JPS63152179A - 半導体発光素子 - Google Patents

半導体発光素子

Info

Publication number
JPS63152179A
JPS63152179A JP61300765A JP30076586A JPS63152179A JP S63152179 A JPS63152179 A JP S63152179A JP 61300765 A JP61300765 A JP 61300765A JP 30076586 A JP30076586 A JP 30076586A JP S63152179 A JPS63152179 A JP S63152179A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
light emitting
reverse side
emitting device
solder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61300765A
Other languages
English (en)
Inventor
Katsutoshi Soejima
副島 克俊
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP61300765A priority Critical patent/JPS63152179A/ja
Publication of JPS63152179A publication Critical patent/JPS63152179A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32151Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/32221Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/32245Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144Gold (Au) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はQ a A sまたGaP等の赤外光あるいは
可視光を発する発光素子に関し、P−N接合付近で発せ
られた光を結晶の外部へ有効に取り出すために、その素
子構造につき工夫したものである。
〔従来の技術〕
従来、半導体発光素子の形状はウエノ・−ス状の結晶を
ダイヤモンドポイントで傷を付け、小片状に細分化する
方法と、ダイヤモンドカッターで結晶の厚味の半分以上
全切断し、細分化する方法があるが、そのようにして出
来た素子の側面の形状は、表面に対しほぼ垂直な面か、
あるいは結晶の剪開面が表われるが、その表わ、t″L
7iにより、種々の形状の素子が出来てしまう。
〔発明が解決しようとする問題点〕
P−N接合近辺で発ぜら几た光はあらゆる方向に放射さ
れるが、そのうち素子の裏面に反射して戻る光の中で、
素子の側面へ入射する光を外部へ有効に取り出せる確率
は素子の側面の形状に太きく左右される。すなわち、上
述した素子佃j面形状のうちで、!lil力面表面に対
しほぼ垂直に加工てれたものにおいては結晶がGaAs
で空気と接している場合結晶の01li面へ入射する元
のうちで、入射角θがθ≧sin”(’)(ここでnは
結晶の屈折率であり、Q a A sでIp、 n =
 3.62よってθ=16°)の場合、元は側面にて全
反射さ九、反射光aさらに結晶の内部へと拡散され、結
晶による光吸収のため光量は著しく減衰することとなる
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の素子形状は上述した様に素子の底面側が広くな
るような傾斜面を有している。これはウェハースから半
導体素子を切り出す際に使用するダイサーの刃先を適当
な傾斜を持つよう加工されたものを使用して、縦横に所
望するピッチで切り溝を入れ、従来と同様表面のダメー
ジ層を化学エツチングによシ除去した後細分化すること
により得られる。半導体発光素子は通常0.3〜0.5
 Wピッチで切り溝を入れるが、刃の厚味が25μ程あ
るため切断後の素子の大きさは0.27〜0.47m2
110となる。本発明の場合は、刃に傾斜部を設げる必
要がちシ、このため、刃の厚味を50〜100μとする
。め、素子。表面。サイズは0.2〜0.410と小さ
くなる。しかしながら、元の取り出し効率は向上する友
め、素子の特性は改良出来、けた素子の組立上、信頼度
上も素子の低面においてはほぼ同等の大きさを維持出来
るため、劣化は見られない。
〔実施例〕
第1図は本発明の一実施例の平面図、第2図はその縦断
面図である。本発明による一実施例の素子は結晶がGa
Asで940 nmの赤外光を発する元手導体素子であ
り、第2図3のように低辺約50μで斜夏60°の傾斜
した側面を4面に有している。
第2図に示すようKP−N接合5より発した元の一部は
素子の低面で反射し、側面へ向うが、側面が傾斜してい
るため、内部へ全反射することなく、結晶の外部へ放射
されていることを矢印6が示している。−力、従来形状
の素子第3図においては側面がほぼ垂直に形成されてい
るため、結晶の内部へ全反射されていることを示してい
る。第4図は本発明の素子をリードフレーム上に搭載し
、エポキシ樹脂でモールドした砲弾型の発光素子の実施
例を示す。本発明による発光素子8はリードフレーム9
にソルダー12により接続され表電極は金11ijjl
lにより他のリード端子10に接続されている。素子は
凸レンズを形成するエポキシ樹脂12によp封止されて
いる。この実施例では素子の側面よシ放出された元は、
周辺に形成されているリードフレームの反射面により反
射され、レンズによシ集光され、光軸上の出力向上に寄
与している。
〔発明の効果〕
以上説明し友ように本発明は素子の側面が末広がりに傾
斜している之め、P−N接合近辺で発生した元のうち、
素子の裏面ま友は裏面と接する反射率の高いソルダー類
からの反射″/l、を結晶の外部へ有効に取り出す効果
がある。この効果は、素子が空気と接している場合、素
子から外部へ放射さ、れる全光量でおおよそ30チの向
上が認められる。
また素子の外部をエポキシ樹脂で封止し、エポキシ樹脂
にて凸レンズを形成した砲弾型の製品においては、元軸
上の出力か約20%向上することが確認されている。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の平面図、第2図はその仙j面図、第3
図は従来素子の側面図である。第4図は本素子の応用実
施例を示す。 1・・−・・・光を取り出す素子の表面部、2・・・・
・・表面側電極、3・・・・・・光を取り出す素子の傾
斜した側面、4・・・・・・裏面側電極、5・・・・−
・P−N接合部、6・・・・−・接合部近辺で発生した
党が裏面に反射し外部へ放出されている元の径路、7・
・・・・・同上側面にて全反射されている元の径路、8
・・・・−・本発明による発光素子、9・−・・・・素
子を搭載するリードフレーム、10・・−・・・リード
端子、11・・・・・・金線、12・・・・・・凸レン
ズを形成するエポキシ衝月旨 $4WJ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. メサ型半導体発光素子において、接合部が露出する4つ
    の側面が、表面に対し、概90°傾斜した面と、光を取
    り出す表面側が狭く、裏面側が広くなるような傾斜した
    面から構成されていることを特徴とする半導体発光素子
JP61300765A 1986-12-16 1986-12-16 半導体発光素子 Pending JPS63152179A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61300765A JPS63152179A (ja) 1986-12-16 1986-12-16 半導体発光素子

