JPS63149538A - 顕微鏡検査用試料及びその作製法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分骨 本発明は、顕微鏡下の試験に供される試料特にプリント
配線板又はカードの試料に関する。これらの試料は被覆
された孔を有する板の型を取っている。又、本発明はこ
れらの試料の作成方法を目的とする。

従来の技術 プリント配線板、さらに詳しくは、これらの孔の壁を被
覆する金属の厚さの検査は、顕微鏡下で、検査する孔の
直径を通過する断面を試験することで行なわれる。従っ
て、該断面は鎖孔の軸を正確に通過させろ必要がある。

１９８５年４月付の雑誌’　５ｔｒｕｃｔｕｒｅ　１０
　、５ｔｒｕｅｒｓ　Ｎｏｕｖｅａｕｔｓ’ｓ　Ｍｅｔ
ａｌｌ−ｏｇｒａｐｈｉｑｕｅｓ　’の第４図には、極
めて大きな正確さが要求されることが数学的に示されて
おり、そして、予め配線板に複数の参照孔を開け、その
中に２本の俸を挿入し、該棒によって配線板を型の上方
に吊し、原型を該棒の下方の高さまで埋め込み樹脂で満
たし、該配線板を支持して顕微鏡下に供するために使用
される樹脂を硬化ぢせ、埋め込まれた試料を型から取り
はずし、俸を取りはずし、予研磨即ち削った後孔まで試
料を磨くことから成る試料の作成方法によってこれを実
施することが提案されている。

発明が解決しようとする問題点 この方法を成功させるＫは、他に用途のない参照孔の位
置及び直径に高い精度が要求され、且つ１、参照レベル
を形成する特別のフラスコ型枠を必要とする。この位置
決めを行なう棒の公差は、試料が型枠に適切に支持され
るよ５１Ｃするためには極めて小さなものでなければな
らない。また、該棒を埋め込み後に取り除くことは大変
難しく１そのために１体除去機′という特別の装置を設
計する必要があった。しかし、この方法は、器具に関す
るこれらの問題だけでなく、もう一つの欠点を備えてい
る。即ち、作業者が作業が正確に行なわれたかを知る方
法が全くないということである。作業者の能力と装置を
同時に盲目的に信じ切るしかないのである。かくして、
作業者は試料の作製が正しくないという理由だけで良い
配線板を廃棄することもあるし、配線板が欠陥を有する
時に良好と信じることはほとんどないにしても断面が不
完全であると信じることがあった。

本発明は、迅速でしかも従来の方法よりも信頼性あるよ
り単純な方法で作製された試料を使用することで上述の
欠点をなくすものである。特に、作業者は、試料が正し
く作製されたこと、特に顕微鏡下の検査に供されるべき
断面が不完全であることを肉眼で即座に見分けることが
可能となる。

問題点を解決するための手段 即ち、本発明は、顕微鏡下の試験に供される試料であつ
−〔、被稔された孔を備え且つ＠脂中に埋め込まれた板
を包含する試料を提供することを目的とする。不発明に
よれば、検査器具も樹脂部分に埋め込１れ、又、該検査
器具の棒は上記孔の直径よりもわずかに小さな直径を有
し、註孔の中へ挿入される。

作業者は、断面を見れば俸が孔の全軸方向長さに沿って
存在しているかどうかを即座に知ることができる。もし
そうでない場合は、断面が試料の対称軸に対して垂直で
ないことＫなる。即ち、不完全一であるため、新しい試
料を作製することが必要となる。

この重要な開発に従えば、検査器具は、棒の直径よりも
大きな匝径ｔ！：有し且つ俸と同じ長手軸を有する円筒
ヘッドを有する。この場合、作業者は棒のｆｒ面のみな
らずヘッドの断面も見ることになる。仮に断面が方形で
なく不等辺四辺形であれば、試料は上記と同様の理由か
ら正しく作製されなかったことになる。仮に１幅、即ち
、ヘッドの断面の棒の軸に対し垂直方向の寸法がヘッド
の最初の直径よりも小さい場合、断面は要求の面に平行
しているので、他の試料を作製する必要があることにな
る。

