JPS63142245A - 計測装置 - Google Patents

計測装置

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JPS63142245A
JPS63142245A JP61280553A JP28055386A JPS63142245A JP S63142245 A JPS63142245 A JP S63142245A JP 61280553 A JP61280553 A JP 61280553A JP 28055386 A JP28055386 A JP 28055386A JP S63142245 A JPS63142245 A JP S63142245A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、放射線を利用して被測定物質のある物理量
の空間的平均値を求める成分分析装置に関するものであ
る。
〔従来の技術〕
第2図は、従来の放射線を用いた成分分析装置例えば配
管内流体の成分分析装置を示す概念図であり、図におい
て、(1)は放射線源例えはX線源筐たはr線源、(、
りはこの放射線源(1)から放出された放射線例えばX
線またはr線、(3)はこの放射線(,2)が照射され
る配管、(りは配管(3)内を流れる例えばa成分の被
測定物質である被測定流体、(夕)は配管(3)をはさ
んで放射線源(1)と反対側に設けられたコリメータ、
(6)はこのコリメータ(5)を貫通して設けられ、放
射線が通過する貫通穴、(7)はこの貫通穴(6)を通
過した放射線(2)を検出する放射線検出器、(r)は
この放射線検出器(ワ)からの信号を処理し、被測定流
体(りのある物理量を出力する信号処理・演算処理装置
である。
従来の成分分析装置は上述したように構成され、一般に
、物質中での放射線例えばxlsまたはr線の減衰は次
式で記述される。
I = I、 8Xp(−μρ1)         
 (1)ここで、工。は入射放射線強度、μは物質の放
射線に対する吸収係数、ρは物質の比重、tは物質中で
の放射線の通過厚さ、工は透過厚さtを通過した後の放
射線強度である。第一図の被測定流体(5)が物質lと
物質コの二成分でできている場合、物質/、コの比重を
それぞれρ7.ρ4、物質/、2の放射線に対する質量
吸収係数をそれぞれμ7.μ4、ある位置における放射
線の通路に沿った物質/。
λの厚さの合計をそれぞれ1/ 、 1.、その位置に
おける被測定流体(5)の放射線通路の長さをぎとする
と、 μ、ρ、t、 +fi、I、t、 = in I、 /
 I −a    (L2)1、 + 11   = 
l            (、?)となる。aは配管
(3)の材質、厚みなどによって決まる定数であり、μ
7.μ1.ρ2.ρ4.■。、l は予め知ることがで
きる。従って、二成分の割合がわからないとき、透過放
射線強度工を測定すれば、(2)。
(3)式から1..1ユを求めることができ、放射線の
通路上での成分割合を求めることができる。
第2図において、放射線(=)は放射線源(1)から放
出され、配管(3)の壁、被測定流体(lI)を透過し
、コリメータ(ヤ)の貫通穴(6)を通過して放射線検
出器(ワ)に入射する。放射線検出器(7)からの信号
は、信号処理串演算処理装置(t)に送られ、そこで(
x) 、 (,7)式に基づいて1..1.が求められ
、放射線(2)の通路上の成分分析が行なわれる。配管
(3)内の二成分の分布は必ずしも一様ではないので、
コリメータ(5)を駆動装置(図示しない)により順次
動かし、貫通穴(6)の位置を変えて同様の測定をする
ことにより、n個の位置、つまりn個の放射線通路上の
成分割合が求められ、これらを平均することKより、あ
る断面内における被測定流体(弘)の成分割合の平均値
が得られる。この平均化演算も信号処理・演算処理装置
C,r)で行なわれる。
なお、(2)式は μ、p、tr、 + p、p、t、 = −in I 
+ c        (4t)と書くことができる。
放射線(2)のn個の通路なLと付して区別し、n個の
通路ついての和を求めると、それぞれ(lI)式、(3
)式に対応してが得られる。全通路についての成分/、
−の割合いは工りの値を得る必要がないのがわかる。す
