JPS63143508A - Preform for fluoride glass fiber and its production - Google Patents

Preform for fluoride glass fiber and its production

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JPS63143508A
JPS63143508A JP61290214A JP29021486A JPS63143508A JP S63143508 A JPS63143508 A JP S63143508A JP 61290214 A JP61290214 A JP 61290214A JP 29021486 A JP29021486 A JP 29021486A JP S63143508 A JPS63143508 A JP S63143508A
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JP
Japan
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glass
rod
fluoride glass
naf
moisture
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JP61290214A
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Japanese (ja)
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Hidenori Mimura
三村 栄紀
Osamu Niihori
新堀 理
Hideharu Tokiwa
常磐 英晴
Yukio Noda
野田 行雄
Tetsuya Nakai
中井 哲哉
Naoki Norimatsu
則松 直樹
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KDDI Corp
Original Assignee
Kokusai Denshin Denwa KK
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Abstract

PURPOSE:To suppress degradation of mechanical strength and generation of a scattering loss by infiltration of moisture into a glass rod contg. 15-25% NaF by coating said glass rod with Ge-Se glass contg. 10-20% Ge and removing the moisture on the rod surface by the plasma in a vacuum vessel. CONSTITUTION:A core part and clad part are constituted of the glass having the compsn. contg. ZrF4, BaF2, NaF, LaF3, and AlF3 and 15-25mol% NaF. Since this glass is drawn at 315-340 deg.C, the coating material is constituted of the Ge-Se glass contg. 10-20mol% Ge is order to maintain the viscosity of the coating material for the glass at 10<3>-10<6> Poise. Gaseous halogen 30 introduced into the vacuum vessel 25 is subjected to high-frequency heating 29 and the moisture sticking to the glass rod 26 surface is removed by the generated radicals so that the Ge-Se glass evaporated in a crucible 32 is uniformly deposited by evaporation on the rod 26 surface. The infiltration of the moisture to the glass rod is, therefore, completely prevented, by which the scattering loss at the time of drawing and the degradation in the mechanical strength and absorption loss of the fiber are suppressed.

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の利用分野) 本発明は2〜4μmの波長帯の光を低損失で伝送し、か
つ機械的強度の大きいファイバを紡糸することのできる
フッ化物ガラスファイバ用ブリフオームとその製造方法
に関する。
Detailed Description of the Invention (Field of Application of the Invention) The present invention is directed to a fluoride glass fiber brifform that can transmit light in the wavelength range of 2 to 4 μm with low loss and can spin fibers with high mechanical strength. and its manufacturing method.

(従来技術とその問題点) フッ化物ガラスファイバは2〜4μm帯の光を用いた長
距離通信用ファイバとして注目されており、理論的には
0.01〜0.001dB/km程度の超低損失値が予
想されている。しかしながら、現状ではファイバ損失は
最も少ないものでもldB/km程度であり、理論値よ
り2桁〜3桁程度大きい。また、実用上重要な因子であ
る機械的強度に関しても、現状は200〜300MPa
程度で理論値の1000程度しかない。このように、現
状のフッ化物ガラスファイバの損失を増大させ、また、
強度の低下を招く最大の原因として、コアの外周にクラ
ッド及び被覆がそれぞれ施されている状態(以下、「プ
リフォーム」と称す)をファイバに線引きする際の水分
の混入があげられる。
(Prior art and its problems) Fluoride glass fiber is attracting attention as a fiber for long-distance communication using light in the 2-4 μm band, and theoretically has an ultra-low resistance of about 0.01-0.001 dB/km. A loss value is expected. However, at present, even the smallest fiber loss is about 1 dB/km, which is about two to three orders of magnitude larger than the theoretical value. In addition, regarding mechanical strength, which is a practically important factor, the current level is 200 to 300 MPa.
The theoretical value is only about 1000. This increases the loss of current fluoride glass fibers and also
The biggest cause of a decrease in strength is the contamination of moisture when a core with a cladding and a coating applied to the outer periphery (hereinafter referred to as a "preform") is drawn into a fiber.

従来の母材製造法には、ビルドインキヤスティング法と
ローテーショナルキャスティング法と呼ばれる方法等と
がある。
Conventional base material manufacturing methods include a method called a build-in casting method and a method called a rotational casting method.

第1図は従来のビルドインキヤスティング法を説明する
ための図である。図中、lはクラッドガラス融液、2は
金属製鋳型、3はクラッドガラス管、4はコアガラス融
液を示す。この方法では、まず、第1図(イ)に示すよ
うにるつぼ中で加熱溶融したクラッドガラス融液1をガ
ラス転移点付近の温度に保持されている金属製鋳型2に
注ぐ。次いで、(ロ)に示すように、ガラス全体が冷却
しないうちに金属製鋳型2を傾斜させて内部のガラス融
液1を注ぎ出す。この結果、金属製鋳型2の壁面に冷却
固化したクラッドガラス管3ができる。
FIG. 1 is a diagram for explaining the conventional build-in casting method. In the figure, 1 is a clad glass melt, 2 is a metal mold, 3 is a clad glass tube, and 4 is a core glass melt. In this method, first, as shown in FIG. 1(A), a clad glass melt 1 heated and melted in a crucible is poured into a metal mold 2 maintained at a temperature near the glass transition point. Next, as shown in (b), before the entire glass has cooled down, the metal mold 2 is tilted and the glass melt 1 inside is poured out. As a result, a cooled and solidified clad glass tube 3 is formed on the wall surface of the metal mold 2.