本発明の最も好ましい具体例によれば、検査器具のヘッ
ドは、棒と反対側の少なくとも端の部分において円錘形
に形成される。そうすると、ヘッドの断面寸法を比較検
査する必要がなくなり、ヘッドの断面形状のみ比較検査
するだけでよい。仮に円錐体の頂点の角が断面に表われ
ていなければ、その断面は正しいものではないことにな
る。

このように、試料と同時に埋め込まれ研磨さ−れる使い
捨ての検査器具によって作業を検査することが可能とな
る。

この検査を完全にするために、２個の検査器具を２個の
隣接する孔に、好ましくは各ヘッドを板の同じ側に向け
て挿入することが推奨される。この２つのヘッドの断面
が同一の寸法を有すること、及び／又は、該円錐部の頂
点が２つとも表われることが必要である。仮にそうでな
い場合は、断面は対称軸に対して垂直でないことになり
、他の試料を作製することが必要である。

又、本発明は、上記試料の作製方法を提供することを目
的とし、該方法は、対称軸を有する型枠の中にカードを
孔の軸が水平となるようにして置き、該型枠を樹脂で満
たし、埋め込まれた試料を得るために該樹脂を硬化させ
、上記対称軸に垂直で上記孔の直径を通過する平面まで
研磨することから成る方法において、上記板を型枠に置
く前に、孔の直径よりもわずかに小さい直径の有する棒
を備え且つ鎖体と同一の軸を有ししかも銀棒の直径より
も大きな直径を有するヘッドを備えた検査器具の棒を鎖
孔へ挿入することを特徴とする方法である。

２個の検査器具を互いに反対向きに２つの孔に挿入する
と、２つの同一の直径の検査器具のヘッドによって板が
型枠の底に確実に水平に支持される０ ２個の検査器具を同一の向きに挿入すると、誤った断面
を正しいと判断してしまう可能性が全くなくなる。

この検査器具は、好都合には、真ちゅう又は棒の直径に
よって各種に色付けされた染色アルミ塊で作られる。こ
のようにすると、各種の孔に適用された検査器具が見分
は易くなる。

数個の板を同じ検査器具Ｋｑ９つければ、これらを一度
に検査することが可能となる。

埋め込み用樹脂は透明の樹脂、特にメタクリル樹脂であ
ることが好ましい。

実施例 以下、本発明の詳細な説明するが、本発明を同等限定す
るものではない。

第１図において、板１及び２は同時に検査される。各カ
ードは１１個の孔３を有し、その内壁は金属被覆されて
いる。検査器具が３　ＩＩＩの孔３に挿入されている。

各検査器具には俸４が形成されており、鎖体４の直径は
、番孔３が正しい厚さだけ金４被覆された後に有するで
あろう直径よりもわずかに小ざいものである。鎖体には
ヘッドが延在しており、該ヘッドは孔の直径よりも明ら
かに大きな直径の円筒部５を有し、端部に円錐部６を有
する。全ての検査器具は同一のものである。円筒部５の
半径は孔の中心とカードの縁との間隔よりも大きいため
、板１及び２は検査器具によって完全に垂直に保持され
る。検査器具のうち１個でも孔を貫通しない場合は、そ
の板は廃棄しなければならない。ｍ４と孔３の直径との
間のあそびが大きすぎて板が垂直から傾くような場合も
、その板を廃棄しなければならない。

この方法の第２の段階は、第１図に従って認識される組
立体を水平な型枠７の底に置くことから成る。該型枠は
対称軸Ｘ　ｇ　Ｘ’、特に回転軸を有する。該型枠を埋
め込み用樹脂で満たす。該樹脂は透明であっても透明で
なくともよい。該樹脂を硬化させて埋め込み試料を得る
。該試料を型枠から取り除く。

本発明の方法の最終段階は、対称軸ｘ　、　ｘ’に垂直
で孔の直径を通過する平面まで該埋め込み試料を研摩す
ることから成る。そして、第３図に示すような顕微鎖試
験が可能な試料を得る。