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61300765A JPS63152179A (ja) 1986-12-16 1986-12-16 半導体発光素子

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63152179A true JPS63152179A (ja) 1988-06-24

Family

ID=17888827

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61300765A Pending JPS63152179A (ja) 1986-12-16 1986-12-16 半導体発光素子

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63152179A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6946309B2 (en) 1997-06-03 2005-09-20 Lumileds Lighting U.S., Llc III-Phosphide and III-Arsenide flip chip light-emitting devices
DE19807758B4 (de) * 1997-06-03 2008-08-14 Philips Lumileds Lighting Company, LLC, San Jose Lichtemittierende Diodenstruktur und Verfahren zu deren Herstellung
US7943946B2 (en) 2005-11-21 2011-05-17 Sharp Kabushiki Kaisha Light emitting device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6946309B2 (en) 1997-06-03 2005-09-20 Lumileds Lighting U.S., Llc III-Phosphide and III-Arsenide flip chip light-emitting devices
US7268371B2 (en) 1997-06-03 2007-09-11 Philips Lumileds Lighting Company, Llc Light extraction from a semiconductor light emitting device via chip shaping
DE19807758B4 (de) * 1997-06-03 2008-08-14 Philips Lumileds Lighting Company, LLC, San Jose Lichtemittierende Diodenstruktur und Verfahren zu deren Herstellung
US7943946B2 (en) 2005-11-21 2011-05-17 Sharp Kabushiki Kaisha Light emitting device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5087949A (en) Light-emitting diode with diagonal faces
EP0405757A2 (en) High efficiency light-emitting diode
US20190157498A1 (en) Light emitting device and method of forming the same
JP3312049B2 (ja) 半導体発光装置
US6791119B2 (en) Light emitting diodes including modifications for light extraction
US7667224B2 (en) Semiconductor light emitting device and semiconductor light emitting apparatus
US7465959B2 (en) Semiconductor light emitting device, semiconductor light emitting apparatus, and method of manufacturing semiconductor light emitting device
US7306960B2 (en) High radiance LED chip and a method for producing same
US7067340B1 (en) Flip-chip light emitting diode and fabricating method thereof
JP3715627B2 (ja) 半導体発光素子及びその製造方法
TW200541119A (en) Semiconductor light emitting device and semiconductor light emitting apparatus
JP3994346B2 (ja) 発光ダイオードの表面実装方法
US20060214173A1 (en) Light emitting diodes and methods of fabrication
US20060079082A1 (en) Trench cut light emitting diodes and methods of fabricating same
JPH06318731A (ja) 半導体発光装置
CN108141007B (zh) 半导体激光器和用于制造半导体激光器的方法
JP2004289047A (ja) 半導体発光素子及びその製造方法
US6972212B2 (en) Method for producing a radiation-emitting semiconductor chip
JPH10200156A (ja) 半導体発光素子
JP2011171327A (ja) 発光素子およびその製造方法、並びに発光装置
US20210143306A1 (en) Semiconductor light-emitting device
JP2004031655A (ja) 半導体発光素子
JPS63152179A (ja) 半導体発光素子
JP2004103672A (ja) 半導体発光素子および半導体発光装置
US3353051A (en) High efficiency semiconductor light emitter