なわち、被測定流体(5)の成分割合の断面円平均値は
、放射線(コ)に関係した量、つまり透過放射線強度工
のn個の通路についての値の対数の和を求めればよいこ
とがわかる。
さて、放射線(コ)は量子の一種であり、この放射線(
2)を測定するとき、その出力信号は一定の統計的ゆら
ぎを示す。このゆらぎによる測定誤差は、放射線(,2
)の強度が一定であれば測定時間の平方根に反比例して
小さくなるため、高い精度の測定をするためには、長い
計測時間が必要である。
また、コリメータ(5)の貫通穴(6)を順次移動させ
て放射線をn個測定するためには、7つの通路について
要する測定時間のほぼn倍が必要となる。
〔発明が解決しようとする問題点〕
上述したような成分分析装置では、精度よい測定をする
ためには長い測定時間を要するなどの問題点があった。
この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、被測定物質のある物理量の空間的平均値につ
いて、短い測定時間で高い精度の測定を可能にする成分
分析装置を得ることを目的とする。
〔問題点を解決するための手段〕
この発F!Aic係る成分分析装置は、被測定物質と放
射線検出器との間に、符号化されたパターンに従つ【互
いに独立した位置に複数個のパターン要素が設けられた
マスクパターンをn個(奇数個)有するマスクを備えた
ものである。
〔作用〕
この発明においては、マスクのパターン要素の位置を符
号化した規則に従って被測定物質のn個の点における個
々の測定値を求めるので、これらの測定値の対数の和を
求めた場合、n個の点について7個づつ測定してこれら
の対数の和を求めた場合より統計誤差を小さくすること
ができ、従って、得られた物理量は高い精度となる。
〔実施例〕
第1図はこの発明の一実施例を示す概念図であり、(1
)〜(+) 、 C5)、(r)は上述した従来装置に
おけるものと全く同一である。(tA)は固定コリメー
タであって、これにはn個(奇数個)の貫通穴(6A)
がはy等間隔に設けられている。そして(9)はマスク
例えば回転式符号化マスクであって、符号化されたパタ
ーンに従って互いに独立した位置に複数個のパターン要
素例えば貫通穴(10)またけしやへい要素(図示しな
い)を設けてlマスクパターンとし、互いに独立なマス
クパターンn個を円筒の軸に沿った壁面を有する。
上述したように構成された成分分析装置においては、固
定コリメータ(りA)は放射線検出器(7)と回転式符
号化マスク(9)の間に固定して設置されておシ、固定
コリメータ(tA)の貫通穴(6A)は回転式符号化マ
スク(9)の貫通穴(10)よりも小さい。また、回転
式符号化マスク(5)は駆動機構(図示しない)によっ
て回転させられることができ、放射線検出器(7)の前
にくるマスクパターンを順次変更することができる。回
転式符号化マスク(9)を放射線検出器(7)の前で静
止させたとき、そのマスクパターンの複数個のパターン
要素は、固定コリメータ(tA)のn個の貫通穴(6A
)の位置にくるようになっている。また、固定コリメー
タ(1A)の貫通穴(6A)は、これら貫通穴(6A)
を通過する放射線が、配管(3)断面をほぼ一様な密度
で通過するように開けられている。
被測定流体(り中を透過した放射線の強度を測定し、そ
の値から成分分析を行うことは従来装置における場合と
同様であるが、この発明では被測定流体(りのn個の点
におゆる放射線強度を測定する点が従来装置におけるも
のとは異なる。すなわち、回転式符号化マスク(5)が
ある位置に静止しているとき、固定コリメータ(1A)
にはn個の貫通穴(6A)が開いているが、回転式符号
化マスク(テ)により、貫通穴(lO)の下側にある固
定コリメータ(tA)の貫通穴(6A)を通過する放射
線のみが放射線検出器(7)で検出される。従って、回
転式符号化マスク(テ)を回転させ、次のマスクパター
ンに9いて同様に放射線を検出すると、n回の測定で/
セットの測定データが得られ、これらをもとに信号処理
・演算処理装置Ct>で個々の点における放射線の強度
を求め、その対数の和をると、コ成分の成分割合の断面
平均値が求められる。このとき、統計誤差による測定誤
差が従来装置によ、9n個の位置について1回づつ測定
