JPS63130915A - 回転軸受 - Google Patents
回転軸受Info
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- JPS63130915A JPS63130915A JP27393986A JP27393986A JPS63130915A JP S63130915 A JPS63130915 A JP S63130915A JP 27393986 A JP27393986 A JP 27393986A JP 27393986 A JP27393986 A JP 27393986A JP S63130915 A JPS63130915 A JP S63130915A
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- Japan
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- bearing
- rolling
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- Pending
Links
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
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- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C19/00—Bearings with rolling contact, for exclusively rotary movement
- F16C19/54—Systems consisting of a plurality of bearings with rolling friction
- F16C19/55—Systems consisting of a plurality of bearings with rolling friction with intermediate floating or independently-driven rings rotating at reduced speed or with other differential ball or roller bearings
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
本発明は、回転軸受において、互いに動く複数の回転部
材をころがり部材を介して多段構造としたことにより、
高速度回転においても極めて摩耗を少なくし、長寿命化
を可能にしたものである。
材をころがり部材を介して多段構造としたことにより、
高速度回転においても極めて摩耗を少なくし、長寿命化
を可能にしたものである。
本発明は、回転運動する軸を滑らかに支持するための回
転軸受に関する。
転軸受に関する。
従来の回転軸受は、互いに動く一対の内外輪の２面間に
玉やころを挟んでころがり接触させ、動きやすくしたも
のが一般に知られている。
玉やころを挟んでころがり接触させ、動きやすくしたも
のが一般に知られている。
上記従来の回転軸受では、通常は外輪が固定され、内輪
が回転軸に取付けられる。よって、回転軸が高速で回転
すると、それに伴って内輪も同じく高速で回転するため
、内輪と玉（もしくはこる）との相対速度、および玉（
もしくはこる）と外輪との相対速度も大きく、それらの
間で摩耗が生じるのを避けることはできなかった。この
ような摩耗は、これによって生じた摩耗物が周囲に付着
することにより各種の弊害を生じさせると共に、軸受自
体のライフタイムを早める原因になった。
が回転軸に取付けられる。よって、回転軸が高速で回転
すると、それに伴って内輪も同じく高速で回転するため
、内輪と玉（もしくはこる）との相対速度、および玉（
もしくはこる）と外輪との相対速度も大きく、それらの
間で摩耗が生じるのを避けることはできなかった。この
ような摩耗は、これによって生じた摩耗物が周囲に付着
することにより各種の弊害を生じさせると共に、軸受自
体のライフタイムを早める原因になった。
本発明は、上記問題点に鑑み、高速度回転においても極
めて摩耗が少なく、長寿命の回転軸受を提供することを
目的とする。
めて摩耗が少なく、長寿命の回転軸受を提供することを
目的とする。
本発明の回転軸受は、互いに動く複数の回転部材を互い
にころがり部材を介して同一の回転中心を持つように配
置し、多段構造としたものである。
にころがり部材を介して同一の回転中心を持つように配
置し、多段構造としたものである。
上記複数の回転部材の配置方向に沿った一方の端にある
回転部材を固定し、他方の端にある回転部材に回転軸を
取付ければ、回転軸の回転力がころがり部材を介して複
数の回転部材を次々に回転させようとする。ところが、
上記ころがり部材がその回転を次々に吸収するため、回
転軸からより遠い位置に配置された回転部材はど回転数
が減少していく。従って、各回転部材とこれに接触した
各ころがり部材との間の相対速度は非常に小さくなり、
