JPS6314373Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6314373Y2 JPS6314373Y2 JP712682U JP712682U JPS6314373Y2 JP S6314373 Y2 JPS6314373 Y2 JP S6314373Y2 JP 712682 U JP712682 U JP 712682U JP 712682 U JP712682 U JP 712682U JP S6314373 Y2 JPS6314373 Y2 JP S6314373Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particle beam
- signal
- charged particle
- detector
- detectors
- Prior art date
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- Expired
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 11
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 5
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はダイナミツクレンジの広範な信号に対
して安定な動作をする荷電粒子線検出装置に関す
るものである。
して安定な動作をする荷電粒子線検出装置に関す
るものである。
一般に、電子やイオンの検出には高感度の検出
器が使用されるが、この高感度検出器は入力粒子
線の強度があるレベル以上になると劣化を生じ、
場合によつては焼損することもある。通常検出器
は許容最大入力が指定されており、それ以上の入
力は避けることが好ましい。しかしながら、実際
の粒子線装置ではこの許容値を越えて入力が変化
することがしばしば生じ、高価な検出器を破損し
てしまうことがあつた。このため、入力値に応じ
て動作する安全回路を設け、過度の入力に対して
は検出器の動作を停止させる方策がとられている
が、装置の特性として入力が大きく変化するよう
な場合には入力の増大は何等異常ではなく正しく
検出しなければならないので、前記検出を停止す
るようなやり方は不適当である。
器が使用されるが、この高感度検出器は入力粒子
線の強度があるレベル以上になると劣化を生じ、
場合によつては焼損することもある。通常検出器
は許容最大入力が指定されており、それ以上の入
力は避けることが好ましい。しかしながら、実際
の粒子線装置ではこの許容値を越えて入力が変化
することがしばしば生じ、高価な検出器を破損し
てしまうことがあつた。このため、入力値に応じ
て動作する安全回路を設け、過度の入力に対して
は検出器の動作を停止させる方策がとられている
が、装置の特性として入力が大きく変化するよう
な場合には入力の増大は何等異常ではなく正しく
検出しなければならないので、前記検出を停止す
るようなやり方は不適当である。
而して、本考案は入力が許容値を越えても検出
を停止することなく、広範なダイナミツクレンジ
の信号を検出し得る荷電粒子線検出装置を提供す
るものである。
を停止することなく、広範なダイナミツクレンジ
の信号を検出し得る荷電粒子線検出装置を提供す
るものである。
本考案の構成の特徴は夫々異つた感度を有した
荷電粒子線検出器を複数個並置し、いずれかの検
出器にのみ荷電粒子線が入射するように該荷電粒
子線を偏向するための偏向器を荷電粒子線通路に
そつて配置し、前記各検出器の出力信号を基準信
号と比較し、前記出力信号の大きさに対応してパ
ルス信号を発生する比較回路を設け、このパルス
信号によつて前記偏向器への供給信号を切り換え
るように偏向電源を制御する手段を備えた荷電粒
子線検出装置にある。
荷電粒子線検出器を複数個並置し、いずれかの検
出器にのみ荷電粒子線が入射するように該荷電粒
子線を偏向するための偏向器を荷電粒子線通路に
そつて配置し、前記各検出器の出力信号を基準信
号と比較し、前記出力信号の大きさに対応してパ
ルス信号を発生する比較回路を設け、このパルス
信号によつて前記偏向器への供給信号を切り換え
るように偏向電源を制御する手段を備えた荷電粒
子線検出装置にある。
以下本考案の一実施例を図面に基づき説明す
る。図中１ａ，１ｂは荷電粒子線検出器であり、
イオンビームの如き粒子線２の通路、またはその
近傍に並置されている。１ａは例えば、チヤネル
型二次電子増倍管の如き高感度特性をもつ検出器
であり、また１ｂはフアラデイカツプの如き比較
的感度の低い検出器である。各検出器の出力側に
は増幅器３ａ，３ｂが夫々接続され、その増幅さ
れた信号はいずれもＡ−Ｄ変換器４に送られ符号
化されてコンピユータや他のデイジタルデータ処
理回路に送られる。前記増幅器の出力の一部は
夫々比較回路５ａ，５ｂに送られており、基準電
