JPS63149553A - 電子湿度計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産−一の　　′） 本発明は一般に電子湿度計に関し、特に例えば、大気中
の湿度変化に応じて静電容量の値が可変する湿度検知素
子を備えたディジタル電子湿度計に関する。

」の　　　３　と　の轟 周知のように、この種のディジタル電子湿度計の概要は
、大気中の湿度変化を検知する感湿素子を備え、該感湿
素子にて検知された大気中の湿度変化に応じた電気信号
を出力するセンサ部と、該センサ部から出力された電気
信号に所定の信号処理を施すことによって大気中の湿度
値を算出する信号処理部とから成るものである。前述し
た感湿素子には、例えば、大気中の湿度変化に応じて該
素子の静電容量値が可変し電気的出力が得られるものが
使用され、又一方、前記信号処理部は、前記感湿素子の
静電容量値可変に応じて前記センサ部から出力されるア
ナログ電圧信号を受けてこれを増幅する増幅手段、該増
幅手段からの出力信号を受けてこれを二値信号（ディジ
タル信号）化する二値信号化手段（アナログ／ディジタ
ル変換器）、該二値信号化手段から出力された二値信号
を受けて該二イ１信号に基づいて大気中の湿度値を算出
するディジタル電子回路制御機蕃手段（例えばマイクロ
コンピュータ）等によって構成されている。

ところで、上述したごとき構成の従来の電子湿度計は、
前記センサ部と前記信号処理部とが一体的に構成された
単一構造の計測機器となっていた。そのため１例えば、
野菜、果実等を栽培する温室、厳格な湿度管理が要求さ
れる特殊な製品の製造所や倉庫或いはオフィスビルのご
とき居住用建築物のような空気調節（以下「空調」とい
う）を行なう必要のある空調対象空間において、これら
空調対象空間とは離間した箇所にてこれら空調対象空間
における空調を集中的にコントロールしている自動空調
コントロールシステムが採用されている場合に、該シス
テムに対して前記計測機器を使用するには、オペレータ
が該計測機器を各測定現場にまで持ち込んで湿度測定を
行ない然る後に該測定データを前記箇所に報告するごと
き余分な作業が不可欠となるので、上記システムには使
い難いという問題点がある。そのうえ、前記計測機器に
おける信号処理部の回路構成も、マイクロコンピュータ
以外に増幅塁やアナログ／ディジタル変！！！ｌ器等を
内蔵していて複雑で部品点数も多くコスト高になるとい
う問題点もあった。

そこで本発明者等は、上述した問題点に鑑みて研究、実
験を川ねた結果、上記問題点の改善を図ることが可能と
なり、更に該改善に加えてより高精度な測定データをも
得ることが可能となるという技術的成果を得た。

本発明は、斯る技術的成果に基づくものである。

■−−的 従って本発明は、上述したごとき問題点を改善するため
に創案されたものであって、その目的は、空調対象空間
とは離間した箇所にてこれら空調対象空間における空調
を集中的にコントロールしている自動空調コントロール
システムに対しての適用が容易である等、その用途範囲
を大幅に拡大することができ、回路構成を簡単化するこ
とによって部品点数を減少せしめて低コスト化を図るこ
とができ、更にはより高精度な測定データを得ることが
できる電子湿度計を提供することである。

ｕＩ占　　　　るための 上記目的は１本発明に係る電子湿度計によって達成され
る。要約すれば本発明の第１の態様は、方形波パルス信
号発生器と携行可能に構成され大気中の湿度変化に応じ
て静電容量の値が可変する湿度検知素子と該湿度検知素
子が前記方形波パルス信号発生器とは離間した所望の測
定対象空間にても湿度検知が可能なように該湿度検知素
子と前記方形波パルス信号発生器とを接続している所定
の延長を持った信号伝送線路と前記方形波パルス信号発
生器に接続され前記湿度検知素子の静電容量の値との間
でＣＲ時定数回路を形成する抵抗素子とを備え、前記湿
度検知素子の静電容量の値の可変に応じた方形波パルス
信号を出力する発振手段と、前記発振手段から出力され
た方形波パルス信号の周波数を計数し、該計数結果に基
づいて大気ＬＩＪの湿度値を求めるディジタル＠算処理
手段とを有することを特徴とする電子湿度計である。