よって高速回転においても摩耗が極めて少なく、長寿命
化が可能になる。
回転部材を固定し、他方の端にある回転部材に回転軸を
取付ければ、回転軸の回転力がころがり部材を介して複
数の回転部材を次々に回転させようとする。ところが、
上記ころがり部材がその回転を次々に吸収するため、回
転軸からより遠い位置に配置された回転部材はど回転数
が減少していく。従って、各回転部材とこれに接触した
各ころがり部材との間の相対速度は非常に小さくなり、
よって高速回転においても摩耗が極めて少なく、長寿命
化が可能になる。
以下、本発明の実施例について、図面を参照しながら説
明する。
明する。
本発明の第１、第２の実施例に係る回転軸受を回転陽極
の接地用治具として適用した回転陽極型Ｘ線発生装置の
主要部を拡大してそれぞれ第１図、第２図に示し、従来
の一般的な回転陽極型ｘ１発生装置の全体構成を第３図
に示す。
の接地用治具として適用した回転陽極型Ｘ線発生装置の
主要部を拡大してそれぞれ第１図、第２図に示し、従来
の一般的な回転陽極型ｘ１発生装置の全体構成を第３図
に示す。
現在、この種のＸ線発生装置は、半導体パターンの微細
化に伴い、これに対応できなくなった従来の微細パター
ン転写技術に代わって注目されるようになってきた。従
来の一般的な装置は第３図に示すように、真空容器ｌ内
で、例えば５１１Ｍ０２Ａｌ、Ｐｄ、Ｗ等でできた回転
陽極２を高速（例えばＬ５０ＱＯｒｐａ＋ ）で回転さ
せ、これに電子銃３から偏向器４を介して電子ビームを
発射し、これによって発生したＸ線を窓１ａから取り出
すようにしたものである。上記回転陽極２の高速回転は
、気体軸受５によって支持されたセラミック製の回転軸
６をモータ７で回転させることによって得ている。上記
気体軸受５は、ガス注入口５ａから内部にガス（破線の
矢印で示す）を送ると共に、真空容器１内にガスが入ら
ないように差動排気口５ｂからガスの排気を行うことに
より、回転軸６を空中に支持するものである。
化に伴い、これに対応できなくなった従来の微細パター
ン転写技術に代わって注目されるようになってきた。従
来の一般的な装置は第３図に示すように、真空容器ｌ内
で、例えば５１１Ｍ０２Ａｌ、Ｐｄ、Ｗ等でできた回転
陽極２を高速（例えばＬ５０ＱＯｒｐａ＋ ）で回転さ
せ、これに電子銃３から偏向器４を介して電子ビームを
発射し、これによって発生したＸ線を窓１ａから取り出
すようにしたものである。上記回転陽極２の高速回転は
、気体軸受５によって支持されたセラミック製の回転軸
６をモータ７で回転させることによって得ている。上記
気体軸受５は、ガス注入口５ａから内部にガス（破線の
矢印で示す）を送ると共に、真空容器１内にガスが入ら
ないように差動排気口５ｂからガスの排気を行うことに
より、回転軸６を空中に支持するものである。
また、このような気体軸受５でセラミック製の回転軸６
を支えるようにした場合の回転陽極２の接地は、先端部
８ａが可動もしくは固定状態にある接地用治具８を用い
、この他端を真空容器１の内壁に固定し、上記先端部８
ａを回転陽極２の端面２ａに直接に点接触させることに
より行っていた（あるいは、カーボンブラシ等を用いた
ものもある）。ところがこの場合、非回転体（先端部８
ａ）と回転体（端面２ａ）が接触するため、接触面に摩
耗が生じる。すると、これによって発生した摩耗物が真
空容器ｌ中に浮遊し、その中の絶縁物に付着することに
よって放電の原因になると共に、装置のライフタイムが
短くなるという問題があった。
を支えるようにした場合の回転陽極２の接地は、先端部
８ａが可動もしくは固定状態にある接地用治具８を用い
、この他端を真空容器１の内壁に固定し、上記先端部８
ａを回転陽極２の端面２ａに直接に点接触させることに
より行っていた（あるいは、カーボンブラシ等を用いた
ものもある）。ところがこの場合、非回転体（先端部８
ａ）と回転体（端面２ａ）が接触するため、接触面に摩
耗が生じる。すると、これによって発生した摩耗物が真
空容器ｌ中に浮遊し、その中の絶縁物に付着することに
よって放電の原因になると共に、装置のライフタイムが
短くなるという問題があった。
そこで上記Ｘ線発生装置において、上記接地用治具８の
代わりに、本発明の第１の実施例に係る回転軸受を使用
したのが第１図である。この回転軸受ｌＯは、互いに動
き互いに径の異なる複数の環状の回転部材１１．１２．
１３．１４．１５を、ころがり部材１６．１７．１８．
１９を介し、回転中心Ｃに対して同心円状に配置し多段
構造としたものである。なお、上記ころがり部材１６〜
１９は玉であってもよく、あるいはころであってもよい
。
代わりに、本発明の第１の実施例に係る回転軸受を使用
したのが第１図である。この回転軸受ｌＯは、互いに動
き互いに径の異なる複数の環状の回転部材１１．１２．
１３．１４．１５を、ころがり部材１６．１７．１８．
１９を介し、回転中心Ｃに対して同心円状に配置し多段
構造としたものである。なお、上記ころがり部材１６〜
１９は玉であってもよく、あるいはころであってもよい
。
第１図では、上記構成からなる回転軸受１０の最も外側
の回転部材１５を真空容器ｌの内壁に固定するとともに
、最も内側の回転部材１１を、回転陽極２の中心から突
