．１２、・・・はバッファガスを構
成している物質のイオン、例えば、Ｈｅイオンによるス
パッタリングによりホロー陰極４の表面から飛び出した
陰極物質（スパッター生成物）が後述する主陽極に付着
凝固したり、このスパッター生成物によりホロー陰極８
と主陽極との間が短絡したりするのを防止する上で有効
とされる。

（ｃ、主陽極） １３．１３、・・・はタングステン、モリブデン等によ
って形成された主陽極であり、第１図及び第２図に示す
ようにレーザ管１に設けられた陽極取付部４．４、・・
・のうち両端にあるものを除いたものに挿入されている
。この場合、主陽極１３．１３、・・・は、その材質に
応じた封着用ガラス１４．１４、・・・に封着され、こ
のガラス１４．１４、・・・が前記陽極取付部４．４、
・・・の開口端に溶着されている。また、各主陽極１３
．１３、・・・の先端部は放電効果を高めると共に放電
に伴う損耗を防止するため略円錐状に形成され、更に、
前記絶縁体１２．１２、・・・の外側面との間に僅かな
間隔ｄ１が設定されており、これによって、ホロー陰極
８をレーザ管１内に嵌合する際にホロー陰極８が主陽極
１３．１３、・・・の先端部に当ってこれらを破損する
のを防止している。そして、主陽極１３．１３、・・・
の配置間隔は比較的狭く、例えば、活性長３０　ｃｍ、
ボア径（Ｄ）３．５ｃｍの場合、２ｃｍ４１度に設定さ
れている。

そして、上記主陽極１３．１３、・・・は主陽極用室ぷ
１５に各別の定電流回路１６．１６、・・・を介して接
を充されている。

（ｄ、補助陽極） １７ａ、１７ｂは補助陽極であり、該補助陽極１７ａ、
１７ｂは前記ブリュースター窓２．３を保護するための
もので、前記主渇極１３．１３、・・・と同様封若用ガ
ラス１８．１８によってレーザ管１に形成された前記陽
極取付部４．４、・・・のうち両端に位置するもの４．
４に封着され、前記ホロー陰極８の両端に近接して位置
している。

そして、これら補助陽極１７ａ、１７ｂは各別の定電流
回路１９．１９を介して補助陽極用電源２０に接続され
ている。

（ｅ、陰径端子） ２１は陰極端子であり、該陰極端子２１は、前記主陽極
１３．１３、・・・及び補助陽極１７ａ、１７ｂと同様
、レーザ管１に封着用ガラス２２を介して配置されてい
るが、その内端は前記ホロー陰極４の外周面に直接接触
している。

（ｆ、金属溜部） 金属溜部５．５、・、・・内には蒸発金属材料２３．２
３、・・・、例えば、Ｈｅ−Ｃｄイオンレーザの場合は
Ｃｄが収容されている。また、これら金属溜部５．５、
・・・はホロー陰極８のこれら金属溜部５．５、・・・
に対応した箇所に形成された連通孔２４．２４、・・・
を通して陰極ボア１０と連通されている。

２５．２５、・・・は金属溜部５．５、・・・の外側に
これを囲むように設けられたヒータであり、ヒータ制御
回路２６によって供給電流が制御される。２７は電圧検
出回路であり、前記定電流回路１６．１６、・・・のう
ちの−とそれに対応した主陽極１３との間に接続されて
放電電圧を検出するようになっている。即ち、金属蒸気
圧の変化によりレーザ管１内の放電インピーダンスが変
化するので、この放電インピーダンスの変化を電圧検出
回路２７により検出し、その結果によりヒータ制御回路
２６によってヒータ２５．２５、・・・への供給電流を
制御して金属蒸気圧を調整するようになっている。

（ｇ、共振器） ２８．２９は共振器を構成する反射鏡であり、２８はレ
ーザ光の照射方向側のブリュースター窓２に対向するよ
うに配置されたハーフミラ−であり、２９は後側のブリ
ュースター窓３と対向するように配置された全反射ミラ
ーである。

（ｈ、　　レーザ光出力検出装置） ３０はレーザ光出力検出装置であり、前記全反射ミラー
２９からの−れレーザ光の中から特定の色成分のものを
取り出すフィルタ３１と該フィルタ３１によって取り出
された漏れレーザ光の出力を検出する光検出器３２とか
ら成る。

