JPS63131521A

JPS63131521A - ドライエツチング装置

Info

Publication number: JPS63131521A
Application number: JP61278184A
Authority: JP
Inventors: Hidetaka Jo; 城　英孝
Original assignee: Tokuda Seisakusho Co Ltd
Current assignee: Tokuda Seisakusho Co Ltd
Priority date: 1986-11-21
Filing date: 1986-11-21
Publication date: 1988-06-03
Also published as: JPH0469811B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明はドライエツチング装置に係り、特に放電電極を
改良したドライエツチング装置に関する。

（従来の技術）一般に、真空容器の内部に放電電極を配置し、この放電
電極に高電圧を印加してグロー放電あるいはプラズマ放
電を発生させ、半導体ウェハのエツチングを行なうドラ
イエツチング装置が多く用いられている。

上記のような装置においては、放電電極を真空容器の上
面に設置し、この電極内に冷却水通路を設け、ウェハを
上記電極下面に静電チャックにより固定してウェハを冷
却しながらエツチングを行なうようにしている。

（発明が解決しようとする問題点）しかし、発明者らは、放電が安定し均一なエツチングを
行なうことができることから、放電電極を真空容器の下
方に配置し、この電極の上面につエバを載置してエツチ
ングを行なうドライエツチング装置を開発した。そのた
め、上記従来の電極をそのまま適用することができず、
しかも、発明者らは、直接ウェハを搬送せず、ウェハを
トレーの上に載置してエツチングを行なうことも同時に
開発したが、トレーの存在によりウェハを固定する静電
チャックの電源の供給手段等が聞届となっていた。

本発明は上記した点に鑑みてなされたもので、電極を下
方に配置しトレーを用いた場合でも確実に静電チャック
用電源および冷却水を供給することができるドライエツ
チング装置を提供することを目的とするものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段）上記目的を達成するため本発明に係るドライエツチング
装置は、真空容器内部に底面を貫通する昇降シャフトを
昇降自在に設け、この昇降シャフトの上面に、内部に冷
却水通路を有するとともに、中心部に静電チャック用電
源を供給する導電ピンおよびこの導電ピンの上下端部に
接続され外部に露出する導電ばねをそれぞれ付する放電
電極を固着し、上記真空容器の底面に、搬送装置により
搬送され、ウェハを載置し上記上部の導電ばねに接触す
る静電チャック用電極が下面に露出したトレーを支持す
るピンを上記電極を貫通して設け、上記昇降シャフトの
内部に上記冷却水通路に冷却水を導入、排出する配管お
よび上記下部の導電ばねに接続される静電チャック用電
線を挿通して構成されている。

（作　用）本発明によれば、冷却水の導入、排出配管および静電チ
ャック用電源の電線を昇降シャフトの内部に挿通させる
ことにより、昇降動作する電極に冷却水を供給し、かつ
、電極の導電ばねおよび導電ピンに静電チャック用電源
を供給することができ、さらに、上記導電ばねにより静
電チャックを有するトレーの静電チャック用電極に電源
を供給することができ、トレー上のウェハを雄実に静電
チャックにより固定することができるものである。

（実施例）以下、本発明の実施例を第１図乃至第３図を参照して説
明する。

第１図および第２図は本発明の一実施例を示したもので
、上板が脱着自在とされた真空容器１の内部上方には、
内方に突出する突出部２が形成され、この真空容器１の
下面には、軸支部材３が固着されている。この軸支部材
３には、中心に貫通孔４を有し上端に平板部５が一体に
形成された昇降シャフト６が軸支されており、この昇降
シャフト６の下端部には、エアシリンダ７が接続され、
このエアシリンダ７の駆動により上記昇降シャフト６を
昇降自在としている。上記昇降シャフト６の平板部５の
上面には、冷却板として機能する電極８が固着されてお
り、この電極８の内部には、冷却水通路９が設けられ、
上記電極８の中央部には、下面に開口し上記冷却水通路
９に連通ずる冷却水導入口１０および冷却水排出口１１
がそれぞれ設けられている。さらに、第３図に示すよう
に、上記電極８の中心部には、中心に導電ピン１２が挿
入された絶縁棒１３が埋設されており、この絶縁棒１３
の上下端部には、上記導電ピン１２に接続された導電ば
ね１４，１４が接続されている。