出した回転軸２ｂに装着しである。すなわち、回転陽極
２は、回転軸２ｂおよび回転軸受１０を介して真空容器
１に接地される。
の回転部材１５を真空容器ｌの内壁に固定するとともに
、最も内側の回転部材１１を、回転陽極２の中心から突
出した回転軸２ｂに装着しである。すなわち、回転陽極
２は、回転軸２ｂおよび回転軸受１０を介して真空容器
１に接地される。
上記構成において、回転陽極２が回転すると、ころがり
部材１６．１７．１８．１９を介して、回転部材１１．
１２．１３．１４．１５を次々に回転させようとする力
が働く。ところが、ころがり部材１６．１７．１８．１
９が回転を次々に吸収するため、回転軸２ｂからより遠
い位置にある回転部材はど回転数が減少していく。例え
ば回転軸２ｂの回転数をｒｏ、回転部材１１．１２．１
３．１４．１５の回転数をそれぞれｒｌｌ、ｒｌｌ、ｒ
Ｉ３−、 ｒ １４％ ｒ １％とすれば％ ｒ ６
＝ｒ １１ ＞ ｒ Ｈ２＞ｒ １３＞ ｒ ＋ａ＞
ｒ ＋ｓ （＝ ０）の関係となる。従って、各回転
部材とこれに接触した各ころがり部材との間の相対速度
は非常に小さくなり、よって高速回転においても回転軸
受１０自体の摩耗が極めて少なく、長寿命化が可能にな
る。また、摩耗が少なければ、摩耗物の発生もほとんど
ないので、真空容器１中における放電の原因も解消され
る。
部材１６．１７．１８．１９を介して、回転部材１１．
１２．１３．１４．１５を次々に回転させようとする力
が働く。ところが、ころがり部材１６．１７．１８．１
９が回転を次々に吸収するため、回転軸２ｂからより遠
い位置にある回転部材はど回転数が減少していく。例え
ば回転軸２ｂの回転数をｒｏ、回転部材１１．１２．１
３．１４．１５の回転数をそれぞれｒｌｌ、ｒｌｌ、ｒ
Ｉ３−、 ｒ １４％ ｒ １％とすれば％ ｒ ６
＝ｒ １１ ＞ ｒ Ｈ２＞ｒ １３＞ ｒ ＋ａ＞
ｒ ＋ｓ （＝ ０）の関係となる。従って、各回転
部材とこれに接触した各ころがり部材との間の相対速度
は非常に小さくなり、よって高速回転においても回転軸
受１０自体の摩耗が極めて少なく、長寿命化が可能にな
る。また、摩耗が少なければ、摩耗物の発生もほとんど
ないので、真空容器１中における放電の原因も解消され
る。
次に、上記Ｘ線発生装置に本発明の第２の実施例を適用
した場合について、第２図に基づき説明する。本実施例
に係る回転軸受２０は、互いに動き同一の径を持つ円板
状の回転部材２１．２２．２３．２４を、ころがり部材
２５．２６．２７を介し、回転中心Ｃに沿って等間隔で
配置し多段構造としたものである。
した場合について、第２図に基づき説明する。本実施例
に係る回転軸受２０は、互いに動き同一の径を持つ円板
状の回転部材２１．２２．２３．２４を、ころがり部材
２５．２６．２７を介し、回転中心Ｃに沿って等間隔で
配置し多段構造としたものである。
第２図では、上記構成からなる回転軸受２０の最も端に
ある回転部材２４を真空容器ｌの内壁に固定するととも
に、他端にある回転部材２１を回転軸２ｂに装着しであ
る。すなわち、回転陽極２は、上記実施例と同様に、回
転軸２ｂおよび回転軸受２０を介して真空容器１に接地
される。
ある回転部材２４を真空容器ｌの内壁に固定するととも
に、他端にある回転部材２１を回転軸２ｂに装着しであ
る。すなわち、回転陽極２は、上記実施例と同様に、回
転軸２ｂおよび回転軸受２０を介して真空容器１に接地
される。
上記構成において、回転陽極２が回転すると、上記実施
例と同様にころがり部材２５．２６．２７が回転部材２
１．２２．２３の回転を吸収するため、順次回転数が減
少していく。例えば回転軸２ｂの回転数をｒｏ、回転部
材２１．２２．２３．２４の回転数をそれぞれｒｚ＋、
ｒ２□、ｒｌｌ３、ｒ２４とすれば５ｒ１１ ”” ｒ
２１＞ｒｚｚ＞ ’！３〉”Ｚ４（＝０）の関係となる
。従って、各回転部材ところがり部材の相対速度は非常
に小さくなり、よって摩耗も少なくなり、上記実施例と
同様な効果が得られる。
例と同様にころがり部材２５．２６．２７が回転部材２
１．２２．２３の回転を吸収するため、順次回転数が減
少していく。例えば回転軸２ｂの回転数をｒｏ、回転部
材２１．２２．２３．２４の回転数をそれぞれｒｚ＋、
ｒ２□、ｒｌｌ３、ｒ２４とすれば５ｒ１１ ”” ｒ
２１＞ｒｚｚ＞ ’！３〉”Ｚ４（＝０）の関係となる
。従って、各回転部材ところがり部材の相対速度は非常
に小さくなり、よって摩耗も少なくなり、上記実施例と
同様な効果が得られる。
なお、本発明に係る回転軸受は、上述した回転陽極型Ｘ
線発生装置だけでなく、高速度回転を必要とする様々な
分野においても同様な効果を発揮するものである。
線発生装置だけでなく、高速度回転を必要とする様々な
分野においても同様な効果を発揮するものである。
〔発明の効果〕
本発明の回転軸受によれば、例えば回転陽極型Ｘ線発生
装置等の高速回転軸に適用した場合であっても、極めて
摩耗が少なくなり、長寿命化が可能になる。更に、本発
明の回転軸受を適用した装置においては、摩耗によって
生じる摩耗物による弊害もなくなり、装置自体の長寿命
化も実現される。
装置等の高速回転軸に適用した場合であっても、極めて
摩耗が少なくなり、長寿命化が可能になる。更に、本発