尚、フィルタ３１はいくつかの波長の発振レーザ光のう
ち入出力特性において中間の特性を有するもの、例えば
、Ｈａ−Ｃｄ金属イオンレーザのように、赤（６３５，
５ｎｍ、　６３６．　Ｏｎｍ）　、緑（５３３，７ｔ＋
ｍ、　５３７．８ｎｍ）　、青（４４１゜６　ｎｍ）を
同時発振するものの場合は、緑（５３３，７ｎｍと５３
７．８ｎｍの発振レーザ光の合計）の波長を取り出して
光検出器３２に供給するようになっている。

（ｉ、陽極電流制御回路） ３３は陽極電流制御回路であり、前記レーザ光出力検出
製置３０の出力を受けて前記定電流回路１６．１６、・
・・のうちの一部１６′、１６′の出力電流を制御する
ものである。

（ｊ、バッファガス自動補給装置） ３４はバッファガス、Ｈｅ−Ｃｄレーザの場合は、ヘリ
ウム（Ｈｅ）ガスの自動補給装置である。

３５は外管で、Ｈｅガスを通し難い材料、例え：ｆ、ホ
ウ硅酸ガラスで形成されている。そして、この外管３５
は一の開口３６を除いて密閉されている。

３７は外管３５内を仕切る隔壁であり、該隔壁３７によ
って、外管３５内がＨｅガス溜３８と前記開口３６に通
じる供給部３９とに仕切られている。

そして、この隔壁３７は石英ガラスで形成されている。

また、Ｈｅガス溜３８内には数１００ＴｏｒｒのＨｅガ
スが封入されている。

４０は隔壁３７の一部を管状にして形成されたヒータ保
持部４１に挿入されたセラミックヒータであり、４２．
４２は外管３５外へ導出されたセラミックヒータ４０の
接続リード線である。

４３は圧力センサであり、レーザ管１のバッファガス導
入孔７とバッフ１ガス自動補給装置３４の開口３６との
間を連通している接続管４４に連結され、これによって
レーザ管１内のＨｅガス圧を測定するようになっている
。

４５はバッファガス制御回路であり、前記圧力センサ４
３による検出結果に応じて前記ヒータ４０の温度を制御
するようになっている。

ホロー陰極型金属イオンレーザでは、陰極部及び金属（
例えばＣｄ）溜部を数１００℃という高温にする。バッ
ファガスとしてＨｅガスを用いる金属イオンレーザでは
、このＨｅガスがガラス製のレーザ管１を透過して大気
中へ放散される。これは、Ｈｅ原子の大きさが小さいた
めガラスを透過してしまうからである。特に、石英ガラ
スの場合は、Ｈｅガスが透過し易い。また、温度が高く
なる程Ｈｅガスの透Ａ量が多くなる。従って、上記した
ように、レーザ管１が陰８ｉ８と同程度に熱せられるた
め、Ｈｅガスの透過量も多くなり、レーザ管１の使用時
間か増えると共にその中に封入されたＨｅガスの正が減
少してしまうことになる。また、Ｈｅガスはレーザ管１
の使用中、陰極材料その他の材料に吸収されるものもあ
り、蒸気化したＣｄがレーザ管１の冷えた部分で凝固す
る際にその中に収蔵されたりして、レーザ管１内のＨｅ
ガス圧が低下し、レーザ発振の出わが低下し、遂にはレ
ーザ発振をしなくなることもある。

そこで、上記したような原因によるＨｅガスの減少を補
充するために、前記圧力センサー４３によってレーザ管
１内のＨｅガス圧を検出し、Ｈｅガス圧が一定の圧力（
レーザ管１の中には通常数Ｔｏｒｒから数十Ｔｏｒｒの
圧力のＨｅガスが入っている。）以下になったときに、
前記バッファガス制御回路４５によってセラミックヒー
タ４０に通電する。石英ガラスは温度が高くなると急激
にＨｅガスを透過するようになるため、石英ガラスで形
成されている隔壁３７がセラミックヒータ４０によって
熱せられ、Ｈｅガス溜３８内のＨｅガスが隔壁３７を供
給部３９側へ透過し、開口３６、接続管４４、バッファ
ガス導入孔７を通してレーザ管１内へと供給される。