また、上記昇降シャフト６の貫通孔４内には、上記電極
８の導入口１０および排出口１１に接続された冷却水の
導入管１５および排出管１６がそれぞれ挿通されるとと
もに、端部が上記下方の導電ばね１４に接触する静電チ
ャック用電線１７が挿通されている。

また、上記真空容器１の下面には、上記昇降シャフト６
の平板部５および電極８を貫通するピン（本実施例では
４本）１８．１８・・・が取付けられており、真空容器
１の側面には、トレー１９に載置されたウェハ２０を搬
送する搬送口２１が形成されている。このトレー１９の
上面には、誘電体膜２２で被覆された静電チャック用電
極２３が接着され、この電極２３は、トレー１９の中心
部を貫通して下面に露出している。

本実施例においては、図示しない搬送装置によりトレー
１９に載置されたウェハ２０を搬送口２１から真空容器
１内に搬送し、第１図に示すように、上記ビン１８の上
に載置する。そして、上記エアシリンダ７を駆動して昇
降シャフト６を上昇させ、上記トレー１９を電極８上に
載せるとともに、第２図に示すように、このトレー１９
の周縁部が真空容器１の突出部２に当接するまでトレー
１９を上昇させトレー１９を押付ける。この状態で上記
導電ばね１４と上記トレー１９の静電チャック用電極２
３とが接触し、静電チャック用電線１７を介して電圧を
印加することにより、ウェハ２０はトレー１９上に静電
的に固定される。一方、上記突出部２とトレー１９とに
より真空容器１の上方に１つの室が形成される。このと
き、上記導電ばね１４は、トレー１９の重量により容易
に縮む程度の付勢力を有するように形成されている。そ
して、上記電極８に高電圧を印加することにより、ウェ
ハ２０の上面に放電を発生させ、ウェハ２０のドライエ
ツチングを行なうようにしている。

エツチングが終了したら、昇降シャフト６を下降させ、
トレー１９をビン１８上に保持させる。

これにより、トレー１９の電極２３への通電がなくなり
、静電チャックは解除される。

したがって、本実施例においては、ウェハ２０を確実に
静電チャックにより固定することができ、しかも、トレ
ー１９を突出部２に押付けることによりトレー１９と電
極８が密着す゛るので、電極８内の冷却水通路９を流れ
る冷却水により効率よくウェハ２０の冷却を行なうこと
ができる。

〔発明の効果〕

以上述べたように本発明に係るドライエツチング装置は
、冷却水の導入、排出配管および静電チャック用電源の
電線を昇降シャフトの内部に挿通させるようにしたので
、昇降動作する電極に冷却水を供給し、かつ、電極の導
電ばねおよび導電ビンに静電チャック用電源を供給する
ことができる。

さらに、上記導電ばねにより静電チャックを有するトレ
ーの静電チャック用電極に電源を供給することができ、
トレー上のウェハを確実に静電チャックにより固定する
ことができる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第３図はそれぞれ本発明の一実施例を示した
もので、第１図および第２図はそれぞれ縦断面図、第３
図は電極中央部分の縦断面図である。１・・・真空容器、６・・・昇降シャフト、８・・・電
極、９・・・冷却水通路、１０・・・冷却水導入口、１
１・・・冷却水排出口、１２・・・導電ビン、１４・・
・導電ばね、１５・・・導入管、１６・・・排出管、１
７・・・静電チャック用電線、１８・・・ビン、１９・
・・トレー、２０・・・ウェハ、２３・・・静電チャッ
ク用電極。出願人代理人　　佐　　藤　　−雄ｎ　ｉｒ：ｉ　：’；　：　：’＋°″゛、’、ｕ−１
＋　７４二Ｔ７なし）６１　図も３図手続補正書昭和６１年１２月２２日

Claims

【特許請求の範囲】

真空容器内部に底面を貫通する昇降シャフトを昇降自在
に設け、この昇降シャフトの上面に、内部に冷却水通路
を有するとともに、中心部に静電チャック用電源を供給
する導電ピンおよびこの導電ピンの上下端部に接続され
外部に露出する導電ばねをそれぞれ有する放電電極を固
着し、上記真空容器の底面に、搬送装置により搬送され
、ウェハを載置し上記上部の導電ばねに接触する静電チ
ャック用電極が下面に露出したトレーを支持するピンを
上記電極を貫通して設け、上記昇降シャフトの内部に上
記冷却水通路に冷却水を導入、排出する配管および上記
下部の導電ばねに接続される静電チャック用電線を挿通
したことを特徴とするドライエッチング装置。