又、本発明の第２の態様は、方形波パルス信号発生器と
該方形波パルス信号発生器に接続された大気中の湿度変
化に応じて静電容量の値が可変する湿度検知素子と前記
方形波パルス信号発生器に接続され前記湿度検知素子の
静電容量の値との間でＣＲ時定数回路を形成する抵抗素
子とを備え、前記湿度検知素子の静電容量の値の可変に
応じた方形波パルス信号を出力する携行可能に構成され
た発振手段と、与えられた方形波パルス信号の周波数を
計数し、該計数結果に基づいて大気中の湿度値を求める
ディジタル演算処理手段と、前記発振手段が前記ディジ
タル演算手段とは離間した所望の測定対象空間にても湿
度検知が可能なように前記発振手段と前記ディジタル演
算処理手段とを接続している所定の延長を持った信号伝
送線路とを有することを特徴とする電子湿度計である。

旧Ｕ 以下、図面により本発明に従う実施例について説明する
。

第１図は１本発明の第１の実施例に従う電子湿度計を示
す０本発明の第１の実施例に従う電子湿度計の概要は、
第１図を参！犯して明らかなように、発振手段即ち方形
波パルス発振器ｌと、前記方形波パルス発振器ｌの出力
信号を受けるディジタル演算処理手段即ちマイクロコン
ピュータ９とから成っている。前述した方形波パルス発
振器ｌは、方形波パルス信号発生器即ち論理レベル信号
たる方形波パルス信号を出力するインバータ素子７と、
前記インバータ素子７の帰還回路に接続されている抵抗
素子３と、信号伝送線路即ちケーブル２１を介して前記
インバータ素子７の入力側に接続されているとともに、
前記抵抗素子３の電気抵抗値との間でＣＲ時定数回路即
ちＣＲ発振回路を形成する携行可能に形成された湿度検
知素子５とで構成されている。前記湿度検知素子５には
。

大気中の湿度変化に応じて静電ｖｆ量の値が可変するも
の、所謂静電容量可変型と称される感湿素子が用いられ
ている。前述した静電容量可変型の感湿素子としては１
例えば、タンタル、チタン、ニオブ、アルミニウム、ハ
フニウムのような弁作用金属から成る陽極基体の上に陽
極酸化により：Ａ誘電体性陽極酸化皮膜形成し、さらに
この誘電体性陽極酸化皮膜の上の全面又は一部に１例え
ば硝酸マンガンのような熱分解性金属塩の熱分解によっ
て二酸化マンガンのような半導体性金属酸化物層を形成
し、そしてその上にカーボン、銀ペイントを用いて水蒸
気透渦性の導電性電極を形成したごとき構造のものがあ
る。上述した構造の静電容量ｔＩｒｆＪ！！！の感湿素
子による湿度検知のプロセスは、以ドのようである。即
ち、前記湿度検知素子５が相対湿度に応じた空気中の水
分を吸着すると、この水分が誘電体性陽極酸化皮膜の対
向電極として作用し、高湿の場合には、この電極面積が
増加するので、高静電容量が得られ、低湿の場合には逆
に低静電ｆｇ量が信号として検出され、最終的に空気中
の相対湿度変化を静電容量変化として検知する。前述し
たごとき静電容量可変型の湿度検知素子は、第２図にて
図示するように、０〜１００％Ｒ１（にわたって測定精
度、感度ともに高く、又、第３図にて図示するように、
吸脱湿の応答性も非常に優れている。