（ｋ、動作） 主陽極１３．１３、・・・及び補助陽極１７ａ、１７ｂ
とホロー陰極８との間に所要の電圧を印加すると、主陽
極１３．１３、・・・と陰極８との間に負グロー放電が
発生する。そして、この負グロー放電の熱損とヒーター
を加熱することによりＣｄ蒸気が発生し、これがＨｅイ
オンなどの励起粒子によって高いエネルギー準位へと遷
移され、レーザ発振が開始する。

尚、陰極ボア１０の両端から出てブリニースター窓２．
４の方へ向かおうとするＣｄ蒸気は補助陽極１７ａ、１
７ｂによって吹き返えされ、陰極ボア１０内へと戻され
る。

また、絶縁体１１ａ、ｆｌｂも金属蒸気がブリュースタ
ー窓２．３の方に行くのを防止する。

そこで、主陽極１３．１３、・・・に定電流を供給して
レーザ発振をさせている場合でも、レーザ管１内のプラ
ズマの変動によってレーザ光出力は若干の変動を生ずる
。これを第５図（Ａ）に模式的に示す。尚、この第５図
（Ａ）において、青は４４１．６ｎｍ、緑は５３３．７
ｎｍと５３７゜８ｎｍとの合計、赤は６３５．５ｎｍ、
と６３６゜Ｏｎｍとの合計を示し、また、変動の大きさ
は、理解し易くするために、各色共同程度の大きさで示
しである。

発振レーザ光が第５図（Ａ）に示すように変動したとす
ると、この変動した発振レーザ光の一部（反射鏡２９か
ら澗れたもの）を検出して、そのレーザ光が一定となる
ように一部の主陽極１３．１３へ電流を供給している定
電流回路１６′、１６′の電流を増減する。

第４図はＨｅ−Ｃｄ金属イオンレーザにおける陽極電流
−レーザ出力特性図、即ち、入出力特性を示す図であり
、・は赤（６３５，５ｎｍと６３６、Ｏｎｍとの合計）
の出力を、ムは緑（５３３，７ｎｍと５３７．８ｎｍと
の合計）の出力を、閣は青（４４１，６ｎｍ）の出力を
それぞれ示し、Ｘはこれら赤、緑、青の各出力の合計出
力を示す。

この第４図からも分るとおり、陽極への供給電流の増減
は、直ちにレーザ光出力の増減となって現われる。しか
しながら、上記したプラズマの変動によるレーザ光出力
の変動は微小であるので、全陽極１３．１３、・・・へ
の供給電流を増減させるとそれによる出力変動が大きく
なりすぎてしまう。そこで、全陽極１３．１３、・・・
への供給電流ではなく、一部の陽極への供給電流のみを
変化させれば充分である。

そこで、上記したように、一部の陽極への供給電流を制
御することによって、レーザ光出力の安定化を図るのが
良い。これによって、レーザ光出力の変動を小さく抑え
て、比較的安定したレーザ光出力を得ることができる。

尚、上記制御を行なう場合、全波長のレーザ光に関して
その出力変動を検出することは、光検知素子に色特性が
あるため、全波長のレーザ光にたいして平均した特性を
有する光検出器を得るのが困難である。そこで、いくつ
かの波長のレーザ光のうち一の色の波長のレーザ光に関
しその出力変動を検出し、これによって陽極への供給電
流を制御するようにすると良い。

また、特定の色の波長のレーザ光の出力変動を検出する
ようにする場合、入出力特性において中間の特性を有す
る色の波長のレーザ光の出力変動を検出するようにする
と良い。

つまり、第４図で良く分るように、青、緑、赤の波長の
レーザ光の入出力特性はそれぞれ異っている。即ち、同
じ範囲で陽極への供給電流を増減させた場合でも、出力
への影響は青が最も大きく受け、緑、赤の順に小さくな
る。また、逆に、同じレベルの出力変動に対して陽極へ
の供給電流を変える場合は、赤が最も大きく、緑、青の
順に小さくなる。

従って、第５図（Ａ）に示すような同じ大きさの微小な
出力変動があるとした場合、青のレーザ光出力の変動を
検出してその結果を陽極への供給電流にフィードバック
した場合と、緑、赤のレーザ光の変動によってフィード
バックした場合とでは、他の色のレーザ光に与える安定
化の程度は異ってくる。

第５図（Ｂ）乃至（Ｄ）は青、緑、赤各色のレーザ光出
力の変動を検出し、その結果によって陽極への供給電流
を制御した場合の他の色のレーザ光出力の安定化に及ぼ
す影響を示すものである。