次いで、(ハ)に示すように、クラッドガラス管3の中
にコアガラス融液4を流しこみ冷却固化して、(ニ)に
示すようなコアークラッド構造をもつフッ化物ガラスフ
ァイバ用母材(以下、[フッ化物ガラスロッドノと称す
)とする。これらの母材製造工程は完全な不活性ガス雰
囲気で行われるため、工程中での水分の混入は殆どない
Next, as shown in (c), the core glass melt 4 is poured into the clad glass tube 3 and cooled and solidified to obtain a base material for fluoride glass fiber having a core clad structure as shown in (d). Hereinafter, it will be referred to as [fluoride glass rod]. Since these base material manufacturing processes are performed in a completely inert gas atmosphere, there is almost no contamination of moisture during the process.

次いで、ロッドの表面が平滑になるように研磨し、テフ
ロン製熱収縮チューブを被覆してプリフォームとし、線
引き装置によりファイバに線引きする。従来技術では、
この研磨から線引きに至る工程中に水分が混入するのを
避けることはできない。例えば、ロッドの研磨は大気中
で行わざるを得ないため、研磨後のロッドの表面には相
当量の水分が付着している。一般に、ガラス表面は水分
を吸着し易い性質を持っており、一旦吸着した水分は、
通常考えられる乾燥手段である真空乾燥とか、250℃
以下の熱乾燥では除去し得ない。従って、従来技術では
表面に吸着水をつけたままテフロン製熱収縮チューブを
被覆してプリフォームとし、線引きに供している。その
ため、線引き温度(約320℃)にプリフォームが加熱
された時、昇温により化学反応性が大きくなったフッ化
物ガラスとロッドの表面に吸着した水分の間に化学反応
が生じ、ファイバ表面あるいはファイバ中に結晶性物質
を生じたり、また、熱拡散によりファイバ中に水分が混
入することになる。
Next, the surface of the rod is polished to be smooth, covered with a Teflon heat-shrinkable tube to form a preform, and drawn into a fiber using a drawing device. In the conventional technology,
It is unavoidable that moisture gets mixed into the process from polishing to wire drawing. For example, since rod polishing must be performed in the atmosphere, a considerable amount of moisture adheres to the surface of the rod after polishing. Generally, the glass surface has the property of easily adsorbing moisture, and once the moisture has been adsorbed,
Vacuum drying, which is a commonly thought drying method, or 250℃
It cannot be removed by heat drying as described below. Therefore, in the prior art, a Teflon heat shrink tube is coated with adsorbed water on the surface to form a preform, and the preform is subjected to wire drawing. Therefore, when the preform is heated to the drawing temperature (approximately 320°C), a chemical reaction occurs between the fluoride glass, which has become more chemically reactive due to the temperature rise, and the water adsorbed on the surface of the rod. Crystalline substances may be formed in the fiber, and moisture may be mixed into the fiber due to thermal diffusion.

研磨後、ロッドをテフロン製熱収縮チューブで被覆する
理由の一つは、ロッドを線引きする際に、ロッドが大気
中の水分と接触し、先に述べたような結晶性物質の生成
や水分のファイバ中への混入を防ぐためである。勿論、
テフロン製熱収縮チューブを被覆することにより、この
目的はある程度達せられている。しかしながら、テフロ
ンはある程度の水分を透過する性質をもっているため大
気からファイバに水分が混入するのを完全に防ぐことは
できない。また、テフロン自身もある程度の水分を含有
しているため、テフロン自身も僅がなから水分の発生源
となっている。
One of the reasons why the rod is covered with a Teflon heat shrink tube after polishing is that when the rod is drawn, the rod comes into contact with moisture in the atmosphere, which prevents the formation of crystalline substances and moisture loss as mentioned above. This is to prevent mixing into the fiber. Of course,
This objective has been achieved to some extent by coating Teflon heat shrink tubing. However, since Teflon has the property of transmitting a certain amount of moisture, it is not possible to completely prevent moisture from entering the fiber from the atmosphere. In addition, since Teflon itself contains a certain amount of water, Teflon itself also becomes a source of a small amount of water.

以上説明したように、従来のフッ化物ガラスファイバ用
プリフォームをファイバに線引きした場合、ガラスロッ
ド表面の吸着水、大気中の水分及びテフロン製熱収縮チ
ューブに含有されている水分等がファイバ中に混入する
のを防ぐことができなかった。従って、ファイバに混入
した水はフッ化物ガラスと化学反応を起こし、結晶性物
質を生成し、ファイバの機械強度を著しく低下させると
共に散乱による損失を増大させ、かつファイバ中に混入
した水分は2.9μmの波長を中心に強い吸収を生じ、
ファイバの損失を著しく増大させるという問題点があっ
た。
As explained above, when a conventional fluoride glass fiber preform is drawn into a fiber, water adsorbed on the surface of the glass rod, moisture in the atmosphere, moisture contained in the Teflon heat shrink tube, etc. are drawn into the fiber. It was not possible to prevent the contamination. Therefore, the water mixed into the fiber causes a chemical reaction with the fluoride glass, producing a crystalline substance, which significantly reduces the mechanical strength of the fiber and increases the loss due to scattering. Strong absorption occurs around the wavelength of 9 μm,
There was a problem in that the loss of the fiber increased significantly.

(発明の目的及び特@) 本発明は、上述した従業技術の問題点を解決するために
なされたもので、水分がほとんど混入しないフッ化物ガ
ラスファイバ用プリフォームを作製することにより、プ
リフォームからフッ化物ガラスファイバを線引きする際
の水分の混入も防止できるため、水分の混入によって生
成される結晶に起因するファイバの機械強度の低下及び
散乱損失の増大がなく、かつ吸収損失の増大もないフッ
化物ガラスファイバを線引きすることが可能なフッ化物
ガラスファイバ用プリフォーム及びその製造方法を提供
することを目的とする。
(Objective and Features of the Invention) The present invention has been made to solve the above-mentioned problems in the technical field. Since it is possible to prevent moisture from entering the fluoride glass fiber when drawing it, there is no decrease in the mechanical strength of the fiber and an increase in scattering loss caused by crystals generated by moisture, and there is no increase in absorption loss. An object of the present invention is to provide a preform for a fluoride glass fiber that can draw a fluoride glass fiber, and a method for manufacturing the same.