前記インバータ素子７は、前記湿度検知素子５の静電容
量値が大気中の湿度変化に応じて可変しそれによって該
湿度検知素子５の静電容量値と前記抵抗素子３との間で
形成されているＣＲ発振回路における発振周波数が可変
すると、該発振周波数に応じた周波数の方形波パルス信
号を出力するようになっている０本実施例においては、
前記イア／＜−夕素子７にＣ−ＭＯＳシュミットインバ
ータが用いられており、このようにインバータ素子７に
Ｃ−ＭＯＳシュミットインバータを用いることによって
、低コスト化、低消費電力化を図るとともに、例えば１
００ＫＨｚ程度のオーダの周波数に対しても安定した方
形波パルス信号が得られるようにしている。前記ケーブ
ル２１は、前記湿度検知素子５が前記インバータ素子７
とは離間した所望の測定対象空間（即ち前述した各種空
調対象空間）にても湿度検知が可能なように所定の延長
を持っており、前記湿度検知素子５を前記インバータ素
子７の入力側に接続せしめている。

前述シたマイクロコンピュータ９は、算術演算、論理演
算を行なうＣＰＵ、前記方形波パルス発振器１から出力
された方形波パルス信号を計数するカウンタ、ル制御プ
ログラム等を内蔵し又必要データを記憶するメモリ、入
出力ボート等を蛸えている。前記マイクロコンピュータ
９のメモリに記憶されているデータとしては、例えば前
記第２図にて図示したごとき湿度検知素子５の湿度−静
電容縫偵特性データを始め、前記湿度検知素子５の温度
補償値データ、第１図にて図示した方形波パルス発ＪＩ
ｉｉ器ｌから出力される方形波パルス信号の発振周波数
ｆと前記湿度検知素子５の静電容量値Ｃとの関係を表わ
す式 ％式％ 但し、ＶＯ：前記方形波パルス発振器ｌの出力電圧 ＶＴＩ（：前記インバータ素子７（即ちＣ−ＭＯＳシュ
ミットインバータ）の Ｈｉレベルスレッショルド電圧 ＶＴＬ：前記インバータ素子７（即ちＣ−ＭＯＳシュミ
ットインバータ）の ＬＯレベルスレッショルド電圧 ｋ　：定数 がある、前記マイクロコンピュータ９のＣＰＵは、前述
した方形波パルス発振器ｌから出力される方形波パルス
信号の周波数ｆをカウントし、該カウントした方形波パ
ルス信号の発振周波数ｆと前記メモリに記憶されている
０式とから前記湿度検知素子５の静電容量値Ｃを演算し
、該演算した前記湿度検知素子５の静電容量ｍ　Ｃと前
記メモリに記憶されている第２図にて示した前記湿度検
知素子５の湿度−静電容量値特性データとから大気中の
湿度値を求めることとなる。

以上説明したように１本発明の第１の実施例によれば、
インバータ素子７に、Ｃ−ＭＯＳシュミットインバータ
を用いたので、低消費電力化を図ることができ、これと
ともに例えば１００ＫＨｚ程度のオーダの周波数に対し
ても安定した方形波パルス信号を得ることができる。又
、湿度検知素子５を携行可能に形成して該湿度検知素子
５を所定の延長を持ったケーブル２１を介してインバー
タ素子７の入力側に接続したので、インバータ素子７と
は離間した所望の測定対象空間にても容易に湿度測定を
行なうことができる。更に、該湿度検知素子５の湿度変
化に応じて該湿度検知素子５の静電容量値と前記インバ
ータ素子７の帰還回路に接続されている抵抗素子３との
間で形成されているＣＲ発振回路における発振周波数の
可変に応じた周波数の方形波パルス信号が前記インバー
タ素子７から出力され該方形波パルス信号をマイクロコ
ンピュータ９によって計数することで大気中の湿度値を
求めることとしたので１回路構成を簡単化すること・に
よって部品点数を減少せしめて低コスト化を図ることも
可能となった。

