JPS63139613U - - Google Patents

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JPS63139613U
JPS63139613U JP2883287U JP2883287U JPS63139613U JP S63139613 U JPS63139613 U JP S63139613U JP 2883287 U JP2883287 U JP 2883287U JP 2883287 U JP2883287 U JP 2883287U JP S63139613 U JPS63139613 U JP S63139613U
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JP
Japan
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switch
opens
oil
opening
pressure receiving
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JP2883287U
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  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の実施側によるガス流量制御
弁の縦断面図、第2図はそのオイル供給回路の変
形図、第3図は従来のガス流量制御弁の1部の縦
断面図である。 11は弁体、12は入口通路、13は出口通路
、14はポート、17はオイル、19はシリンダ
、20はピストン、21はオイル供給回路、22
,23は第1、第2のオイル排出回路、25,2
6,28は第1、第2、第3の電磁弁、30は受
圧ダイアフラム。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 入口通路および出口通路間のポートを開閉する
    弁体と、前記弁体を取付けたピストンロツドを駆
    動するようにシリンダ内にオイルを供給するオイ
    ル供給回路と、前記シリンダ内からオイルを排出
    する第1、第2オイル排出回路と、前記出口通路
    のガス圧に応動する受圧ダイアフラムと、前記受
    圧ダイアフラムの第1の応動変化により開閉制御
    される第1のスイツチおよび該受圧ダイアフラム
    の第2の応動変化により開閉される第2のスイツ
    チと、前記第1のスイツチの開閉制御信号を受け
    て前記オイル供給回路を閉じる第1の電磁弁と、
    前記第2のスイツチの開閉制御信号を受けて前記
    第1のオイル排出回路を開く第2の電磁弁と、通
    電停止により電記第2のオイル排出回路を開く第
    3の電磁弁とを備えたガス流量制御弁。
JP2883287U 1987-03-02 1987-03-02 Pending JPS63139613U (ja)

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JP2883287U JPS63139613U (ja) 1987-03-02 1987-03-02

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JPS63139613U true JPS63139613U (ja) 1988-09-14

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ID=30832157

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JP2883287U Pending JPS63139613U (ja) 1987-03-02 1987-03-02

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