本発明によるフッ化物ガラスファイバ用プリフォームの
特徴とは、コア部及びそのコア部よりも屈折率が小なる
クラッド部が共にZrF、−BaFz−NaFLaF3
  A I F3の成分を少なくとも含有し、かつNa
Fの含有量がモル%で表した場合に15≦NaF≦25
の範囲にあるフッ化物ガラスロッドと、そのロッドを被
覆するためのSeと20モル%以下のGeとを少なくと
も含む被覆層とから構成されていることにある。
The feature of the preform for fluoride glass fiber according to the present invention is that both the core part and the cladding part whose refractive index is lower than that of the core part are ZrF, -BaFz-NaFLaF3.
Contains at least a component of A I F3, and contains Na
When the F content is expressed in mol%, 15≦NaF≦25
The fluoride glass rod is comprised of a fluoride glass rod having a fluoride glass rod in the range of 1 to 1, and a coating layer containing at least Se and 20 mol % or less of Ge for coating the rod.

本発明によるフッ化物ガラスファイバ用プリフォームの
製造方法は、コア部及びそのコア部よりも屈折率が小な
るクラッド部が共にZrF4−BaFz−NaF−La
F、−AlF2の成分を少なくとも含有し、かつNaF
の含有量がモル%で表した場合に15≦NaF≦25の
範囲にあるフッ化物ガラスロッドを作製する第1の工程
と、ハロゲン系ガスのプラズマを発生させるプラズマ発
生部と、Seと20モル%以下のGeとを少なくとも含
有する被覆層を作製する薄膜製造部とを内部に有する真
空容器内に該ロッドを挿入し、該プラズマ発生部で発生
させた該プラズマと前記ロッドとの反応により前記ロッ
ドの表面に付着した水分を除去する第2の工程と、該薄
膜製造部で作製された該被覆層により前記ロッドを被覆
する第3の工程とを含むことにある。
In the method for manufacturing a preform for fluoride glass fiber according to the present invention, both the core portion and the cladding portion having a lower refractive index than the core portion are made of ZrF4-BaFz-NaF-La.
contains at least a component of F, -AlF2, and NaF
a first step of producing a fluoride glass rod in which the content of NaF is in the range of 15≦NaF≦25 when expressed in mol%; a plasma generating part that generates plasma of halogen gas; The rod is inserted into a vacuum vessel having a thin film manufacturing section for producing a coating layer containing at least % or less of Ge, and a reaction between the plasma generated in the plasma generating section and the rod causes the above-mentioned The present invention includes a second step of removing moisture adhering to the surface of the rod, and a third step of covering the rod with the coating layer produced by the thin film manufacturing section.

(発明の原理) 以下本発明の詳細な説明する。(Principle of the invention) The present invention will be explained in detail below.

前述のように従来のプリフォームをファイバに線引きす
る際にファイバ中に水分が混入する原因は、ガラスロッ
ドの表面に水分が付着したままテフロン製熱収縮チュー
ブの被覆を行っていること、テフロンはある程度水蒸気
を透過させること及びテフロン自身がある程度の水分含
有していることによる。従って、プリフォームを線引き
する際の水分の混入を防ぐには、屈折率の高いコア部と
屈折率の低いクラッド部とから成るフッ化物ガラスロッ
ドをまず作製し、次いで何らかの手段によりガラスロッ
ド表面に付着した水分を除去した後、下記のような特性
を有する特殊な被覆材を、水分の再混入のない何らかの
手段によりガラスロッドの表面に被覆してプリフォーム
とし、しかる後にガラスロッドと被覆層を同時に線引き
すれば良いと考えられる。被覆材に必要な特性は以下の
■〜■である。
As mentioned above, the reason why moisture gets mixed into the fiber when drawing a conventional preform into a fiber is that the Teflon heat shrink tube is coated with moisture attached to the surface of the glass rod. This is due to the fact that it allows water vapor to pass through to a certain extent and that Teflon itself contains a certain amount of water. Therefore, in order to prevent moisture from entering when drawing a preform, a fluoride glass rod consisting of a core portion with a high refractive index and a cladding portion with a low refractive index is first prepared, and then the surface of the glass rod is coated by some means. After removing the attached moisture, a special coating material having the following characteristics is coated on the surface of the glass rod by some means that does not allow moisture to be re-introduced to form a preform, and then the glass rod and coating layer are bonded together. I think it would be a good idea to draw the line at the same time. The properties necessary for the coating material are the following.

■ フッ化物ガラスロッドと共に線引きできること。■ Can be drawn together with fluoride glass rod.

■ 耐水性の高い材料で、水分を透過させないこと。■ Made of highly water-resistant material that does not allow moisture to pass through.

■ 素材自体が水分を含有していないこと。■ The material itself does not contain moisture.

■ 線引きの際にフッ化物ガラスと反応しないこと。■Do not react with fluoride glass during drawing.

上記観点から、本発明者らは従来のテフロン製熱収縮チ
ューブに代わる新たな被覆材の開発並びにガラスロッド
の表面の水分を除去した後水分の再付着なくガラスロッ
ドにこの被覆材を被覆する方法について検討を行った。
From the above viewpoint, the present inventors have developed a new coating material to replace the conventional Teflon heat-shrinkable tube, and a method for coating a glass rod with this coating material without re-deposition of moisture after removing moisture from the surface of the glass rod. We considered the following.