源６からの基準信号と比較される。該基準信号は
検出器が２個の場合同一強度ものが用いられ、比
較回路５ａからは検出信号が基準信号を上まわつ
たときパルス信号が発生し、比較回路５ｂからは
検出信号が該基準信号を下まわつたときパルス信
号を発生するように構成する。これらのパルス信
号はフリツプフロツプ回路７に送られる。フリツ
プフロツプ回路が予めリセツトされていると比較
回路５ａからのパルス信号により該フリツプフロ
ツプ回路は“１”の信号を発生する。又、フリツ
プフロツプ回路が“１”の信号を発生していると
き、比較回路５ｂより信号が送られると該フリツ
プフロツプ回路はその出力を“０”に切り換え
る。このフリツプフロツプ回路の出力信号は偏向
電源８の制御信号として用いられるので、粒子線
通路に沿つて置かれた偏向器９はそれによつて粒
子線２を実線から点線へ、又点線から実線へと偏
向する。
る。図中１ａ，１ｂは荷電粒子線検出器であり、
イオンビームの如き粒子線２の通路、またはその
近傍に並置されている。１ａは例えば、チヤネル
型二次電子増倍管の如き高感度特性をもつ検出器
であり、また１ｂはフアラデイカツプの如き比較
的感度の低い検出器である。各検出器の出力側に
は増幅器３ａ，３ｂが夫々接続され、その増幅さ
れた信号はいずれもＡ−Ｄ変換器４に送られ符号
化されてコンピユータや他のデイジタルデータ処
理回路に送られる。前記増幅器の出力の一部は
夫々比較回路５ａ，５ｂに送られており、基準電
源６からの基準信号と比較される。該基準信号は
検出器が２個の場合同一強度ものが用いられ、比
較回路５ａからは検出信号が基準信号を上まわつ
たときパルス信号が発生し、比較回路５ｂからは
検出信号が該基準信号を下まわつたときパルス信
号を発生するように構成する。これらのパルス信
号はフリツプフロツプ回路７に送られる。フリツ
プフロツプ回路が予めリセツトされていると比較
回路５ａからのパルス信号により該フリツプフロ
ツプ回路は“１”の信号を発生する。又、フリツ
プフロツプ回路が“１”の信号を発生していると
き、比較回路５ｂより信号が送られると該フリツ
プフロツプ回路はその出力を“０”に切り換え
る。このフリツプフロツプ回路の出力信号は偏向
電源８の制御信号として用いられるので、粒子線
通路に沿つて置かれた偏向器９はそれによつて粒
子線２を実線から点線へ、又点線から実線へと偏
向する。
この様な構成の装置において、始めに粒子線２
が実線で示す如く高感度検出器１ａに入射してい
るものとする。このとき、フリツプフロツプ回路
７はリセツトされており、“０”の出力である。
従つて、偏向器９には電源８から信号が送られな
い状態となつている。検出器１ａの出力は増幅器
３ａで増幅されＡ−Ｄ変喚器４に送られるわけで
あるが。その信号の一部は比較回路５ａにおいて
基準信号（検出器１ａの入力許容値に対応）と比
較される。該比較回路で検出信号が基準値以下で
あれば、入射粒子線強度が許容値に達していない
ので引き続き検出器１ａでの検出が行われる。も
し。増幅器３ａからの信号強度が基準信号を上ま
わつた場合には、比較回路５ａはパルス信号を発
し、フリツプフロツプ回路７に送る。これによ
り、フリツプフロツプ回路は“０”の状態から
“１”の状態に切り換えられ、偏向電源８が制御
される。その結果、偏向器９は粒子線２を点線の
様に偏向して比較的低感度の検出器１ｂに入射せ
しめる。この様にして検出器が切り換えられるた
め高感度検出器１ａの破損は防止できる。前記検
出器１ｂからの出力信号は、増幅器３ｂを解して
Ａ−Ｄ変換器に送られると同時にその一部は比較
回路５ｂに送られ、基準信号と比較される。そし
て、もし検出信号強度が基準信号を下まわつたな
らば該比較回路はパルス信号を発し、フリツプフ
ロツプ回路７に送る。このパルスの供給を受けて
フリツプフロツプ回路は“１”の状態から“０”
の状態に出力が切り換わり従つて偏向電源８の出
力も“０”になる。その結果、偏向器９による偏
向は遮断され、粒子線は実線で示す様に高感度検
出器１ａに入射するようになる。これにより粒子
線２の強度が大幅に変化しても、検出器（特に高
感度検出器１ａ）に何等の損傷も与えることなく
検出できる。
が実線で示す如く高感度検出器１ａに入射してい
るものとする。このとき、フリツプフロツプ回路
７はリセツトされており、“０”の出力である。
従つて、偏向器９には電源８から信号が送られな
い状態となつている。検出器１ａの出力は増幅器
３ａで増幅されＡ−Ｄ変喚器４に送られるわけで
あるが。その信号の一部は比較回路５ａにおいて
基準信号（検出器１ａの入力許容値に対応）と比
較される。該比較回路で検出信号が基準値以下で
あれば、入射粒子線強度が許容値に達していない
ので引き続き検出器１ａでの検出が行われる。も
し。増幅器３ａからの信号強度が基準信号を上ま
わつた場合には、比較回路５ａはパルス信号を発
し、フリツプフロツプ回路７に送る。これによ
り、フリツプフロツプ回路は“０”の状態から
“１”の状態に切り換えられ、偏向電源８が制御