する場合に比べて小さくなることは、後述する説明から
明らかである。また、回転式符号化マスク(9)を回転
させるとき、その位置の再現性が問題となることが多い
が、固定コリメータ(rA)の貫通穴(6A)は回転式
符号化マスク(5)の貫通穴(10)より小さいので、
回転式符号化マスク(テ)の位置が多少ずれても、放射
線検出器(7)に入射する放射線の量は変わらず、測定
誤差は生じない。
以下にこの発明による装置の成分分析について述べる。
空間内のn個の測定点に対応して、マスクとして異なる
マスクパターンをもったn枚のマスク板(図示しない)
があるとし、個々のマスク板は複数個のパターン要素を
もっているとする。各パターン要素は、放射線または光
などの量子を通過させ、放射線検出器(5)への入射を
許す貫通穴か、または入射を妨げるじゃへい要素である
。マスク板は7枚づつ放射線検出器(7)の前におかれ
、1枚のマスク板につき時間Δtの量測定がなされる。
1つの完結した測定データを得るためには、各マスク板
を7回づつ合計n回、従って、測定時間はn△を要する
。測定の都度得られる値は、マスク板の貫通穴の位置パ
ターンに対応する特定の通路についての和である。n個
の通路についての個々の未知の値は、n枚のマスク板の
貫通穴パターンが独立であれば、これらのマスク板に対
応した合計n個の測定値から求めることができる。
いま、それぞれXをn個の点における放射線または光な
どの強さからなるベクトル、dをマスク板が置かれて測
定されたn個の測定値からなるベクトル、Mをn枚のマ
スク板の貫通穴の位置パターンを示す行列とする。Mの
行列要素はl′または′0″であり、′/″は放射線ま
たは光を通過させる貫通穴、N onはそれらの通過を
さまたげるじゃへい要素とする。dはMとXを用いて a  =  M  11  x           
                         
     (5)と表わされる。もしMが逆行列M−’
をもつ、すなわちn枚のマスク板の貫通穴パターンが独
立であると、個々の点における値Xは X=MlIMX −=M−/・↑            (f)として
測定値dから求められる。
なお、従来装置における1点づつ測定を行う方法は、上
述の特殊なケース、つまりMを単位行列とした場合であ
る。
ここでは、Mをアダマール行列に基づいて生成するとM
 −/は士/を要素とする行列になり、Xの要素x、は
dの要素dノの加減算で求められることKなる。例えば
n = 7の場合について示すと、となる。ただし、+
はlを、−は−/を示す。
このとき 従って、ダx=Medであり、Xbはd7の加減算で求
められることがわかる。なお、Mは各行、各列にグ個の
/n、3個の”Q′を持っておシ、y −/は各行、各
列にダ個の十/、3個の一/を持っている。そこで、M
−’の要素(M−’C7を(M−’)、、4 = S=
、4           (/2)と表わすと である。
上述したn=7の場合、貫通穴の数は9個であり、μX
、がd7の加減算で求められたが、一般に、アダマール
行列に基づいてMを生成すると各行。
各列とも(n+/)/、2  要素が貫通穴になり、n
個の加減算によp   x;、が求められる。つまり(
lダ) ゝ=π、 i Sb/ d7 である。
次に、この発明により符号化されたマスク板を用いたX
 ln xb  の統計誤差は、X、を7回づつ測定す
る従来装置の場合より小さくなることを示す。
まず、簡単な場合として、n個の点における放射線また
は光の強度はほぼ等しく、計測値はNカウント7秒にほ
ぼ等しいとする。従来のxLを7回づつ測定する方法に
おいては、1個の点における測定時間として△tが割b
iてられ、全計測時間は符号化したマスク板を用いる場
合と同じく n△tとする。このときXLの期待性iは X・=N△1.               (/5
)X、の統計誤差σ工、は σ・=fフτ            (16)Xル 相対的統計誤差σ工、τは σ−で=′/石qbi        (/7)となる
。符号化したマスク板を用いる場合、(/、?)。
(lダ)式と を用いて X・ = NΔt                 
                Ci5)であり、そ