第４図は１本発明の第２の実施例に従う電子湿度計を示
す０本発明の第２の実施例に従う電子湿度計の概要は、
第４図を参照して明らかなように、前記第１図にて図示
した方形波発振器ｌのインバータ素子７の入力側に前記
ケーブル２１を介して接続されている湿度検知素子５に
対して基準界；謹素子Ｃｏ１ｔを並列接続し、前記ケー
ブル２１を介して接続されている前記湿度検知素子５側
を開／閉する第１のスイッチング手段即ちＳＷｌと前記
基準容量素子Ｃｏ１ｔが接続されている側を開／閉する
第２のスイッチング手段即ちＳＷ２とを設け、前記マイ
クロコンピュータ９により、前記湿度検知素子５の静電
容量の値Ｃと前記基準容量素子Ｃｏ１１の静電容量の偵
ＣＯとの比二〇〇／Ｃに対応する前記ＳＷｌのみが閉成
されたときの前記方形波パルス発振器ｌから出力される
方形波パルス信号の発振周波数ｆＨと前記ＳＷ２のみが
閉成したときの前記方形波パルス発振器ｌから出力され
る方形波パルス信号の発振周波数ｆＯとの比ｒ　ｆ　＝
ｆ　Ｈ／　ｆ　Ｏを演算し、ｒｆ＝ｆＨ／ｆｏ＝ｃｏ／
Ｃの関係式からＣ＝　ＣＯ／　ｒ　ｆにてＣの値を求め
ることによって、該Ｃの値と前記第２図にて示したデー
タとから大気中の湿度値を求めることとしたものである
。方形波パルス発振器ｌを、前述したような構成とした
のは、以下に記載するごとき理由による。即ち１本発明
者等が前述した第１図にて示す方形波パルス発振器ｌを
用いて実験を行なった結果、該発振：１！ｌの発振周波
数ｆは抵抗索子３の抵抗値Ｒ，インバータ素子７のＨル
ーベルスレッショルド電圧ＶＴＨ，１７ｉ１素子７のＬ
Ｏレベルスレッショルド電圧ＶＴＬ、該発！Ｍ器１の出
力電圧ｖＯ及び定数にの値のバラツキや温度特性等によ
って多少の影響を受けることが判ＩＪ１シた。そこで、
上述したように本発明者等はケーブル２１を介して前記
インバータ素子７の入力側に接続されている湿度検知素
子５に対して基準容量素子ｃｏｔｔを並列接続し、前記
ＳＷｌ、ＳＷ２を夫々設けて一方を閉成させたときには
他方を開成させることによってＳＷｌのみを閉成せしめ
たとさの発振周波数ｆＨ（ｆＨ＝　１／　［ｋφＲ、Ｃ
、１ｎＶＯ−ＶＴＬ）ニヨッテ求ｔ！、）、ＳＶＯ−Ｖ
ＴＨ Ｗ２のみを閉成せしめたときの発振周波数ｆＯ（ｆ　Ｏ
＝　ｌ　／　（ｋ　１１　ＲＩＩ　ＣＯ・　見　ｎ　Ｖ
Ｏ−ＶＴＬ）　に０−ＶＴＨ よって求まる。）をマイクロコンピュータ９によってカ
ウントさせ然る後にｆＨＩ！：ｆＯとの比をとッテ前記
ＶＴＨ，ＶＴＬ、ＶＯ，に、Ｒを消去させ、Ｃｏ／Ｃの
値のみで前記発振周波数ｆの値を決定することによって
、より高精度な湿度測定値データを得ることができた。

前述した基準容量素子Ｃｏ１１は、その温度変化等のｒ
＃響による静電容量値の変動が、前記ＶＴＩ（、ＶＴＬ
、ＶＯｌＲ，に等の特性値変動に比較して殆んど無視で
きるほど小さいので、前記ｒｆの値即ちｆ　ｈ　／　ｆ
　。

の値を求めることによって前記ＶＴＨ，ＶＴＬ。

ｖＯ５Ｉｔ、に等の値をキャンセルせしめて前記ｒｆの
値が湿度検知素子５の静電容量の値Ｃの可変のみによっ
て決まるようにすることで、より高精度な湿度測定が行
なえるようにしたものである。