青のレーザ光出力により制御を行なう場合は、第５図（
Ｂ）に示すように、制御する電流範囲が小さく、従って
、青のレーザ光出力の安定性は良くなるが、緑のレーザ
光出力の安定性は若干良くなる程度で、赤のレーザ光出
力に至っては殆ど安定化しない。

赤のレーザ光出力により制御を行なった場合は、第５図
（Ｃ）に示すように、制御する電流範囲が大きく、赤の
レーザ光出力の安定性は良くなるが、青のレーザ光出力
にとっては制御する電流範囲が大きいため、制御が過度
になり過ぎて、出力変動が逆位相となって犬ぎくなる。

また、緑のレーザ光出力の変動も逆位相となるが、その
変動率は青に比して小さい。尚、ここで対比する位相は
フィードバック前の位相、即ち、第５図（Ａ）に示した
位相である。

縁のレーザ光出力により制御を行なった場合は、制御す
る電流範囲が中間であるため、青のレーザ光出力は逆位
相ではあるが変動は小さく、また、赤のレーザ光出力は
同位相で変動が小さいものとなる。

このように、出力変動が中間の特性を示す色のレーザ光
出力の変動を検出して、これによって、陽極への供給電
流を制御するのが、各色のレーザ光出力に関して比較的
安定性が得られ、良い結果が得られる。

尚、上記説明において、緑のレーザ光出力によって陽極
への供給電流の制御を行なうのが最も良いと説明したが
、これはフィードバックする出力を緑のレーザ光出力に
限定するものではない。

例えば、赤のレーザ光出力が各レーザ光出力の中間の出
力変動を示すときは、赤のレーザ光出力をフィードバッ
クすれば良い。各レーザ光出力の出力変動は共振器の反
射率、共振器の波長特性、レーザ管への封入ガス圧等に
より変るので、それぞれのレーザにおいて中間の出力変
動をもつレーザ光出力をフィードバックすれば良い。

（ｆｌ、レーザ光出力検出装置の変形例）（ｆｌ−１゜
レーザ光の一部の取り出し手段）第６図はレーザ光の一
部を取り出す手段の変形例を示すものである。

この変形例にあっては、反射鏡２９で反射されたレーザ
光の戻り光４６のうち、ブリュースター窓３の表面で反
射された光４６′を取り出すようにしたものである。

第７図はレーザ光の一部を取り出す手段の別の変形例を
示すものである。

この変形例にあっては反射鏡２８の前方にハーフミラ−
４７を配置し、反射鏡２８を透過したレーザ光４８の一
部４８′をハーフミラ−４７によって取り出すようにし
たものである。

尚、これらの各変形例もレーザ光の一部を取り出す手段
のほんの一例であって、本発明におけるレーザ光の一部
を取り出す手段がこれらに限定されるものではない。

（Ｉｌ−２，特定の色のレーザ光を取り出す手段） 第８図は特定の色のレーザ光を取り出す手段の変形例を
示すものである。

４９は波長選択反射鏡であり、共振器の反射鏡２９から
漏れた一部のレーザ光５０のうち特定の色のものだけを
波長選択反射鏡４９によって反射して光検出器３２の方
へ送るようにしたものである。

尚、波長選択反射鏡４９は、例えば、透明基板にａ電体
多層膜を形成して成るものであり、例えば、緑の波長の
光５０′を選択して反射する場合にはＴｉＯ２と５ｉ０
２の多層膜を用いる。

第９図は特定の色のレーザ光を取り出す手段の別の変形
例を示すものである。

この変形例にあっては、プリズム５１によって反射鏡２
９からの漏れレーザ光５０から特定の波長の光５０′を
分光し、照光５０′を受光する位置に光検出器３２を配
置したものである。

