JPS63144317A - 補正装置を備えた顕微鏡対物レンズ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、検査されるべき対象物と対物レンズとの間に
例えば特殊な室の締切り仮や液体容器の底板などの任意
の厚さの面平行な透明な板部材が存在するようなところ
で、比較的アパーチャの小さな一連の対物レンズのセッ
トの中で中間的な、及び比較的大きなアパーチャ（約０
４　以下）の顕微鏡対物レンズとして有利に利用するこ
とができる。

［従来の技術］ 或る一連の対物レンズのセットのうちの、顕微鏡対物レ
ンズの交換可能性についでの要件の一つは、例えば４５
　ｎ＋ｎ＋　　と言うような調整距離が一定しているこ
とである。この調整距離は物体面から対物レンズ設定面
までの距離として定義される。

アパーチャの小さな対物レンズは、規格化された０、１
７ｍｍ　　のデツキガラスの厚さに僅かな偏差が現われ
たときに結像の品質に関して敏感ではない。

大きなアパーチャの場合には上記したデツキガラスの厚
さの非常に僅かな偏差が既に、それによって生ずる開口
誤差に基づいてその結像品質に不都合な影響をもたらす
。従って最も大きなアパーチャ（０９ないし０．９５）
　　の乾式対物レンズはカバーされている試料のために
或る補正用枠を有しており、これがその用いた実際のデ
ツキガラスの厚さに対する調節を可能とし、そして開口
誤差を補償する。実際のデツキガラスの厚さが薄過ぎた
り、又は厚過ぎたりした場合に現われる球面的な過小補
正又は過大補正は殆んどの場合にその対物レンズの光字
系の前側部分と後側部分との間の距離を変化させること
によって補償されており、これは機械的に或る補ＩＬ用
リングを回転することによって行なわれる。このような
補正用枠を備えた対物レンズはデツキガラスの厚さの、
およそのオーダーで　１００　　分の数ｍｉ程度の変動
しか補償しない。

顕微鏡の幾つかの特定的な場合に物体と対物レンズとの
間に異なった厚さの面平行な透明のプレートが存在して
いて、これらが著しく大きな変動幅（１０分の散ｍｎ＋
ないし数ｍｍｌ、を何する場合があり、これは後焦点合
わせ（Ｎａｃｈｆｏｋｕｓｓｉｅｒｅｎ）によって補償
しなければならず、これが調整距離の変化をもたらす。

゛ト面プレートの厚さに変化が現われた場合には中間的
な、及び比較的大きなアパーチャの対物レンズが既に、
従来の補正用枠を備えた対物レンズと同様に結像収差の
補正を必要とする。これによって同時に後焦点合せが必
要となる。球面収差の補正及び後焦点合わせは十分な結
像品質が得られるまで何度も繰り返さなければならない
（いわゆる試行錯誤法により）。

他の拡大率への移行（対物レンズレボルバの切換え）の
際にはその物空間中にあるプレートの厚さが指定の値か
らずれているときは改めて後焦点合わせする必要がある
。

異なった拡大率の一連の対物レンズのセットはそれらの
レンズが結像収差補正のために従来のもののような補正
用枠を有しており、そしてそのプレートの厚さが指定値
から偏倚しているときは、もはや一定の調整距離を持た
ない。

〔発明が解決しようとする間顕点〕

本発明の目的は、上述のような従来技術の欠点を除くこ
とであり、すなわち結像収差の補正を伴なう中間的な、
及び比較的大きなアパーチャの場合に、物空間内で用い
た下面状プレートの全ての厚さにおいて結像収差の補正
を用いない薄い対物レンズと同じピント面を同時に有し
てそれによりこれら一連の対物レンズが互いに常に補償
された状態を保つような対物レンズを母ることである。

従って本発明の課題は、面平行な異なった厚さの板状部
材をその物空間内で用いた場合に結像収差の補正に加え
て、同時にピント面の補正をも可能とし、それによりそ
の板状部材の全ての厚さについて一連の対物レンズのセ
ットのうちの他の対物レンズに対して補償がなされてい
るような顕微鏡用対物レンズを得ることである。

〔問題点を解決するための手段］ この課題は、可変の空気間隙の像側に後方レンズ群が、
そして物体側に筋力レンズ群が設けられているような、
中でも物空間内の面平行な異なった厚さの板状体のため
の補正装置を備えてこの補正装置を、結像収差補正のた
めの上記空気間隙の変化と同時にピント面の位置の補正
のために全光？系の軸方向スライドが行なわれるように
構成した顕微鏡用対物レンズによって解決される。

〔実施例］ 以下、本発明の内容を添付の図面の参照のもとにさらに
詳細に説明する。

第１ａ図にはアパーチャの小さな対物レンズｌが示され
ているが、このものの調整距離は０．Ｔであり、その際
０１は結像されるべき物点てＴはこの対物レンズの設定
面　（Ａｎｌａｇｅｆｌａｅｃｈｅ）　　の軸上の点で
ある。

第１ｂ図はその物空間内において屈折率η及び厚さｄを
有する面平行な１枚のプレート部材２が用いられている
ところを示しているが、その際対物レンズｌの調整距離
は ４、Ｌニュ η たけ拡大される。