(実施例1) まず、フッ化物ガラスファイバ用プリフォームについて
説明する。
(Example 1) First, a preform for fluoride glass fiber will be described.

フッ化物ガラスロッドの被覆材として考えられる素材は
、線引きが可能な材料という制約から樹脂とガラス類に
ほぼ限定される。しかしながら、従来の樹脂のなかに、
上記■■の条件を満足するものはなかった。結局、上記
■■■の条件を満足する素材としてはS、 Se、 T
e、 Ge、^S等を成分とするカルコゲナイドガラス
があることが判明した。
The materials that can be considered as coating materials for fluoride glass rods are almost limited to resins and glasses due to the restriction that the materials can be drawn. However, in conventional resins,
There was nothing that satisfied the above conditions. In the end, the materials that satisfy the above conditions are S, Se, and T.
It has been found that there is a chalcogenide glass containing elements such as e, Ge, and ^S.

しかし、被覆材は■■■に加え■の特性も兼ね備えてな
ければならない。■の特性は換言すれば、フッ化物ガラ
スロッドの線引き温度において被覆材が線引き可能な粘
度をもてば良いということである。フッ化物ガラスロッ
ドの線引き温度はガラス組成に依存し、通常300〜4
00℃程度の範囲で変化する。従って、フッ化物ガラス
の組成を特定しなければ、ガラスロッドの線引き温度を
特定することができず、被覆材も特定することができな
い。
However, in addition to ■■■, the covering material must also have the characteristics of ■. In other words, the property (2) requires that the coating material has a viscosity that allows drawing at the drawing temperature of the fluoride glass rod. The drawing temperature for fluoride glass rods depends on the glass composition and is usually between 300 and 40°C.
It varies in the range of about 00℃. Therefore, unless the composition of the fluoride glass is specified, the drawing temperature of the glass rod cannot be specified, nor can the coating material be specified.

本発明において、対象としているフッ化物ガラスロッド
は、少なくとも、ZrF、、 BaFz、 NaF、 
LaF3゜AlF3を含有し、かつ、NaFの含を量を
モル%で表した場合に15≦NaF≦25となる範囲の
組成のガラスにより構成される。ここで、NaFの含有
量を15モル%以上で25モル%以下に制限した理由は
、以下による。すなわち、このNa含有量は、本発明者
らが現在のガラスロッド製造技術を用いて、水分の混入
がない環境下でガラスロッドを製造した場合に、結晶化
による散乱が殆ど認められないガラスロッドを製造でき
る組成範囲を示したものである。この組成範囲のガラス
は熱的安定性が良く、2〜4μm帯の超低損失ファイバ
として最も優れた素材である。この組成範囲のガラスの
線引き温度はNaFの含有量に依存し、315〜340
℃の範囲である。従って、この組成範囲のガラスと共に
線引きするためには、被覆材の粘性は315〜340℃
で103〜10” Po1se程度にならねばならない
。かかる観点からS、 Se、 Te、 As、 Ge
等を成分とする各種組成のカルコゲンガラスの粘性一温
度特性を調べた結果、モル%で表した場合に、10≦G
e≦20のGeを含むGe −Seガラスあるいは上記
組成範囲のガラスにS、 Te、 As、 Sb、 S
i、  P等を少量添加した多成分系ガラスがかかる粘
性一温度特性を有していることを見出した。
In the present invention, the target fluoride glass rods include at least ZrF, BaFz, NaF,
It is composed of a glass containing LaF3°AlF3 and having a composition of 15≦NaF≦25 when the content of NaF is expressed in mol%. Here, the reason why the content of NaF is limited to 15 mol% or more and 25 mol% or less is as follows. In other words, this Na content is such that when the present inventors manufacture a glass rod using the current glass rod manufacturing technology in an environment without moisture contamination, a glass rod with almost no scattering due to crystallization is observed. This shows the composition range that can produce . Glass in this composition range has good thermal stability and is the most excellent material for ultra-low loss fibers in the 2-4 μm band. The drawing temperature for glasses in this composition range depends on the NaF content and is 315-340.
℃ range. Therefore, in order to draw with glass in this composition range, the viscosity of the coating material should be 315-340°C.
It must be about 103 to 10" Po1se. From this point of view, S, Se, Te, As, Ge
As a result of investigating the viscosity-temperature characteristics of chalcogen glasses of various compositions including
Ge-Se glass containing Ge with e≦20 or glass having the above composition range with S, Te, As, Sb, S
It has been found that a multi-component glass containing small amounts of i, P, etc. has such viscosity-temperature characteristics.

第2図は本発明によるGe −Seガラスの粘性一温度
特性を示す特性図である。図の縦軸はガラスの粘性、横
軸は温度を示す。本発明において対象としているフッ化
物ガラスの線引き温度は315〜340℃であるので、
被覆材の粘性はこの温度域においてlO′3〜10’P
o1seの範囲にあることが必要である。
FIG. 2 is a characteristic diagram showing the viscosity-temperature characteristics of the Ge--Se glass according to the present invention. The vertical axis of the figure shows the viscosity of the glass, and the horizontal axis shows the temperature. Since the drawing temperature of the fluoride glass targeted in the present invention is 315 to 340°C,
The viscosity of the coating material is lO'3~10'P in this temperature range.
It is necessary to be within the range of o1se.

