JPS6313237U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6313237U JPS6313237U JP10590786U JP10590786U JPS6313237U JP S6313237 U JPS6313237 U JP S6313237U JP 10590786 U JP10590786 U JP 10590786U JP 10590786 U JP10590786 U JP 10590786U JP S6313237 U JPS6313237 U JP S6313237U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hole
- shaft
- flange
- handle
- stopper
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 4
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 2
Landscapes
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例の断面図、第2図は
第1図の真空容器本体の長穴部周辺の矢視図、第
3図は従来の真空容器の断面図、第4図は第3図
の締付機構部の拡大断面図、第5図は第4図の真
空容器本体の長穴部周辺の矢視図である。 101a,201a…容器本体、101b,2
01b…容器フタ、101d,201h…フラン
ジ、102,202…機構本体、103,203
…ハンドル、104,204…シヤフト、105
,205…雌ねじ部、106,206…雄ねじ部
、107,207…ストツパ、108,208…
ピン、109,209…圧縮ばね、110,21
0…止め輪、111,211…ピン、112,2
12…貫通孔、113,213…くぼみ、114
…回転ストツパ、115,214…溝、116,
215…ねじ穴、117,216…鋼球、118
,217…圧縮ばね、119,218…押さえね
じ。
第1図の真空容器本体の長穴部周辺の矢視図、第
3図は従来の真空容器の断面図、第4図は第3図
の締付機構部の拡大断面図、第5図は第4図の真
空容器本体の長穴部周辺の矢視図である。 101a,201a…容器本体、101b,2
01b…容器フタ、101d,201h…フラン
ジ、102,202…機構本体、103,203
…ハンドル、104,204…シヤフト、105
,205…雌ねじ部、106,206…雄ねじ部
、107,207…ストツパ、108,208…
ピン、109,209…圧縮ばね、110,21
0…止め輪、111,211…ピン、112,2
12…貫通孔、113,213…くぼみ、114
…回転ストツパ、115,214…溝、116,
215…ねじ穴、117,216…鋼球、118
,217…圧縮ばね、119,218…押さえね
じ。
Claims (1)
- フランジを有する真空容器本体と、該フランジ
に設けられた長穴部を有する貫通孔と、該貫通孔
の周囲の一部にあつて該フランジの背面に設けら
れたくぼみと、該貫通孔の周囲であつてくぼみで
ない部分で該貫通穴中心に対角に位置する箇所に
設置された回転ストツパと、前記フランジの貫通
孔に位置整合する貫通孔を有し前記フランジに真
空容器のふたを押える段付き機構本体と、段付き
中空円筒形でかつ円筒部の一部に雌ねじ部を有し
先端が前記機構本体の段部に当接するハンドルと
、前記ハンドルと機構本体とフランジの貫通孔を
通り前記ハンドルの雌ねじ部に螺合する雄ねじ部
を有するシヤフトと、該シヤフトと前記ハンドル
の段部との間の隙間に設けられた圧縮ばねと、前
記シヤフトのハンドル側の先端部にはめ込まれた
ストツパと、該ストツパと前記シヤフト先端部を
貫通しかつシヤフト軸に垂直に設けられた回転用
取つ手と、前記シヤフトのフランジ側の端部にか
つシヤフト軸に垂直に設けられ前記フランジのく
ぼみおよび回転ストツパに対応するピンと、前記
機構本体とフランジとの間で前記シヤフトに取付
けられた止め具と、前記機構本体の貫通孔に接す
るシヤフト表面に設けられた複数の溝と、前記機
構本体の貫通孔に達しかつシヤフト軸に垂直に設
けられたねじ穴と、該ねじ穴中に挿入された鋼球
及び圧縮ばねと、該ねじ穴に螺合された押えねじ
とを有することを特徴とする真空容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10590786U JPS6313237U (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10590786U JPS6313237U (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6313237U true JPS6313237U (ja) | 1988-01-28 |
Family
ID=30980777
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10590786U Pending JPS6313237U (ja) | 1986-07-09 | 1986-07-09 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6313237U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009117534A (ja) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
-
1986
- 1986-07-09 JP JP10590786U patent/JPS6313237U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009117534A (ja) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |