JPS63136613A - ウエハカセツトの認識方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的コ （産業上の利用分野） 本発明は、ウェハを収容するウェハカセットの位置また
は種類を、ロボット等に配置された外部検出器で認識す
るウェハカセットの認識方法に関する。

（従来の技術） 一般に、ウェハカセットは、発塵の少ない樹脂等により
多数のウェハを収容可能に構成され、半導体素子の製造
ラインにおけるウェハの工程間の搬送等に用いられる。

また、例えば洗浄装置による洗浄等においては、多数の
ウェハを上記ウェハカセット内に収容し、このウェハカ
セットを、洗浄槽内に多数配置して、洗浄を行なう場合
が多い。

一方、半導体素子の製造ラインでは、高レベルの清浄化
雰囲気が要求されるため、無人化が図られており、ウェ
ハカセットの取り扱いも、ロボット等によって行なわれ
ることが多い。

上述のように、ロボット等によってウェハカセットを取
り扱う場合、ウェハカセットの位置、ウェハカセットの
種類等、ウェハカセットについての情報をロボットに認
識させる必要がある。

このようなウェハカセットの認識方法として、従来は、
主として光学的な方法が用いられている。

すなわち、例えばウェハカセットに配置されたマークを
光学的な読み取り装置等からなる外部検出器で読み取り
、認識する方法、あるいはウェハカセットに配置された
発光素子からの光を光学的な読み取り装置等からなる外
部検出器で読み取り、認識する方法等がある。これらの
方法では、非接触で情報を認識することができるという
利点がある。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、上述の従来のウェハカセットの認識方法
では、例えば洗浄装置の洗浄槽内等、液体中あるいは液
体によって濡れた状態のウェハカセット等についての情
報の認識を行なう場合、液体によって光が屈折され、正
確な認識を行なうことができないという問題がある。ま
た、カセット洗浄時に認識マークが洗浄液によっておか
されたりして、認識エラーを発生するという問題もある
。

本発明は、かかる従来の事情に対処してなされたもので
、液体中あるいは液体によって濡れた状態のウェハカセ
ット等でも、非接触で正確に情報の認識を行なうことの
できるウェハカセットの認識方法を提供しようとするも
のである。

［発明の構成］ （問題点を解決するための手段） すなわち本発明は、ウェハを収容するウェハカセットに
外部検出器を近接させて、前記ウェハカセットについて
の情報を読み取って認識するにあたり、磁界を形成する
手段と該手段によって形成された磁界に感応する手段と
により、前記ウェハカセットについての情報を前記外部
検出器で読み取って認識することを特徴とする。

（作　用） 本発明のウェハカセットの認識方法では、磁界を形成す
る手段と、この手段によって形成された磁界に感応する
手段とを用い、磁界によって、例えばウェハカセットの
位置、ウェハカセットの種類等のウェハカセットについ
ての情報をロボット等に配置された外部検出器に伝達す
る。

したがって、例えば液体中あるいは液体によって濡れた
状態のウェハカセット等でも、非接触で正確に情報の認
識を行なうことができる。

（実施例） 以下本発明方法の実施例を図面を参照して説明する。

第１図に示すウェハカセットは、樹脂等の非磁性体から
構成されたカセット本体１と、このカセット本体１に埋
設され一定周波数の電気信号に対して共振する共振子２
とから構成され、カセット本体１内には、多数のウェハ
３がほぼ平行に並べられて収容される。なお、共振子２
は、その共振周波数が、例えばウェハカセット毎、ある
いはウェハカセットの種類等により、異なるよう設定さ
れている。

また、ウェハカセットの情報を読み取る外部検出器４は
、例えばスイープ発振部４ａ、磁界形成部４ｂ等から構
成されている。

上記構成の装置を用いてこの実施例では、外部検出器４
の磁界形成部４ｂからカセット本体１の共振子２に向け
て交番磁界を形成する。この交番磁界の周波数は、スイ
ープ発信部４ａによって一定の周波数域において掃引さ
れ、この周波数によって共振子２内に誘導される電気信
号の周波数も変化する。そして、この電気信号の周波数
が共振子２の共振周波数となると、共振子２によって吸
収されるエネルギに変化が生じ、外部検出器４で発振強
度を検出することによってこの変化を検出し、どのよう
な共振周波数の共振子２が配置されたウェハカセットで
あるかを認識する。