即ち、第2図における斜線の領域を通る粘性一温度曲線
を有する組成のガラスが被覆材として使用できることに
なり、その範囲は10≦Ge≦20のGe −Seガラ
スである。例えば、線引き温度が340℃のフッ化物ガ
ラスに対しては12≦Ge≦20.線引き温度が315
℃のガラスに対してはlo≦Ge≦18の組成のGe 
−Seガラスが被覆材として使用可能である。
That is, a glass having a composition having a viscosity-temperature curve passing through the shaded area in FIG. 2 can be used as the coating material, and the range is Ge-Se glass with 10≦Ge≦20. For example, for fluoride glass with a drawing temperature of 340°C, 12≦Ge≦20. The drawing temperature is 315
For glass at ℃, Ge with a composition of lo≦Ge≦18
-Se glass can be used as a coating.

以上のように、本発明によれば、フッ化物ガラスロッド
を10モル%以上で20モル%以下のGeを含有するG
e −Se系ガラスで被覆することにより、水分をほと
んど含まないフッ化物ガラスファイバ用プリフォームを
作製することができる。
As described above, according to the present invention, a fluoride glass rod containing Ge of 10 mol% or more and 20 mol% or less
By coating with e-Se-based glass, a preform for a fluoride glass fiber containing almost no water can be produced.

(実施例2) 次に、フッ化物ガラスロッドの表面に付着した水分を除
去する方法及び水分を除去した後、水分の再付着な(、
Ge−5e系ガラスをガラスロッドに被覆する方法につ
いて述べる。
(Example 2) Next, we will discuss a method for removing moisture adhering to the surface of a fluoride glass rod, and how to prevent moisture from re-attaching after removing moisture.
A method of coating a glass rod with Ge-5e glass will be described.

前述したように、ガラス類は表面にダングリングボンド
を有しているため、水分を吸着し易い性質をもっており
、真空乾燥とか熱乾燥のような通常の手段では吸着水を
完全に除去することが難しい。特に、フッ化物ガラスの
場合は、軟化点が低いため250℃以上に加熱すること
はできず、吸着水の除去には特殊な手段を要する。
As mentioned above, glass has dangling bonds on its surface, so it has the property of easily adsorbing water, and normal methods such as vacuum drying or heat drying cannot completely remove the adsorbed water. difficult. In particular, in the case of fluoride glass, it cannot be heated above 250° C. due to its low softening point, and special means are required to remove adsorbed water.

以下に、本発明のプリフォームの製造方法について詳細
に説明する。
Below, the method for manufacturing a preform of the present invention will be explained in detail.

(1)第1の工程 第1の工程は、フッ化物ガラスロッドを作製するもので
あり、その製造工程を解りやすく説明するために本発明
者らによってすでに特許出願がなされている「フッ化物
ガラスファイバ用母材の製造装置」のうち1例(特願昭
60−155233号)を用いて説明する。
(1) First step The first step is to produce a fluoride glass rod.In order to explain the manufacturing process in an easy-to-understand manner, the present inventors have already filed a patent application for "Fluoride Glass Rod". This will be explained using one example (Japanese Patent Application No. 155233/1983) of the "Fiber base material manufacturing apparatus".

第3図は本発明によるフッ化物ガラスロッドを作製する
のに用いるための製造装置の概略図である。図中11は
ノズル付外るつぼ、12はクラッド用ガラス、13はノ
ズル付るつぼ、14はコア用ガラス、15は上下移動棒
、16はガラス融液流出防止兼ガラス引き出し用治具、
17はガス導入口、18は密閉容器、19は高周波コイ
ル、20は熱電対、21は制御系、22は高周波電源、
23は上下移動棒15の駆動装置、24はガス排出口で
ある。なお、密閉容器18には、図示してないが正面に
開閉可能な扉があり、るつぼ11.13内にガラス材料
を装填する場合等に開き、動作中は密閉される。
FIG. 3 is a schematic diagram of manufacturing equipment for use in making fluoride glass rods according to the present invention. In the figure, 11 is an external crucible with a nozzle, 12 is glass for cladding, 13 is a crucible with nozzle, 14 is glass for core, 15 is a vertically moving rod, 16 is a jig for preventing glass melt from flowing out and for drawing out glass,
17 is a gas inlet, 18 is a closed container, 19 is a high frequency coil, 20 is a thermocouple, 21 is a control system, 22 is a high frequency power supply,
23 is a drive device for the vertically moving rod 15, and 24 is a gas discharge port. Although not shown, the closed container 18 has an openable/closable door on the front, which is opened when loading a glass material into the crucible 11, 13, and is sealed during operation.

次に製造方法について説明する。Next, the manufacturing method will be explained.

■ ノズル付外るつぼ11にクラッド用ガラス12を、
またノズル付内るつぼ13にコア用ガラス14を、それ
ぞれ装填する。ノズルの先端は、上下移動棒15の上端
に取り付けられたガラス融液流出防止兼ガラス引き出し
用治具16を接触させて塞いでおく。なお、クラッド用
ガラス12には例えば、33ZrF4−2011fF、
−17BaFz−23NaF −4LaFi −3AJ
F3、コア用ガラス14には53ZrF*  20Ba
Pz−2ONaF −4LaF3−3A I Fsの組
成のガラスを用いるが、この組成比には限定されない。
■ Put the cladding glass 12 into the outer crucible 11 with the nozzle,
Further, the core glasses 14 are respectively loaded into the inner crucibles 13 with nozzles. The tip of the nozzle is closed by contacting with a jig 16 for preventing outflow of the glass melt and for drawing out the glass, which is attached to the upper end of the vertically moving rod 15. Note that the cladding glass 12 includes, for example, 33ZrF4-2011fF,
-17BaFz-23NaF -4LaFi -3AJ
F3, 53ZrF* 20Ba for core glass 14
Although a glass having a composition of Pz-2ONaF-4LaF3-3A IFs is used, the composition ratio is not limited to this.

