JPS63131757U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63131757U JPS63131757U JP2482887U JP2482887U JPS63131757U JP S63131757 U JPS63131757 U JP S63131757U JP 2482887 U JP2482887 U JP 2482887U JP 2482887 U JP2482887 U JP 2482887U JP S63131757 U JPS63131757 U JP S63131757U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- bias voltage
- self
- matching circuit
- film forming
- Prior art date
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- Granted
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図および第2図は本考案の一実施例を示し
、第1図は概略的な全体図、第2図は作用説明図
である。また、第3図は他の実施例に用いた自動
コントロールシステムのブロツクダイヤグラムを
示している。 3a,3b……RF電極、7……RF電源、8
……マツチング回路、8a……RF出力端、9…
…バイアス電圧可変手段、10a,10b……バ
イアス電圧検出手段(フイルタ回路)。
、第1図は概略的な全体図、第2図は作用説明図
である。また、第3図は他の実施例に用いた自動
コントロールシステムのブロツクダイヤグラムを
示している。 3a,3b……RF電極、7……RF電源、8
……マツチング回路、8a……RF出力端、9…
…バイアス電圧可変手段、10a,10b……バ
イアス電圧検出手段(フイルタ回路)。
Claims (1)
- 単一のRF電源にマツチング回路を介し相互に
絶縁された複数のRF電極を並列に接続して多面
放電型構造を構成してなる成膜装置において、各
RF電極の自己バイアス電圧を検出するバイアス
電圧検出手段と、少なくとも一つのRF電極と前
記マツチング回路のRF出力端との間に介設され
該RF電極の自己バイアス電圧を変化させ得るバ
イアス電圧可変手段とを具備してなることを特徴
とするグロー放電型成膜装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987024828U JPH0623568Y2 (ja) | 1987-02-21 | 1987-02-21 | グロ−放電型成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987024828U JPH0623568Y2 (ja) | 1987-02-21 | 1987-02-21 | グロ−放電型成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63131757U true JPS63131757U (ja) | 1988-08-29 |
JPH0623568Y2 JPH0623568Y2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=30824407
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987024828U Expired - Lifetime JPH0623568Y2 (ja) | 1987-02-21 | 1987-02-21 | グロ−放電型成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0623568Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010077452A (ja) * | 2007-10-04 | 2010-04-08 | Canon Anelva Corp | 高周波スパッタリング装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59183827A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-19 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | プラズマ連続処理装置 |
-
1987
- 1987-02-21 JP JP1987024828U patent/JPH0623568Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59183827A (ja) * | 1983-03-31 | 1984-10-19 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | プラズマ連続処理装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010077452A (ja) * | 2007-10-04 | 2010-04-08 | Canon Anelva Corp | 高周波スパッタリング装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0623568Y2 (ja) | 1994-06-22 |