JPS63144946U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63144946U JPS63144946U JP3815987U JP3815987U JPS63144946U JP S63144946 U JPS63144946 U JP S63144946U JP 3815987 U JP3815987 U JP 3815987U JP 3815987 U JP3815987 U JP 3815987U JP S63144946 U JPS63144946 U JP S63144946U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- wafer
- delivery member
- pulley
- reciprocates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第1図は、この考案に係るウエハ供給装置の一
実施例を示す断面図、第2図はその使用状態を示
す概略図である。 1……ウエハ送出し部材、2……板バネ製シヤ
フト、3……プーリ、4……機枠、5……スライ
ド用ブロツク、6……エアシリンダ。
実施例を示す断面図、第2図はその使用状態を示
す概略図である。 1……ウエハ送出し部材、2……板バネ製シヤ
フト、3……プーリ、4……機枠、5……スライ
ド用ブロツク、6……エアシリンダ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 1 ほぼ水平に往復運動するウエハの送出し部材
と、この送出し部材を先端に装着してこれを作動
させる、断面が円弧状の板バネ製の可撓性のある
シヤフトと、このシヤフトの移動経路内に取付け
られた、シヤフトの作動方向の転換機構とを有す
ることを特徴とするウエハ供給装置。 2 転換機構がプーリからなる実用新案登録請求
の範囲第1項記載のウエハ供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987038159U JPH066115Y2 (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 | ウエハ供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987038159U JPH066115Y2 (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 | ウエハ供給装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63144946U true JPS63144946U (ja) | 1988-09-26 |
JPH066115Y2 JPH066115Y2 (ja) | 1994-02-16 |
Family
ID=30850143
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987038159U Expired - Lifetime JPH066115Y2 (ja) | 1987-03-16 | 1987-03-16 | ウエハ供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH066115Y2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0331139U (ja) * | 1989-08-03 | 1991-03-26 | ||
JP2009238962A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Japan Science & Technology Agency | 真空搬送機構及びそれを備えたマルチチャンバシステム |
WO2014003029A1 (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-03 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | ワーク押出装置およびそれを備えるワーク供給装置 |
-
1987
- 1987-03-16 JP JP1987038159U patent/JPH066115Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0331139U (ja) * | 1989-08-03 | 1991-03-26 | ||
JP2009238962A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Japan Science & Technology Agency | 真空搬送機構及びそれを備えたマルチチャンバシステム |
WO2014003029A1 (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-03 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | ワーク押出装置およびそれを備えるワーク供給装置 |
JP2014008567A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Musashi Eng Co Ltd | ワーク押出装置およびそれを備えるワーク供給装置 |
CN104395037A (zh) * | 2012-06-29 | 2015-03-04 | 武藏工业株式会社 | 工件挤出装置及具备其的工件供给装置 |
TWI566320B (zh) * | 2012-06-29 | 2017-01-11 | Musashi Engineering Inc | A workpiece ejecting device and a workpiece supplying device provided with the workpiece |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH066115Y2 (ja) | 1994-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NO881595D0 (no) | Drivanordning for en dobbeltbelg-utleveringsenhet. | |
JPS63144946U (ja) | ||
JPS6442888U (ja) | ||
JPS6247383U (ja) | ||
JPS6052209U (ja) | 包材供給装置 | |
JPS6171457U (ja) | ||
JPS6370554U (ja) | ||
JPH0379959U (ja) | ||
JPS5945084U (ja) | ミシンの針棒変換装置 | |
JPS626930U (ja) | ||
JPH02115437U (ja) | ||
JPS6228535U (ja) | ||
JPS61206460U (ja) | ||
JPS6435799U (ja) | ||
JPS6211599U (ja) | ||
JPH0294843U (ja) | ||
JPS6287859U (ja) | ||
JPS6276976U (ja) | ||
JPS62200647U (ja) | ||
JPH0411645U (ja) | ||
JPH0339556U (ja) | ||
JPH0355257U (ja) | ||
JPH0313479U (ja) | ||
JPH01106228U (ja) | ||
JPS6223680U (ja) |