■ ガス導入口17からフッ素系ガスを導入して密閉容
器18の内部をフッ素系ガスの雰囲気とし、高周波コイ
ル19によってるつぼ11.13を加熱しガラス12.
14を一定時間溶融する。この時の溶融温度は、ガラス
12及び14の成分が著しく蒸発しない範囲で、できる
だけ高温とする。
(2) A fluorine-based gas is introduced from the gas inlet 17 to create a fluorine-based gas atmosphere inside the sealed container 18, and the crucible 11.13 is heated by the high-frequency coil 19 to heat the glass 12.
14 is melted for a certain period of time. The melting temperature at this time is set as high as possible within a range where the components of glasses 12 and 14 do not evaporate significantly.

■ ガラス融液12.14からの結晶相の析出がない範
囲で出来るだけ低温までガラス融液12.14の温度を
下げ、一定時間保持した後ガラスの粘性が引き出し可能
な粘度になる温度までガラスを冷却し、しかる後に上下
移動棒15を下方に移動させてノズルの先端からコアガ
ラス12とタラソドガラス14を同時に引き出し、冷却
固化させて、フッ化物ガラスファイバ用母材、すなわち
フッ化物ガラスロッドを得る。
■ Lower the temperature of the glass melt 12.14 to as low a temperature as possible without precipitation of the crystalline phase from the glass melt 12.14, and after holding it for a certain period of time, lower the temperature of the glass to a temperature at which the viscosity of the glass can be drawn out. After that, the vertical moving rod 15 is moved downward to simultaneously pull out the core glass 12 and the thalassod glass 14 from the tip of the nozzle, and the core glass 12 and the thalassod glass 14 are cooled and solidified to obtain a base material for fluoride glass fiber, that is, a fluoride glass rod. .

なお、この工程における温度制御はガラス14の温度を
熱電対20によって直接検出し、制御系21によって高
周波電源22の出力を調節することにより行い、ガラス
12.14の引き出し速度の制御は、制御系21により
上下移動棒15の駆動装置23を電気的に制御して行う
The temperature control in this process is performed by directly detecting the temperature of the glass 14 with a thermocouple 20, and by adjusting the output of the high frequency power supply 22 with the control system 21, and the control system controls the drawing speed of the glass 12.14. 21 electrically controls the drive device 23 for the vertically moving rod 15.

以上は、低損失でかつ長尺のフッ化物ガラスロフトが作
製できる装置を用いて説明したが、この製造方法に限定
されることなく、第1図を用いて説明した従来のビルド
インキヤスティング法等他の製造方法を用いても良い。
The above has been explained using an apparatus that can produce a long fluoride glass loft with low loss. Other manufacturing methods may also be used.

(2)第2の工程 第4図は本発明のフッ化物ガラスファイバ用プリフォー
ムを製造するための装置の概略図であり、このプリフォ
ーム製造装置を用いて以下の手順を説明する。
(2) Second Step FIG. 4 is a schematic diagram of an apparatus for manufacturing a preform for fluoride glass fiber of the present invention, and the following procedure will be explained using this preform manufacturing apparatus.

図において、25は後述するプラズマ発生部と薄膜製造
部とを内蔵する真空容器、26は前述した第1の工程で
作製されたフッ化物ガラスロッド、27はフッ化物ガラ
スロッド26を支持するための支持棒、28は支持棒2
7の回転や移動を制御する移動制御部、29はハロゲン
系ガスのプラズマを発生させるための高周波コイル、3
0は高周波コイル29に電圧を印加するための高周波電
源、31はGe −Se系の被覆材ソース、32は被覆
材ソース31を収容する蒸着用加熱るつぼ、33は加熱
るつぼ32を加熱するための例えばヒータ等の加熱器(
図では電源を省略)、34はNF3 、 CF4 、B
F:l 、 C1z 、 CC1a等のようなプラズマ
化した時に反応性の大きいハロゲンラジカルを発生する
ハロゲン系ガスを導入する導入口、35は反応ガス及び
反応生成物を排出する排気口である。なお、以下の説明
では、高周波コイル29゜高周波電源30及びハロゲン
系ガスの導入口34をまとめてプラズマ発生部、被覆材
ソース31.蒸着用加熱るつぼ32及び加熱器33をま
とめて薄膜製造部と称する。
In the figure, 25 is a vacuum container containing a plasma generation section and a thin film manufacturing section which will be described later, 26 is a fluoride glass rod produced in the first step described above, and 27 is a vacuum vessel for supporting the fluoride glass rod 26. Support rod, 28 is support rod 2
7, a movement control unit that controls the rotation and movement of 7; 29, a high-frequency coil for generating plasma of halogen gas;
0 is a high-frequency power supply for applying voltage to the high-frequency coil 29; 31 is a Ge-Se-based coating material source; 32 is a heating crucible for vapor deposition that accommodates the coating material source 31; 33 is a heating crucible for heating the heating crucible 32; For example, a heater such as a heater (
(The power supply is omitted in the figure), 34 is NF3, CF4, B
F: An inlet for introducing a halogen gas such as l, C1z, CC1a, etc. which generates highly reactive halogen radicals when turned into plasma, and 35 an exhaust port for discharging reaction gas and reaction products. In the following description, the high-frequency coil 29°, the high-frequency power source 30, and the halogen-based gas inlet 34 are collectively referred to as a plasma generation section, a coating material source 31. The heating crucible 32 for vapor deposition and the heater 33 are collectively referred to as a thin film manufacturing department.

■ 第1の工程で作製したフッ化物ガラスロッド26を
支持棒27で支持し、真空容器25の内に入れる。
(2) Support the fluoride glass rod 26 produced in the first step with the support rod 27 and place it in the vacuum container 25.