なお、前述したＳＷｌ、ＳＷ２には、通常のアナログス
イッチ又は３ステートバツフア等が使用されている。

第５図は、本発明の第３の実施例に従う電子湿度計を示
す０本発明の第３の実施例に従う電子湿度計の概要は、
第５図を参照してＩＪＩらかなように、前記第４図にて
図示した回路構成の方形波パルス発振器ｌにおいて、前
記ケーブル２１を介して前記インバータ素子７の入力側
に接続されている湿度検知素子５に対して該湿度検知素
子５の静電容量の値Ｃとの間で合成容量Ｃ′を形成する
前記湿度検知素子５の定常状態における静電容量の値Ｃ
よりも大きな静電容量の値Ｃ１を持った第１の保護容量
素子即ちコンデンサＣｔを直列になるように前記ケーブ
ル２１に接続するとともに、前記湿度検知素子５と前記
コンデンサＣｔとが直列接続されて前記ケーブル２１に
形成される前記合Ｃ″（Ｃ″＝Ｃ”＋Ｃ２）を形成する
前記湿度検知素子５の定常状態における静電容量の値Ｃ
よりも小さな静電容量の値Ｃ２を持った第２の保護容量
素子即ちコンデンサＣ２を並列になるように前記ケーブ
ル２１に接続し、前記湿度検知素子５、コンデンサＣＩ
、コンデンサＣ２の合成容量Ｃ＃の上限値については前
記コンデンサＣ１の静電容量値ＣＩと前記コンデンサＣ
２の静電容量値Ｃ２との和分値ＣＩ＋Ｃ２未満になるよ
うに規制し、前記湿度検知素子５、コンデンサＣＩ、コ
ンデンサＣ２の合成容量Ｃ″の下限値については前記コ
ンデンサＣ２の静電容量値０２以下にならないように規
制したものである。方形波パルス発振器１を、前述した
ような構成とした理由は、大気中の湿度変化に応じて可
変する前記湿度検知素子５の静電容量値Ｃの可変範囲が
予め設定されている一定ｆ１以上或いは一定値以下にな
らないように規制することによって、方形波パルス発振
器ｌからマイクロコンピュータ９に対して該マイクロコ
ンピュータ９のメモリに記憶されている一定の範囲を持
った発振周波数データよりも高い周波数の方形波パルス
信号が出力されたり或いは前記発振周波数データよりも
低い周波数の方形波パルス信号が出力されたりするよう
なことのないようにするためである。なお、仮りに上記
発振周波数の設定範囲外の周波数の方形波パルス信号が
前記方形波パルス発振器ｌから出力されたような場合に
は、ＣＰＵは表示部（図示しない）に対してオーバーフ
ロー或いはアンダーフローの表示をするよう指令出力す
るようになっている０本実施例においては、前記湿度検
知素子５の静電容量の値Ｃの可変：ＲＡ囲を一定範囲内
に規ル１するために、前述したごとく湿度検知素子５の
定常状態における静電容量の（ｌｉ’ｉ　Ｃよりも大き
な静電台ｒｉｃ１を持ったコンデンサＣＩを該湿度検知
素子５と直列になるように前記ケーブル２１に接続し、
前記湿度検知素子５の静電容量値Ｃよりも小さな静電容
量値Ｃ２を持ったコンデンサＣ２を前記湿度検知素子５
とコンデンサＣ１との直列体に対して並列になるように
＋ｉｊ記ケーブル２１に接続することによって、前記湿
度検知素子５とコンデンサＣＩとの直列体の合成界ｒｊ
ｋｃ’がコンデンサＣ１の静電台１ｃＩよりも大きくな
らないことを利用して前記湿度検知素子５、コンデンサ
Ｃ１，コンデンサＣ２によって形成される合成容量Ｃ″
の値を、前記湿度検知素子５の静電容量の＆ｉＣが増大
した際にはＣ″くＣ′＋Ｃ２に規制せしめ、又、一方前
記湿度検知素子５の静電容ｆｉｔ値Ｃが減少して前記Ｃ
′が非常に小さくなった際には、前記Ｃ″をＣ”　＞　
Ｃ２に規制せしめることとしたものである。