第１０図は特定の色のレーザ光を取り出す手段の更に別
の変形例を示すものである。

５２は回折格子であり、該回折格子５２によって反射鏡
２９からの澗れ光５０のうち特定の波長のもの５０′を
光検出器３２の方へ反射するようにしたものである。

尚、これら各変形例も特定の色のレーザ光を取り出す手
段のほんの一例であって、本発明における特定の色のレ
ーザ光を取り出す手段がこれらに限定されるものではな
い。

（Ｇ、発明の効果） 以上に記載したところから明らかなとおり、本発明ホロ
ー陰極型レーザは、複数の陽極のうちの少なくとも一つ
の陽極の電流を制御する陽極電流制御回路と、発振レー
ザ光の一部の出力を検出しその結果を前記陽極電流制御
回路に出力するレーザ光出力検出装置とを備え、前記陽
極電流制御回路はレーザ光出力検出装置の出力に応じて
ｌ！Ｂ極に供給する電流を制御するようにしたことを特
徴とする特 従って、本発明ホロー陰極型レーザによれば、レーザ光
出力の変動は陽極電流制御回路にフィードバックされ、
それに応じて陽極への供給電流を制御するようにしたの
で、レーザ光出力の変動を抑えレーザ光出力の安定化と
低雑音化を容易に図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図は本発明ホロー陰極型レーザの実施の
一例を示すもので、第１図は全体を模型的に示す縦断面
図、第２図は第１図のＩＩ　−ＩＩ線に沿う拡大断面図
、第３図は第１図のＩＩＩ　−ＩＩＩ線に沿う拡大断面
図、第４図は陽極電流と発振レーザ光出力との関係、即
ち、入出力特性を示す図、第５図は発振レーザ光の変動
とその制御の状態を（Ａ）乃至（Ｄ）まで各状況に応じ
て模式的に示す図、第６図及び第７図はレーザ光の一部
を取り出す手段の変形例を各別に示す要部の側面図、第
８図乃至第１０図は特定の色のレーザ光を取り出す手段
の変形例を各別に示す要部の側面図である。 符号の説明 １３・・・陽極、 ３０・・・レーザ光出力検出装置、 ３３・・・陽極電流制御回路 ｊ広　プζ−ピ茸ノｔ６Ｇコ　（ＩＩ−ＩＩ　　走糧：
２ン第２図 瓜匁封甜国（Ｉｌｌｒ−ＩＩＩ線） 第３図 ０　　　　．０．４　　０．６　　０．８　　１．０　
　１．２　　１．４Ｐ島；！セ亀；鮭　　（，４） Ｎ歓力１１１を１、℃ｉ 第４図 方（拉ｈ’：ｘ　Ｉｓ雪、１国 第５図（Ａ） ｊＪｌ、≦ｔ″；）にへミ１ｎへ 第５図（Ｂ） 第１〔玉く、を弔−〒１５１〔ハ 第５図（Ｃ） 橡氏セ憎−也１０ 第５図（Ｄ） 寄肺６−１４鶴改口℃（焚七せい 第　６図 第７図 １！−蜂σ）イξ・１？ぼＨ’ｆ；ＪＣ・多ミ七ン、イ
否Ｃ１）第８図 ３０−・Ｌ−ブＸ１士、刀と鮫±、★（１１１朴　０イ
日ｐ１面口口（ｊご影イラ・１）第９図 ３０・・ルー１１１線と装置 Φ 讐舒のべ・１毛図（東上９ａ・１） 第１０図 手続ネ甫正書（自発） 昭和６１年　７月　８日 ２、発明の名称 ホロー陰極型レーザ ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住所　東京都港区高輪４丁目８番３号 名称　１１３　　株式会社　小　糸　製　作　所４、代
理人 住所　東京都中央区八丁堀３丁目１７番１２号危５５１
−０８８６ ６、補正の内容 （１）明細書第５頁１１行目の次に別添表１を挿入する
。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）複数の波長の同時発振をするホロー陰極型レーザ
   において、 複数の陽極のうちの少なくとも一つの陽極の電流を制御
   する陽極電流制御回路と、 発振レーザ光の一部の出力を検出しその結果を前記陽極
   電流制御回路に出力するレーザ光出力検出装置とを備え
   、 前記陽極電流制御回路はレーザ光出力検出装置の出力に
   応じて陽極に供給する電流を制御するようにした ことを特徴とするホロー陰極型レーザ
2. （２）複数の波長の発振レーザ光のうちの一の色の発振
   レーザ光の一部の出力をレーザ光出力検出装置によって
   検出するようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載のホロー陰極型レーザ
3. （３）複数の波長の発振レーザ光のうち入出力特性にお
   いて中間の特性を有する色の波長の発振レーザ光の一部
   の出力をレーザ光出力検出装置によって検出するように
   したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のホロ
   ー陰極型レーザ