■ 10−1〜10−”Torr程度のガス圧のハロゲ
ン系ガスを導入口34より導入する共に、高周波コイル
29に高電圧を高周波電源30から印加し、プラズマ発
生部でハロゲンラジカルを発生させる。この発生したハ
ロゲンラジカルは、フッ化物ガラスロッド26の表面に
付着した水分と反応して水分が分解し除去される。この
工程は、本発明の特徴の一つであり、ガラスロッド26
の表面に付着した水分は完全に除去される。
(2) A halogen-based gas at a gas pressure of about 10-1 to 10-'' Torr is introduced from the inlet 34, and a high voltage is applied to the high-frequency coil 29 from the high-frequency power supply 30 to generate halogen radicals in the plasma generation section. The generated halogen radicals react with moisture adhering to the surface of the fluoride glass rod 26, and the moisture is decomposed and removed.This step is one of the features of the present invention.
Moisture adhering to the surface is completely removed.

■ 次いで、真空容器25の内を104程度の高真空に
して反応ガス及び反応生成物を排気口35から排気する
(2) Next, the inside of the vacuum container 25 is brought to a high vacuum of about 10 4, and the reaction gas and reaction products are exhausted from the exhaust port 35.

(3)第3の工程 ■ 加熱器33により蒸着用加熱るつぼ32を加熱する
(3) Third step ■ The heating crucible 32 for vapor deposition is heated by the heater 33.

■ 加熱されて気化したGe −Se系ガラスの被覆材
31をフッ化物ガラスロッド26に蒸着させる。この際
、移動制御部28で支持棒27を前後に移動したり、回
転したりすることにより、フッ化物ガラスロッド26の
表面に均一に被覆材を付着させることができる。この工
程で重要なことは、フッ化物ガラスロッド26の表面に
付着している水分を除去したのち、本発明の被覆材を付
着してプリフォームを作製することである。
(2) A coating material 31 of Ge--Se glass that has been heated and vaporized is deposited on the fluoride glass rod 26. At this time, the coating material can be uniformly applied to the surface of the fluoride glass rod 26 by moving the support rod 27 back and forth or rotating it using the movement control unit 28 . What is important in this step is to remove moisture adhering to the surface of the fluoride glass rod 26 and then attach the coating material of the present invention to produce a preform.

なお、第4図では薄膜製造部として真空蒸着法を用いた
が、これに限定されることなくスパッタ法等を用いても
良い。例えば、薄膜製造部としてスパッタ法を用いた場
合には、真空容器25の内に電極及びGe−5e’Jd
ターゲツトを備えておき、真空容器25の内に10−2
〜10−3Torr程度の圧力で計ガスを導入すれば、
真空蒸着法と同様にGe −Se系ガラスの被覆材を付
着したプリフォームを作製することができる。
In addition, in FIG. 4, a vacuum evaporation method is used for the thin film manufacturing section, but the method is not limited to this, and a sputtering method or the like may be used. For example, when a sputtering method is used in the thin film manufacturing section, an electrode and a Ge-5e'Jd
Prepare a target and place 10-2 in the vacuum container 25.
If the gauge gas is introduced at a pressure of ~10-3 Torr,
Similarly to the vacuum evaporation method, a preform to which a Ge-Se glass coating is attached can be produced.

上述のように、本発明により、フッ化物ガラスロッド2
6を作製し、次にロッド26の表面に付着している水分
をハロゲン系ガスのプラズマで完全に除去したのち、G
e −Se系ガラスの被覆材をワンド26表面に付着し
たフッ化物・ガラスファイバ用プリフォームを作製する
ことにより、大気中に上記プリフォームを線引きしても
水分が全く混入しないフッ化物ガラスファイバを提供す
ることができる。
As mentioned above, according to the invention, the fluoride glass rod 2
6, and then completely remove the moisture adhering to the surface of the rod 26 with halogen gas plasma.
By producing a preform for fluoride glass fiber with e-Se glass coating material attached to the surface of the wand 26, it is possible to create a fluoride glass fiber that does not contain any moisture even when the preform is drawn in the atmosphere. can be provided.