第６図は、本発明の第４の実施例に従う電子湿度計を示
す０本発明の第４の実施例に従う電子湿度計の概要は、
第６図を参照して明らかなように、インバータ素子７と
、該インバータ素子７に接続された大気中の湿度変化に
応じて静電容量の値が可変する湿度検知素子５と前記イ
ンバータ素え、前記湿度検知素子５の静電容量の値の可
変に応じた方形波パルス信号を出力する携行可能に構成
された方形波パルス発振器ｌと、与えられた方形波パル
ス信号の周波数を計数し、該計数結果に基づいて大気中
の湿度４Ｎを求めるマイクロコンピュータ９と、前記方
形波パルス発振器ｌが前記マイクロコンピュータ９とは
ａｌｌ！ＩＩした所望の空調対象空間にても湿度検知が
可能なように前記方形波パルス発振器１と前記マイクロ
コンピュータ９とを接続している所定の延長を持ったケ
ーブル２３とを有するものである。

本発明に従う第４の実施例を、上述したような構成とし
たのは以下の理由によるものである。即ち、本発明者等
が前記第１図にて図示した構成の電子湿度計を用いて実
験を行なった所、湿度検知素子５とインバータ素子７．
抵抗素子３とを接続しているケーブル２１を伝送する信
号が、湿度検知素子５における静電容量の値や抵抗素子
３の抵抗（ｉを反映したアナログ信号となるため、ケー
ブル延長の長短によって容量が可変してしまい（ケーブ
ル長１ｍ単位で約１００９Ｆ程度）、よって発振周波数
もそれに応じて可変するので湿度検知の精度が低下する
という事実を見出した。

そこで１本発明者等は上述したごとき事実に鑑みて０、
電子湿度計を前記第６図にて図示するように湿度検知素
子５、インバータ素子７、抵抗素子３を１個の携行可能
なユニットにした方形波パルス発振器ｌとし、該方形波
パルス発振器ｌと前記マイクロコンピュータ９との間を
所定の延長を持ったケーブル２３で接続した構成の電子
湿度計を用いて実験を行なった。即ち前記方形波パルス
発振器ｌから出力される検知信号がディジタル信号であ
るために、実際に該信号がケーブル２３を伝送して前記
マイクロコンピュータ９の入力部に到達したときの信号
波形を観測した結果、波形整形が容易に行なえ誤信号と
なることのない程度の波形なまりしか生じておらず、前
述したケーブル２３の容量可変の影響を殆ど受けていな
いことが明らかとなったものである。なお、上述した末
完Ｉｌｌの第４の実施例に従う電子湿度計の詳細につい
ては、前記第１図にて図示した本発明に従う第１の実施
例の内容と略同−であるので、その説明は省略する。

第７図は、本発明の第５の実施例に従う電子湿度計を示
し、ｔ５８図は、本発明の第６の実施例に従う電子湿度
計を示す０本発明の第５の実施例に従う電子湿度計は、
前述したケーブルの接続箇所が相違しているだけで他の
構成は前記第４図にて示した本発明の第２の実施例と同
一であり、又、本発明の第６の実施例に従う電子湿度計
についても、前述したケーブルの接続箇所が相違してい
るだけで他のＪ＃成は前記ｔｊＳ５図にて示した本発明
の第３の実施例と同一であるので、これら第５、第６の
実施例の説１５１は省略する。

なお１本発明の上記各実施例に従う電子湿度計では、湿
度検知素子５はインバータ素子７の入力側に接続し、抵
抗素子３を前記インバータ素子７の帰還回路側に接続す
ることとしたが、湿度検知素子５を前記インバータ素子
７の帰還回路側に接続し、又、抵抗素子３を前記インバ
ータ素子７の入力側に接続することとしても差支えない
。