の統計誤差は、(l!I)式からn個のdiが全て同じ
重みで統計誤差をxLの統計誤差に伝播し・6°0統計
誤差“diは となる。
次K、Σlnx;、  の統計誤差の評価を行なう。一
般に、△X;、 / XA  が小さいとき−△X。
In(X2+△XL) = A’n X; + −(−
コ)XL である。従来法ではCtr)、(it)式よりΣln 
(XL) = x;、 A’n (NΔt)(コ3)と
なる。従って、Elnx;、の統計誤差に関するS/N
比(SNR)は = J n NΔt 1n(NΔt)       (
xt)となる。これに対して、この発明により符号化し
たマスク板を用いる場合には、(80式より△xL=−
Σs=、△d7 n+/ Σxb=)茶Sギj =□Σ(ΣS・・)d・ n+/、4  L  // (/3)式より1 、xxL=−Σd、4           (ム)n
+/ 従って Σ△xL=□ΣΣS・・△S・ n+/  Li  ”/r =−ギ(ΣS・・)Δd・ n十/  /   L  // =□ΣΔd・ n+/     ’ (26)式より、 なお、Σ1n(xz)  の期待値は従来法と同じでΣ
ln (x4) = n In(N△i)      
 Cxざ)また、その統計誤差σX 、n (x= )
は(2コ)、(/デ)、(コク)。
(2/)式を用いて (コざ)、(コ9)式よりS/N比は (討)式と(30)式を比較すると、従来法に比べ符号
化したマスク板を用いる方がヤ[電7)−一倍S/N比
が良いことがわかる。
以上は、空間上のn個の点について、放射線や光の強度
がほぼ等しい場合について解析的に示したが、n個の点
で強度の異なる場合についても、同様な結果が得られた
。すなわち、計算機シミュレーションにより、正規分布
をもつ乱数を発生させて100回のシミュレーションか
ら、SN比を従来法とこの発明による符号化したマスク
板を用いた場合について比較した結果、n個の強度の組
成よりバラツキはあったが、n=7について符号化した
マスク板を用いた場合の方が従来法よυS/N比がi’
s〜コ倍良かった。n = 7とすると/=Σ石=2で
あシ、空間のn個の点で強度がほぼ等しい場合の上述し
た解析結果と良い一致を示している。
以上のように、この発明によると、空間的に分布した被
測定流体のある物理量の平均値を求めるため、量子から
なる放射線や光の強度を空間上のn個の点で求め、それ
らの値の対数の和を求めるために、符号化した複数個の
貫通穴を持つマスク板を用いるので、放射線や光の強度
の対数のn個の和の統計誤差は小さくなシ、求める物理
量の平均値の精度は良くなることが示された。
なお、上述した実施例では、回転式符号化マスク(デ)
と固定コリメータ(りA)とを用いたが、コリメータだ
けをマスクとして用い、コリメータの貫通穴の位置をn
個の異なるマスクパターンで符号化しておき、このコリ
メータを動かすようにしてもよい。また、符号化したマ
スクあるいはコリメータの移動は回転式でなくとも直線
状の移動であってもよい。この場合には、マスクとして
それぞれ異なるマスクパターンを有する、逐次交換可能
なn枚のマスク板が使用できる。また、回転式符号化マ
スク(テ)の中心軸は、放射線検出器(ワ)側にとった
が、配管(3)側にあってもよい。
さらに、lマスクパターンを回転式符号化マスク(りの
円筒軸に沿って配列するとき、その)くターン要素であ
る貫通穴またはしやへい要素は必ずしも一直線上にある
必要はなく、2列になってもよいし、スペースの節約の
ため千鳥状に配列してもよい。
また、上述した実施例では、固定コリメータ(1A)の
位置は回転式符号マスク(テ)の内側に設置したが、そ
の外側に設置してもよい。
さらに、上述した実施例では、二成分からなる配管内被
測定流体の成分分析の場合について示したが、3成分で
あってもよい。この場合、光子エネルギーの異なる2種
類の放射線を用いればよいことは明らかである。
また、被測定流体の成分分析以外に、密度測定や不純物
量の測定なども行なうことができ、一般にこの発明によ
る装置は、空間的に分布した被測定物質のある物理量の
空間的平均値を求めるために、量子からなる放射線や光
などの強度を空間上のn個の点で求め、それらの値の対
数の和を求める装置であれば同様の効果を奏する。