第５図では、断面は正しいものではない。俸が孔に現わ
れていない。又、円筒部５の寸法は本来のものよりもか
なり小さい。又、円錐体６の頂点がない。

第６図では、やはり断面は正しくない。円筒部５は必要
な寸法を有していない。とりわけ、円錐体６の頂点が現
われているとは言えない。

第７図では、断面は良好である。

断面が不完全である場合は、断面が検査器具の１個の軸
を通過していたとしても第２の検査器具の軸は通過して
いないため、検査器具のうちの１つＫよって該平面が正
しくないことが示されるか、又は、俸が切頭形になるこ
とによって該平面が正しくないことが示されるものと理
解できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の方法の第１段階を示す斜視図であり、
第２図は型枠中に埋め込まれた試料を型の前壁を取り除
いた状態で示す図であり、第３図は孔の直径を通過する
平面１で研磨した試料を示す図であり、第４図は第５乃
至７図に対応する３つの断面を示してなる検査器具の図
であり、第５乃至７図は第４図に示す各平面まで研溶し
た試料の断面図である。 尚、図面中、 １．２・・・配線板、３・・・孔、・１・・・俸、５・
・・円筒部、６・・・円睡部、７・・・型枠、８・・・
樹脂である。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）被覆された孔（３）を有し且つ樹脂部（８）に埋
   め込まれた板（１）を備えてなる顕微鏡検査用試料であ
   つて、該孔（３）の直径よりもわずかに小さい直径を有
   する円筒棒（４）を備えた検査器具が該孔に挿入されて
   該樹脂部に埋め込まれていることを特徴とする顕微鏡検
   査用試料。
2. （２）検査器具が、棒（４）の直径よりも大きい直径を
   有し且つ棒（４）と同一の長手方向軸を有する円筒ヘッ
   ド（５）を備えてなることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項に記載の試料。
3. （３）検査器具の少なくとも棒と反対側の端部（６）が
   円錘形であることを特徴とする特許請求の範囲第１又は
   ２項に記載の試料。
4. （４）板が少なくとも２つの孔を有し、２個の検査器具
   が、板の各側に各ヘッドが向くように２つの孔に挿入さ
   れ且つ樹脂部に埋め込まれていることを特徴とする特許
   請求の範囲第１又は３項に記載の試料。
5. （５）板が少なくとも２つの孔を有し、２個の検査器具
   が、板の同じ側にそのヘッドが向くように２つの孔に挿
   入されていることを特徴とする特許請求の範囲第１乃至
   ３項の何れか１項に記載の試料。
6. （６）２個の検査器具の両軸が規定する平面まで切除さ
   れていることを特徴とする特許請求の範囲第４又は５項
   に記載の試料。
7. （７）被覆された孔（３）を有する板（１）を、孔（３
   ）の軸が水平になるようにして対称軸を有する型枠（７
   ）の中に置き、該型枠（７）を埋め込み用樹脂（８）で
   満たし、該樹脂（８）を硬化させて埋め込み試料を得、
   上記対称軸に垂直で上記孔の直径を通過する平面まで該
   埋込み試料を研磨してなる方法において、上記板（１）
   を上記型枠（７）の中に置く前に、上記孔（３）の直径
   よりもわずかに小さい直径の棒（４）を備え且つ該棒（
   ４）と同一の軸を有ししかも該棒（４）よりも大きな直
   径を有するヘッド（５）を備えた検査器具の該棒（４）
   を上記孔（３）に恒久的に挿入することを特徴とする顕
   微鏡検査用試料作製方法。
8. （８）少なくとも２個の検査器具を同一方向に少なくと
   も２つの孔（３）に挿入することを特徴とする特許請求
   の範囲第６項に記載の方法。
9. （９）少なくとも２個の検査器具を反対方向に少なくと
   も２つの孔（３）に挿入することを特徴とする特許請求
   の範囲第６又は７項に記載の方法。