なお、共振子２は、異なる共振周波数を持つ複数の共振
子２を組み合わせて用いれば、さらに多数の認識コード
を得ることができる。

すなわち上記実施例方法では、ウェハカセット毎、ある
いはウェハカセットの種類等により異なった共振周波数
の共振子２をカセット本体１内に埋設しておき、外部検
出器４から一定の周波数域において挿引される交番磁界
を作用させて共振子２の共振周波数を検出し、どのよう
なウェハカセットであるかを認識する。したがって非接
触で、液体等の影響を受けずにウェハカセットの認識を
行なうことができる。

なお、上述の実施例では、カセット本体１に共振子２を
配置して、この共振子２に交番磁界を作用させて、ウェ
ハカセットの認識を行なったが、例えば第２図に示すよ
うに、カセット本体１内にエネルギ吸収部１２ａ、ＩＤ
コード発振部１２ｂ、信号返送部１２ｃとからなる発振
装置１２を配置し、外部検出器１３を、電力供給部１３
ａ、信号受信部１３ｂ、信号増幅部１３ｃ、信号認識部
１３ｄ等から構成してもよい。

この場合、外部検出器１３の電力供給部１３ａにより、
発振装置１２のエネルギ吸収部１２ａに交番磁界を作用
させ、電流を生じさせることによって発振装置１２にエ
ネルギを供給し、ＩＤコード発振部１２ｂおよび信号返
送部１２ｃによって所定の周波数の交番磁界からなるＩ
Ｄコードを発振させ、このＩＤコードを信号受信部１３
ｂ、信号増幅部１３Ｃ１信号認識部１３ｄで受信、増幅
、認識することによりウェハカセットの認識を行なう、
なお、電力供給は、交番磁界に限らず、外部検出器１３
に光源を設け、カセット本体１内のエネルギ吸収部１２
ａに太陽電池等を設け、太陽電池に光源からの光を照射
することによりエネルギを供給してもよい。

また、第３図に示すように、カセット本体２１に多数の
磁石２２を所定の配列、例えば−列に並べて配置してお
き、これらの磁石２２の配列の状態、例えばＮ極とＳｔ
ｌ！！の配列順序等をウェハカセットの種類等によって
異なった構成としておき、これらの磁石２２の配列の状
態を、例えばホール素子、磁気抵抗素子等からなる外部
検出器２３で読みとることによってウェハカセットの認
識を行なうこともできる。

さらに第４図に示すように、カセット本体３１の所定の
位置に例えば間隔を設けて３個の磁石３２を配置してお
き、これらの磁石３２と同数の外部検出器３３によって
磁石３２の位置を検出し、カセット本体３１の位置を認
識する。これは、例えばロボットアーム等によってウェ
ハカセットを取扱う場合の位置決めとして利用すること
ができる。

［発明の効果］ 上述のように、本発明のウェハカセットの認識方法では
、液体中あるいは液体によって濡れた状態のウェハカセ
ット等でも、非接触で正確に情報の認識を行なうことが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例方法を説明するための装置の
構成図、第２図ないし第４図は他の実施例方法を説明す
るための装置の構成図である。 １・・・・・・カセット本体、２・・・・・・共振子、
３・・・・・・半導体ウェハ、４・・・・・・外部検出
器。 出願人　　東京エレクトロン株式会社 代理人　弁理士　　須　山　佐　− 第３図

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウェハを収容するウェハカセットに外部検出器を
   近接させて、前記ウェハカセットについての情報を読み
   取って認識するにあたり、磁界を形成する手段と該手段
   によって形成された磁界に感応する手段とにより、前記
   ウェハカセットについての情報を前記外部検出器で読み
   取って認識することを特徴とするウェハカセットの認識
   方法。
2. （２）磁界を形成する手段は、ウェハカセットに配設さ
   れた磁石である特許請求の範囲第１項記載のウェハカセ
   ットの認識方法。
3. （３）磁界を形成する手段は、外部検出器に配設された
   交番磁界発生器である特許請求の範囲第１項記載のウェ
   ハカセットの認識方法。