JPS63145610U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63145610U JPS63145610U JP3968587U JP3968587U JPS63145610U JP S63145610 U JPS63145610 U JP S63145610U JP 3968587 U JP3968587 U JP 3968587U JP 3968587 U JP3968587 U JP 3968587U JP S63145610 U JPS63145610 U JP S63145610U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- break
- view
- break table
- degrees
- intervals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
第1図および第2図はこの考案の一実施例によ
るブレーク台の平面図および断面正面図、第3図
および第4図は従来のブレーク台の平面図および
断面正面図、第5図および第6図はウエハマウン
ターの正面断面図および平面図である。 図において、11…ブレーク台、12…ブレー
クピン、13…真空吸引するための吸着穴。図中
、同一符号は同一または相当部分を示す。
るブレーク台の平面図および断面正面図、第3図
および第4図は従来のブレーク台の平面図および
断面正面図、第5図および第6図はウエハマウン
ターの正面断面図および平面図である。 図において、11…ブレーク台、12…ブレー
クピン、13…真空吸引するための吸着穴。図中
、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (1)
- 表面非接触型のウエハマウンターのブレーク台
に於いて、ブレークピンをブレーク台の周りに互
いに90度の間隔で少なくとも4個突設させたこ
とを特徴とするウエハマウンターのブレーク台。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3968587U JPS63145610U (ja) | 1987-03-17 | 1987-03-17 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3968587U JPS63145610U (ja) | 1987-03-17 | 1987-03-17 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63145610U true JPS63145610U (ja) | 1988-09-26 |
Family
ID=30853086
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3968587U Pending JPS63145610U (ja) | 1987-03-17 | 1987-03-17 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63145610U (ja) |
-
1987
- 1987-03-17 JP JP3968587U patent/JPS63145610U/ja active Pending