JPH01110436U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01110436U JPH01110436U JP652188U JP652188U JPH01110436U JP H01110436 U JPH01110436 U JP H01110436U JP 652188 U JP652188 U JP 652188U JP 652188 U JP652188 U JP 652188U JP H01110436 U JPH01110436 U JP H01110436U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- main body
- positioning pins
- wafer holder
- screwed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１〜４図は本考案の実施例を示し、第１図は
平面図、第２図は正面図、第３図と第４図はそれ
ぞれ押え具の異なつた位置の拡大断面図、第５図
は押え具の別実施例の断面図、第６〜７図は従来
例を示し、第６図は平面図、第７図は一部の拡大
断面図である。 １：本体、２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ：位置決め
ピン、４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ：ねじ孔。
平面図、第２図は正面図、第３図と第４図はそれ
ぞれ押え具の異なつた位置の拡大断面図、第５図
は押え具の別実施例の断面図、第６〜７図は従来
例を示し、第６図は平面図、第７図は一部の拡大
断面図である。 １：本体、２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ：位置決め
ピン、４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ：ねじ孔。
Claims (1)
- 板状の本体の片面に、半導体ウエーハの周縁を
支持する複数の位置決めピンが突設された半導体
ウエーハ用ホルダにおいて、前記各位置決めピン
の全部または一部の端部にねじが設けられ、かつ
これらの各位置決めピンがねじ込まれるねじ孔が
、本体の中心部から離れる方向に間隔をおいて複
数ずつ設けられたことを特徴とする半導体ウエー
ハ用ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP652188U JPH01110436U (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP652188U JPH01110436U (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01110436U true JPH01110436U (ja) | 1989-07-26 |
Family
ID=31210771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP652188U Pending JPH01110436U (ja) | 1988-01-20 | 1988-01-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01110436U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200466097Y1 (ko) * | 2010-05-24 | 2013-04-03 | 엠피아이 코포레이션 | 웨이퍼 링 홀더 |
-
1988
- 1988-01-20 JP JP652188U patent/JPH01110436U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200466097Y1 (ko) * | 2010-05-24 | 2013-04-03 | 엠피아이 코포레이션 | 웨이퍼 링 홀더 |