先乱立差課 以上説明したように、本発明によれば、空調対象空間と
は離間した箇所にてこれら空調対象空間における空調を
集中的にコントロールしている自動空調コントロールシ
ステムに対しての適用が容易である等、その用途範囲を
大幅に拡大することができ１回路構成を簡単化すること
によって部品点数を減少せしめて低コスト化を図ること
ができ、更にはより高精度な測定データを得ることが可
能な電子湿度計を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は１本発明の第１の実施例に従う電子湿度計の回
路構成図である。 第２図は、前記第１図にて図示した電子湿度計に使用さ
れている湿度検知素子の湿度−静電容量値特性図である
。 第３図は、前記第１図にて図示した電子湿度計に使用さ
れている湿度検′ｊＢ素子の吸脱湿応答特性を示す特性
図である。 第４図は１本発明の第２の実施例に従う電子湿度計の回
路構成図である。 第５図は１本発明の第３の実施例に従う電子湿度計の回
路構成図である。 第６図は、本発明の第４の実施例に従う電子湿度計の回
路構成図である。 第７図は、本発明の第５の実施例に従う電子湿度計の回
路構成図である。 第８図は、本発明の第６の実施例に従う電子湿度計の回
路構成図である。 ｌ：方形波パルス信号発振器 ３：抵抗素子 ５：湿度検知素子 ７：インバータ素子 ９：マイクロコンピュータ ２１．２３：ケーブル 代理人　弁理士　　倉　橘　　　暎−・、・２代理人　
弁理士　　宮　川　長　夫 １、　１ し−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）方形波パルス信号発生器と携行可能に構成され大気
   中の湿度変化に応じて静電容量の値が可変する湿度検知
   素子と該湿度検知素子が前記方形波パルス信号発生器と
   は離間した所望の測定対象空間にても湿度検知が可能な
   ように該湿度検知素子と前記方形波パルス信号発生器と
   を接続している所定の延長を持った信号伝送線路と前記
   方形波パルス信号発生器に接続され前記湿度検知素子の
   静電容量の値との間でＣＲ時定数回路を形成する抵抗素
   子とを備え、前記湿度検知素子の静電容量の値の可変に
   応じた方形波パルス信号を出力する発振手段と、前記発
   振手段から出力された方形波パルス信号の周波数を計数
   し、該計数結果に基づいて大気中の湿度値を求めるディ
   ジタル演算処理手段とを有することを特徴とする電子湿
   度計。 ２）前記湿度検知素子は、前記信号伝送線路を介して前
   記方形波パルス信号発生器の入力側に接続されていると
   ともに、前記抵抗素子は、前記方形波パルス信号発生器
   の帰還回路に接続されていることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項記載の電子湿度計。 ３）前記方形波パルス信号発生器は、インバータ素子で
   あることを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項
   に記載の電子湿度計。 ４）前記インバータ素子は、Ｃ−ＭＯＳシュミツトイン
   バータであることを特徴とする特許請求の範囲第３項記
   載の電子湿度計。 ５）前記信号伝送線路を介して前記方形波パルス信号発
   生器の入力側に接続されている湿度検知素子に対して基
   準容量素子を並列接続し、前記信号伝送線路を介して接
   続されている前記湿度検知素子側を開／閉する第１のス
   イッチング手段と前記基準容量素子側を開／閉する第２
   のスイッチング手段とを設け、前記ディジタル演算処理
   手段により、前記湿度検知素子の静電容量の値と前記基
   準容量素子の静電容量の値との比に対応する前記第１の
   スイッチング手段のみが閉成されたときの前記発振手段
   から出力される方形波パルス信号の発振周波数と前記第
   ２のスイッチング手段のみが閉成されたときの前記発振
   手段から出力される方形波パルス信号の発振周波数との
   比を演算し、該演算結果に基づいて大気中の湿度値を求
   めるようにしたことを特徴とする特許請求の範囲第１項
   〜第４項のいずれかの項に記載の電子湿度計。 ６）前記信号伝送線路を介して前記方形波パルス信号発
   生器の入力側に接続されている湿度検知素子に対して該
   湿度検知素子の静電容量との間で合成容量を形成する前