第１ｃ図はアパーチャの比較的大きな対物レンズ３を示
すが、これは前側レンズ群４と後ろ側レンズ群５とから
なり、そしてこれはその物空間内に存在するプレート部
材２の平均厚さについて補正されており、またその調整
距離は従ってこの平均厚さに対して第１図の小さなアパ
ーチャの対物レンズｌの調整距離と一致する。

第１ｄ図では物体と対物レンズ３との間に、より厚いプ
レート部Ｎ２“が挿入されている。本発明によれば、レ
ンズ群４とレンズ群５との間の距離を結像収差の補正の
ために変化させ、そして対物レンズｌ　（プレート部材
２１を用いたとき）と対物レンズ３との間で同じピント
面を維持するために追加的にその全光学系（その部分系
４及び５を一緒に）を軸方向へスライドさせる。

上記両方のスライドを同時に実現する補正装置は任意に
設計されていることができる。その可能な態様の一つを
実施例によって説明する。

本発明に従う顕微鏡対物レンズのレンズ群の数は特に重
要ではなく、本発明にとって本質的なことは一つのレン
ズ群、中でも前側レンズ群が結像収差の補正のためにス
ライド可能であること及びその対物レンズの全てのレン
ズ群が追加的に一緒に軸方向へスライド可能であること
である。

本発明の可能な実施例の一つを第２図の参照のもとに説
明する。

図示の顕微鏡用対物レンズはスライド可能な前側レンズ
６、及びスライド筒８の中に一緒に収容されでいるレン
ズ群７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄを包含している。移動用ね
じを有するスリーブ９が前側レンズ６と固定結合されて
おり、そして同時にスライド筒８が軸方向へスライドで
きるように保持されている。スリーブ９の移動用ねじに
は操作部１０のねじが嵌合しており、この中に案内筒１
３を有するねじが固定されていて、このねじは固定の筒
Ｉ！　と固定結合している調節用リング１４のカム部縁
に当接している。筒ＩＩの中でスライド筒８の結像側の
当接部材をねじ　１２が構成している。

物体側の当接部材はねじ　１３の案内筒のところの部材
１４のカム縁によって構成される。

図示の顕微鏡対物レンズは結像収差補正部材として軸方
向へスライドできる前側レンズ６を有している。このレ
ンズの枠は移動用のねじを有するスリーブ９を介して操
作部１０の回転により他のレンズ群に対して相対的にス
ライド筒８の中で軸方向へスライドされる。操作部■０
のこのような回転に際して本発明によればスライド筒８
も動かされ、従ってその全光学系がスライドされてピン
ト面のずれが補償される。これは固定筒１１の中で軸方
向へスライド可能に且つ方位角的に確保されているスラ
イド筒８が、ばね　１２の弾性力によりねじ　１３を介
して、筒部材１１に固定されている調節用リング１４の
カム縁に当接することによって行なわれる。

操作ｉ？　１０が回転したときにねじ　１３は調節用リ
ング１４の方位角的に設けられたカム縁に接して動き、
スライド筒を位置決めし、また従ってその全光学系を本
発明に従うピント面シフトに応じて位置決めする。

本発明に従う顕微鏡用対物レンズを通常のデツキガラス
又は被覆されていない試料に対して使用する際に、物空
間内で対物レンズの而に面平行なプレート部材を補償部
材として設けるのが有利である。

【図面の簡単な説明】

第１図は種々の対物レンズの配置例を光軸に沿う図式断
面図で示し、第２図は本発明に従う対物レンズの１具体
例を断面図で示す。 ｌ、３．４．５・・・レンズ ２・・・プレート部材 ６・・・１再１１１１ルンズ ７ａ、７ｂ、７ｃ、７ｄ・−・後ろ側レンズ群８・・・
スライド筒　　　９・・・スリーブ■・・・操作部　　
　　　１１・・・固定筒１２・・・ばね　　　　　　１
３・・・ねじ島、′ｆ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 〔１〕可変の空気間隙の像側に後方レンズ群が、そして
   物体側に前方レンズ群が設けられているような、中でも
   物空間内の面平行な異なった厚さの板状体のための補正
   装置を備えた顕微鏡対物レンズにおいて、 結像収差補正のための上記空気間隙の変化と同時にピン
   ト面の位置の補正のために全光学系の軸方向スライドが
   行なわれるようにその補正装置を構成すること を特徴とする、上記対物レンズ。 〔２〕その光学系が２つの可動のレンズ群よりなり、そ
   れらのうち第１のレンズ群（６）は移動用ねじ（９）を
   介して操作部（１０）により第２のレンズ群（７ａ、７
   ｂ、７ｃ、７ｄ）に対して相対的に軸方向へスライド可
   能であり、これら両方のレンズ群は軸方向にスライド可
   能な、方位角的に確保されている或るスライド筒（８）
   の中に存在しており且つ調節リング（１４）のカムの方
   位角方向の輪郭にばね（１２）の弾性力により当接して
   いるねじ部材（１３）によって、上記の同じ操作部（１
   ０）と一緒に固定の筒部材（１１）に対して相対的にス
   ライドされる、特許請求の範囲第１項に従う顕微鏡対物
   レンズ。