(発明の効果) 以上詳細に説明したように、本発明はコア部とコア部よ
りも屈折率が小なるクラッド部とが共にZrFa、−B
aF、−NaF−LaFs−^lF、の成分を少なくと
も含有するフッ化物ガラスロッドの表面にGe −Se
系ガラスを被覆したフッ化物ガラスファイバ用プリフォ
ームを作製することにより、プリフォームを線引きする
際に全く水分が混入しないため、ファイバの線引き時に
生じる散乱損失、ファイバの機械強度の低下及び吸収損
失を抑制することができる。従って、今後期待されてい
る2〜4μm帯の長路Mi1!1信用フッ化物ガラスフ
ァイバを低損失でかつ高強度で作製できるため、その効
果は極めて大である。
(Effects of the Invention) As explained in detail above, the present invention provides that both the core portion and the cladding portion having a lower refractive index than the core portion are made of ZrFa, -B.
Ge-Se on the surface of a fluoride glass rod containing at least the components aF, -NaF-LaFs-^IF,
By producing a preform for fluoride glass fiber coated with glass, no moisture is mixed in when drawing the preform, which reduces scattering loss, decrease in fiber mechanical strength, and absorption loss that occur during fiber drawing. Can be suppressed. Therefore, long-path Mi1!1 reliable fluoride glass fibers in the 2 to 4 μm band, which are expected in the future, can be produced with low loss and high strength, so the effect is extremely large.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図(イ)(ロ)(ハ)(ニ)は従来のフッ化物ガラ
スロッドの製造工程図を説明するための略図、第2図は
本発明によるGe −Seガラスの粘性一温度特性側図
、第3図は本発明に用いるフッ化物ガラスロッドの製造
に用いられる製造装置の概略構成側図、第4図は本発明
によるフッ化物ガラスファイバ用プリフォームを作製す
る装置の概略図である。 1.12・・・タラソドガラス融液(クラッド用ガラス
)、2・・・金属製鋳型、3・・・クラッドガラス管、
4.14・・・コアガラス融液(コア用ガラス)、11
・・・ノズル付るつぼ、13・・・ノズル付内るつぼ、
15・・・移動棒、16・・・ガラス引き出し用治具、
17、34・・・ガス導入口、18・・・密閉容器、1
9、29・・・高周波コイル、20・・・熱電対、21
・・・制御系、22.30・・・高周波電源、23・・
・駆動装置、24、35・・・排気口、25・・・真空
容器、26・・・フッ化物ガラスロッド、27・・・支
持棒、28・・・移動制御部、31・・・被覆材ソース
、32・・・蒸着用加熱るつぼ、33・・・加熱器。
Figure 1 (a), (b), (c), and (d) are schematic diagrams for explaining the manufacturing process diagram of a conventional fluoride glass rod, and Figure 2 is a side view of the viscosity-temperature characteristics of the Ge-Se glass according to the present invention. 3 is a schematic side view of the manufacturing apparatus used for manufacturing the fluoride glass rod used in the present invention, and FIG. 4 is a schematic diagram of the apparatus for manufacturing the preform for fluoride glass fiber according to the present invention. . 1.12... Thalassod glass melt (glass for cladding), 2... Metal mold, 3... Clad glass tube,
4.14...Core glass melt (glass for core), 11
... Crucible with nozzle, 13... Inner crucible with nozzle,
15... Moving rod, 16... Glass drawer jig,
17, 34...Gas inlet, 18...Airtight container, 1
9, 29...High frequency coil, 20...Thermocouple, 21
...Control system, 22.30...High frequency power supply, 23...
- Drive device, 24, 35... Exhaust port, 25... Vacuum container, 26... Fluoride glass rod, 27... Support rod, 28... Movement control unit, 31... Covering material Source, 32... Heating crucible for vapor deposition, 33... Heater.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)コア部と該コア部よりも屈折率が小なるクラッド
部とが共にZrF_4−BaF_2−NaF−LaF_
3−AlF_3の成分を少なくとも含有し、かつNaF
の含有量がモル%で表した場合に15≦NaF≦25の
範囲にあるフッ化物ガラスロッドと、該フッ化物ガラス
ロッドの表面を被覆するためのSeと10モル%以上で
かつ20モル%以下のGeとを少なくとも含むGe−S
e系ガラスから成る被覆層とから構成されているフッ化
物ガラスファイバ用プリフォーム。
(1) Both the core part and the cladding part whose refractive index is smaller than the core part are ZrF_4-BaF_2-NaF-LaF_
Contains at least a component of 3-AlF_3 and contains NaF
A fluoride glass rod whose content, expressed in mol%, is in the range of 15≦NaF≦25, and Se for coating the surface of the fluoride glass rod, which is 10 mol% or more and 20 mol% or less. Ge-S containing at least Ge of
A preform for a fluoride glass fiber comprising a coating layer made of e-type glass.
(2)コア部と該コア部よりも屈折率が小なるクラッド
部とが共にZrF_4−BaF_2−NaF−LaF_
3−AlF_3の成分を少なくとも含有し、かつNaF
の含有量がモル%で表した場合に15≦NaF≦25の
範囲にあるフッ化物ガラスロッドを作製する第1の工程
と、ハロゲン系ガスのプラズマを発生させるプラズマ発
生部とSeと20モル%以下のGeとを少なくとも含有
する被覆層を作製する薄膜製造部とを内部に有する真空
容器内に該フッ化物ガラスロッドを挿入して該プラズマ
発生部で発生した該プラズマと前記フッ化物ガラスロッ
ドとを反応させて前記ロッドの表面に付着している水分
を除去する第2の工程と、前記薄膜製造部で作製した前
記被覆層により前記フッ化物ガラスロッドの表面を被覆
する第3の工程とを含むフッ化物ガラスファイバ用プリ
フォームの製造方法。
(2) Both the core part and the cladding part whose refractive index is smaller than the core part are ZrF_4-BaF_2-NaF-LaF_
Contains at least a component of 3-AlF_3 and contains NaF
A first step of producing a fluoride glass rod in which the content of NaF is in the range of 15≦NaF≦25 when expressed in mol%, a plasma generation part that generates plasma of halogen gas, and Se and 20 mol%. The fluoride glass rod is inserted into a vacuum container having a thin film production section for producing a coating layer containing at least Ge as described below, and the plasma generated in the plasma generation section and the fluoride glass rod are a second step of reacting to remove moisture adhering to the surface of the rod; and a third step of covering the surface of the fluoride glass rod with the coating layer produced in the thin film manufacturing department A method of manufacturing a preform for a fluoride glass fiber comprising:
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0412035A (en) * 1990-05-01 1992-01-16 Natl Inst For Res In Inorg Mater Rare earth element-containing fluoride glass
JP2007505233A (en) * 2003-09-11 2007-03-08 イマジン エンタープライジーズ, エルエルシー Multi piece bra
WO2023008101A1 (en) * 2021-07-27 2023-02-02 国立大学法人東北大学 Optical fiber emitter, emitter array, radiation measurement device, and optical fiber emitter production method

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0412035A (en) * 1990-05-01 1992-01-16 Natl Inst For Res In Inorg Mater Rare earth element-containing fluoride glass
JP2007505233A (en) * 2003-09-11 2007-03-08 イマジン エンタープライジーズ, エルエルシー Multi piece bra
WO2023008101A1 (en) * 2021-07-27 2023-02-02 国立大学法人東北大学 Optical fiber emitter, emitter array, radiation measurement device, and optical fiber emitter production method

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