   記湿度検知素子の定常状態における静電容量の値よりも
   大きな静電容量の値を持った第１の保護容量素子を直列
   になるように前記信号伝送線路に接続するとともに、前
   記湿度検知素子と前記第１の保護容量素子とが直列接続
   されて前記信号伝送線路に形成される合成容量に対して
   該合成容量との間で更に合成容量を形成する前記湿度検
   知素子の定常状態における静電容量の値よりも小さな静
   電容量の値を持った第２の保護容量素子を並列になるよ
   うに前記信号伝送線路に接続し、前記全ての素子の合成
   容量の上限値については前記第１の保護容量素子の静電
   容量値と前記第２の保護容量素子の静電容量値との和分
   値未満になるように規制し、前記全ての素子の合成容量
   の下限値については前記第２の保護容量素子の静電容量
   値以下にならないように規制したことを特徴とする特許
   請求の範囲第５項記載の電子湿度計。 ７）方形波パルス信号発生器と該方形波パルス信号発生
   器に接続された大気中の湿度変化に応じて静電容量の値
   が可変する湿度検知素子と前記方形波パルス信号発生器
   に接続され前記湿度検知素子の静電容量の値との間でＣ
   Ｒ時定数回路を形成する抵抗素子とを備え、前記湿度検
   知素子の静電容量の値の可変に応じた方形波パルス信号
   を出力する携行可能に構成された発振手段と、与えられ
   た方形波パルス信号の周波数を計数し、該計数結果に基
   づいて大気中の湿度値を求めるディジタル演算処理手段
   と、前記発振手段が前記ディジタル演算処理手段とは離
   間した所望の測定対象空間にても湿度検知が可能なよう
   に前記発振手段と前記ディジタル演算処理手段とを接続
   している所定の延長を持った信号伝送線路とを有するこ
   とを特徴とする電子湿度計。 ８）前記湿度検知素子は、前記方形波パルス信号発生器
   の入力側に接続されているとともに、前記抵抗素子は、
   前記方形波パルス信号発生器の帰還回路に接続されてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第７項記載の電子湿
   度計。 ９）前記方形波パルス信号発生器は、インバータ素子で
   あることを特徴とする特許請求の範囲第７項又は第８項
   に記載の電子湿度計。 １０）前記インバータ素子は、Ｃ−ＭＯＳシュミツトイ
   ンバータであることを特徴とする特許請求の範囲第９項
   記載の電子湿度計。 １１）前記方形波パルス信号発生器の入力側に接続され
   ている湿度検知素子に対して基準容量素子を並列接続し
   、前記湿度検知素子側を開／閉する第１のスイッチング
   手段と前記基準容量素子側を開／閉する第２のスイッチ
   ング手段とを設け、前記ディジタル演算処理手段により
   、前記湿度検知素子の静電容量の値と前記基準容量素子
   の静電容量の値との比に対応する前記第１のスイッチン
   グ手段のみが閉成されたときの前記発振手段から出力さ
   れる方形波パルス信号の発振周波数と前記第２のスイッ
   チング手段のみが閉成されたときの前記発振手段から出
   力される方形波パルス信号の発振周波数との比を演算し
   、該演算結果に基づいて大気中の湿度値を求めるように
   したことを特徴とする特許請求の範囲第７項〜第１０項
   のいずれかの項に記載の電子湿度計。 １２）前記方形波パルス信号発生器の入力側に接続され
   ている湿度検知素子に対して該湿度検知素子の静電容量
   との間で合成容量を形成する前記湿度検知素子の定常状
   態における静電容量の値よりも大きな静電容量の値を持
   った第１の保護容量素子を直列接続するとともに、前記
   湿度検知素子と前記第１の保護容量素子とが直列接続さ
   れて形成される合成容量に対して該合成容量との間で更
   に合成容量を形成する前記湿度検知素子の定常状態にお
   ける静電容量の値よりも小さな静電容量の値を持った第
   ２の保護容量素子を並列接続し、前記全ての素子の合成
   容量の上限値については前記第１の保護容量素子の静電
   容量値と前記第２の保護容量素子の静電容量値との和分
   値未満になるように規制し、前記全ての素子の合成容量
   の下限値については前記第２の保護容量素子の静電容量
   値以下にならないように規制したことを特徴とする特許
   請求の範囲第１１項記載の電子湿度計。