される。その結果、偏向器９は粒子線２を点線の
様に偏向して比較的低感度の検出器１ｂに入射せ
しめる。この様にして検出器が切り換えられるた
め高感度検出器１ａの破損は防止できる。前記検
出器１ｂからの出力信号は、増幅器３ｂを解して
Ａ−Ｄ変換器に送られると同時にその一部は比較
回路５ｂに送られ、基準信号と比較される。そし
て、もし検出信号強度が基準信号を下まわつたな
らば該比較回路はパルス信号を発し、フリツプフ
ロツプ回路７に送る。このパルスの供給を受けて
フリツプフロツプ回路は“１”の状態から“０”
の状態に出力が切り換わり従つて偏向電源８の出
力も“０”になる。その結果、偏向器９による偏
向は遮断され、粒子線は実線で示す様に高感度検
出器１ａに入射するようになる。これにより粒子
線２の強度が大幅に変化しても、検出器（特に高
感度検出器１ａ）に何等の損傷も与えることなく
検出できる。
以上詳述した如き構成となせば、高感度の検出
器を破損することなく、又検出器の動作を停止す
ることなく、広範にわたるダイナミツクレンジの
粒子線検出が可能となる。
器を破損することなく、又検出器の動作を停止す
ることなく、広範にわたるダイナミツクレンジの
粒子線検出が可能となる。
尚、上記は本考案の一実施例であり、実用上は
種々の変更が可能である。例えば、検出器は前記
例示のものに限られず、目的に適うものであれば
どの様なものでも良く、又、検出器の個数は２個
に限られず、３個以上でも良い。この場合、所定
のダイナミツクレンジを各検出器の特性に応じて
分割し、夫々に分担させるようにすれば良い。
種々の変更が可能である。例えば、検出器は前記
例示のものに限られず、目的に適うものであれば
どの様なものでも良く、又、検出器の個数は２個
に限られず、３個以上でも良い。この場合、所定
のダイナミツクレンジを各検出器の特性に応じて
分割し、夫々に分担させるようにすれば良い。
図面は本考案の一実施例を示すブロツク線図で
ある。 １ａ，１ｂ：検出器、２：粒子線、３ａ，３
ｂ：増幅器、４：Ａ−Ｄ変換器、５ａ，５ｂ：比
較回路、６：基準電源、７：フリツプフロツプ回
路、８：偏向電源、９：偏向器。
ある。 １ａ，１ｂ：検出器、２：粒子線、３ａ，３
ｂ：増幅器、４：Ａ−Ｄ変換器、５ａ，５ｂ：比
較回路、６：基準電源、７：フリツプフロツプ回
路、８：偏向電源、９：偏向器。
Claims (1)
- 夫々異つた感度を有した荷電粒子線検出器を複
数個並置し、いずれかの検出器にのみ荷電粒子線
が入射するように該荷電粒子線を偏向するための
偏向器を荷電粒子線通路にそつて配置し、前記各
検出器の出力信号を基準信号と比較し、前記出力
信号の大きさに対応してパルス信号を発生する比
較回路を設け、このパルス信号によつて前記偏向
器への供給信号を切り換えるように偏向電源を制
御する手段を備えていることを特徴とする荷電粒
子線検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP712682U JPS58110955U (ja) | 1982-01-22 | 1982-01-22 | 荷電粒子線検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP712682U JPS58110955U (ja) | 1982-01-22 | 1982-01-22 | 荷電粒子線検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58110955U JPS58110955U (ja) | 1983-07-28 |
| JPS6314373Y2 true JPS6314373Y2 (ja) | 1988-04-22 |
Family
ID=30019890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP712682U Granted JPS58110955U (ja) | 1982-01-22 | 1982-01-22 | 荷電粒子線検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58110955U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4943764A (en) * | 1987-12-11 | 1990-07-24 | Hewlett-Packard Company | Wide dynamic range radio-frequency power sensor |
-
1982
- 1982-01-22 JP JP712682U patent/JPS58110955U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58110955U (ja) | 1983-07-28 |
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