明の回転軸受を適用した装置においては、摩耗によって
生じる摩耗物による弊害もなくなり、装置自体の長寿命
化も実現される。
第１図、第２図はそれぞれ本発明の第１、第２の実施例
に係る回転軸受を適用した回転陽極型Ｘ線発生装置の主
要部を示す構成図、 第３図は従来の一般的な回転陽極型Ｘ線発生装置を示す
全体構成図である。 １０・・・回転軸受、 １１〜１５・・・環状の回転部−材、 １６〜１９・・・ころがり部材、 ２０・・・回転軸受、 ２１〜２４・・・円板状の回転部材、 ２５〜２７・・・ころがり部材。
に係る回転軸受を適用した回転陽極型Ｘ線発生装置の主
要部を示す構成図、 第３図は従来の一般的な回転陽極型Ｘ線発生装置を示す
全体構成図である。 １０・・・回転軸受、 １１〜１５・・・環状の回転部−材、 １６〜１９・・・ころがり部材、 ２０・・・回転軸受、 ２１〜２４・・・円板状の回転部材、 ２５〜２７・・・ころがり部材。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）互いに動く複数の回転部材（１１〜１５；２１〜２
４）を互いにころがり部材（１６〜１９；２５〜２７）
を介して同一の回転中心を持つように配置した多段構造
の回転軸受。 ２）前記複数の回転部材は互いに径の異なる環状の回転
部材（１１〜１５）であって、前記回転中心に対して同
心円状に配置されていることを特徴とする特許請求の範
囲第１項記載の回転軸受。 ３）前記複数の回転部材は同一の径を持つ円板状の回転
部材（２１〜２４）であって、前記回転中心に沿って等
間隔で配置されていることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の回転軸受。 ４）前記ころがり部材は、玉もしくはころであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第３項のいずれか
１つに記載の回転軸受。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27393986A JPS63130915A (ja) | 1986-11-19 | 1986-11-19 | 回転軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27393986A JPS63130915A (ja) | 1986-11-19 | 1986-11-19 | 回転軸受 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63130915A true JPS63130915A (ja) | 1988-06-03 |
Family
ID=17534669
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27393986A Pending JPS63130915A (ja) | 1986-11-19 | 1986-11-19 | 回転軸受 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63130915A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006054181A (ja) * | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | 真空移行チャンバを備えたカンチレバー型およびストラドル型回転アノードｘ線管 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59215646A (ja) * | 1983-05-23 | 1984-12-05 | Hitachi Ltd | 回転陽極ｘ線管 |
| JPS61151956A (ja) * | 1984-12-25 | 1986-07-10 | Toshiba Corp | 回転陽極型ｘ線管 |
-
1986
- 1986-11-19 JP JP27393986A patent/JPS63130915A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59215646A (ja) * | 1983-05-23 | 1984-12-05 | Hitachi Ltd | 回転陽極ｘ線管 |
| JPS61151956A (ja) * | 1984-12-25 | 1986-07-10 | Toshiba Corp | 回転陽極型ｘ線管 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006054181A (ja) * | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Ge Medical Systems Global Technology Co Llc | 真空移行チャンバを備えたカンチレバー型およびストラドル型回転アノードｘ線管 |
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