〔発明の効果〕
この発明は以上説明したとおり、被測定物質と放射線検
出器の間に、符号化されたパターンに従って互いに独立
した位置に複数個のパターン要素が設けられたマスクパ
ターンなn個有fるマスクを備えたので、統計誤差が小
さくかつ短かい測定時間で高い精度の測定ができるとい
う効果がある。
【図面の簡単な説明】 第1図はこの発明の一実施例を示す概念図、第2図は従
来の成分分析装置を示す概念図である。 図において、(1)は放射線源、(2)は放射線、(3
)は配管、(りは被測定流体、(tA)は固定コリメー
タ、CgA) 、 (10’)は貫通穴、(7)は放射
線検出器、(gは信号処理・演算処理装置、(テ)は回
転式符号化マスクである。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 児1図 5A−固定コリメニタ 手続補正書 昭和62年 7月16日

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被測定物質に放射線を照射する放射線源と、前記
    被測定物質をはさんで前記放射線源と対向し、かつ符号
    化されたパターンに従つて互いに独立した位置に複数個
    のパターン要素が設けられたマスクパターンをn個有す
    るマスクと、前記被測定物質を透過しかつ前記マスクの
    パターン要素を通過した放射線を検出する放射線検出器
    と、この放射線検出器からの信号を処理し、前記被測定
    物質の物理量を出力する信号処理・演算処理装置とを備
    えたことを特徴とする成分分析装置。
  2. (2)マスクはn個の異なるマスクパターンを有する、
    回転可能な円筒状の符号化マスクであることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の成分分析装置。
  3. (3)マスクはそれぞれ異なるマスクパターンを有する
    、逐次交換可能なn枚のマスク枚であることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の成分分析装置。
  4. (4)マスクのパターン要素より小さいn個の貫通穴を
    有する固定コリメータを、マスクと放射線検出器との間
    に設けたことを特徴とする特許請求の範囲第1項ないし
    第3項のいずれか記載の成分分析装置。
  5. (5)マスクのパターン要素より小さいn個の貫通穴を
    有する固定コリメータを、マスクと被測定物質との間に
    設けたことを特徴とする特許請求の範囲第1項ないし第
    3項のいずれか記載の成分分析装置。
  6. (6)マスクのパターン要素は、貫通穴またはしやへい
    要素であることを特徴とする特許請求の範囲第1項、第
    4項または第5項記載の成分分析装置。
  7. (7)マスクとしてn個の異なるマスクパターンを有す
    る移動式のコリメータを用いることを特徴とする特許請
    求の範囲第1項記載の成分分析装置。
JP61280553A 1986-11-25 1986-11-25 計測装置 Expired - Lifetime JPH07117502B2 (ja)

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CA000552644A CA1290469C (en) 1986-11-25 1987-11-24 Measurement apparatus employing radiation
US07/124,558 US4885759A (en) 1986-11-25 1987-11-24 Measurement apparatus employing radiation

Applications Claiming Priority (1)

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JP61280553A JPH07117502B2 (ja) 1986-11-25 1986-11-25 計測装置

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