JPS6312974Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、タブレツト状の熱硬化性樹脂を予備
加熱する高周波予熱機に係り、特にタブレツトの
予熱管理構成に関するものである。

半導体のレジン封止工程における、従来の高周
波予熱機によるタブレツト予熱方式の管理状態を
第１図、第２図によつて、まず説明する。

第１図は、タイマーによる時間設定方式の高周
波予熱機におけるタブレツト予熱管理の状態を示
すものである。第１図の縦軸は、予熱されたタブ
レツトが溶融状態となり金型内を流動するときの
流動塗中の圧力損失の最大値を示し、これを流動
抵抗とよび、また横軸は、予熱後のタブレツト温
度を示すものである。

同一種類のレジンにおいても組成は、製造ロツ
トＲ１，Ｒ２，Ｒ３毎に少しずつ異なつており、
また同じロツトでも成分の配合状態が均一になり
にくいことから、タイマーによつて予熱時間を規
定しても、予熱後のタブレツト温度ならびに流動
抵抗は、図中にプロツトした如く大幅にばらつい
ている。流動抵抗が小さい場合（第１図のボイド
発生領域Ａ）はレジンの粘度が低くなつており、
溶融レジン中へ空気が巻き込みやすく、成形品中
へボイドとなつて残り耐湿信頼性の低下の原因と
なる。また、流動抵抗が大きい場合（第１図の未
充填領域Ｂ）はレジンの粘度が高くなつており、
成形機のプランジヤにかゝる負荷が大きくなり、
プランジヤ降下速度が遅くなるため、レジンのゲ
ル化が進みキヤビテイにレジンが充填されない未
充填不良の発生原因となる。このように、従来の
タイマーによる時間設定方式では、予熱後のタブ
レツト温度のバラツキが大きく、上記ボイド発生
領域Ａ、未充填領域Ｂを避けることは困難であつ
て、成形品の耐湿信頼性ならびに歩留りの低下が
顕著となつていた。

第２図は、赤外線温度センサならびに設定器を
用いて、タブレツトが所定の予熱温度に達すると
予熱を終了する方式での管理状態を示す。この方
式ではレジンのロツトが同じ場合前記タイマーに
よる時間設定方式に比べ予熱後のタブレツト温度
のばらつきは極端に小さくなる。しかし前述した
ようにレジン組成は製造ロツト毎に異なつている
ために、同じタブレツト温度が得られても流動抵
抗、すなわちレジンの粘度は各ロツト毎に違つた
状態になる。

したがつて、この方式においても成形品の耐湿
信頼性ならびに歩留りを低下させる可能性が大き
い。さらにこの赤外線温度検知方式による高周波
予熱機は、タイマーによる時間設定方式の高周波
予熱機に比べ値段が倍以上になるためコストの点
で問題があつた。

本考案は、上記した従来技術の欠点をなくし、
レジンのロツトによらず、予熱中のタブレツトが
所定の柔らかさになつたとき予熱を終了し、常に
所定の流動抵抗でレジンを金型内に充填すること
によつてボイドや未充填部の発生を防止し、レジ
ンモールド半導体成形品の信頼性、歩留り向上を
可能にする高周波予熱機を提供することを、その
目的とするものである。

本考案の高周波予熱機に係る特徴は、タブレツ
トに当接するタブレツト押えローラと、該押えロ
ーラを前記タブレツトに押しつけるためのレバー
と、該レバーが所定距離だけ移動したことを検知
して前記タブレツトの加熱を停止させる制御機構
とを備えた高周波予熱機である。

以下、本考案を、図示の実施例によつて説明す
る。第３図〜第４図は、本考案の一実施例であつ
て、第３図は、本実施例における、制御機構に係
るタブレツト固さ検出装置を示す側面図である。
第３図において、１は、タブレツト、２は、タブ
レツト１を載置できる下部ローラ電極、３は、タ
ブレツト１を上側から押えるタブレツト押えロー
ラ、４は、後述する高周波予熱機本体１５（以
下、単に予熱機本体という。）の上蓋（図示せず）
に取付けられた上部電極、５は、一端に前記押え
ローラ３が回転自在に取付けられ、他端で支持台
６に固定された支持棒７にピン８で揺動自在に支
持されたレバーである。なお、押えローラ３およ
びレバー５は、スパーク防止のために非金属材料
で作られている。９は、レバー５と支持台６の間
に掛けられた引張りコイルばねであつて、引張り
コイルばね９の力によつてタブレツト押えローラ
３がタブレツト１に押しつけられている。１１，
１２は、それぞれ絶縁部１０を介して、レバー
５、支持台６に取付けられた上部接点、下部接点
である。１３は、支持台６に固定された電池、１
４は、発光体、１３Ａは、上部接点１１、電池１
３、発光体１４および下部接点１２を接続する電
線である。

一方、第４図は、本実施例に係る制御機構を示
し、第３図と同一番号を付したものは同一部分で
ある。１５は、予熱機本体、１６は、前記タブレ
ツト固さ検出装置を収納するシートルドケース、
１７は、シールドケース１６の発光体１４と対向
する位置に開口した穴、１８は高周波のノイズを
受けない位置に、別途配設された光、電気信号変
換部、１９は、光、電気信号変換部１８からの電
気信号によつてタブレツト１の加熱を停止させる
電源リレー、２０は発振管である。

このように構成した高周波予熱機において、ま
ずタブレツト１を下部ローラ電極２の上に置き、
さらにタブレツト押えローラ３をタブレツト１の
上にのせる。そして高周波予熱機の上蓋（図示せ
ず）を閉めることにより、上蓋に取りついた上部
電極４が第３図のようにタブレツト１の真上にセ
ツトされる。そして高周波予熱を開始させると、
下部ローラ電極２が回転を始め、タブレツト１、
タブレツト押えローラ３はそれぞれ矢印の方向に
回転する。タブレツト押えローラ３は引張りコイ
ルばね９の力により、タブレツト１に押しつけら
れる。上部接点１１と下部接点１２との間には、
予熱開始時に所定の隙間ｌが設けられており、こ
の隙間は予熱が進んでタブレツト１が柔かくなる
に従つて徐々に狭くなる。しかして上部接点１１
と下部接点１２が接触すると、電池１３により発
光体１４が光る。そして、この光が予熱を終了さ
せるための信号となる。なお、この時点でタブレ
ツト１は一定荷重のもとで一定の変形を起こして
いる状態、すなわち一定の柔かさとなつている。
また、タブレツト１の表面と内部の柔かさとは一
定の相関があり、表面の柔かさが一定ならば内部
もそれに対応した柔かさになつている。このこと
は、予熱を終了したタブレツトを用いて成形する
ときの溶融レジンの流動抵抗が一定であることに
相当する。したがつて、レジンのロツトナンバー
によらず常に同じ流動抵抗値が得られる。かくし
て、前記発光体１４の光信号はシールドケース１
６中にあけられた穴１７を通して光、電気信号変
換部１８に入つて電気信号となり、予熱機本体１
５の電源リレー１９を働かせ、高周波予熱が終了
する。

第５図は、本実施例の高周波予熱機を使用した
ときのタブレツトの予熱管理状態を示すものであ
り、図から明らかなように、レジンのロツトナン
バーによらず、ほぼ同じ流動抵抗値が得られ、し
たがつて、未充填やボイドの発生が起こらない状
態で常に予熱が終了できる。

上記の実施例は電池を必要とするが、予熱を終
了させるための光信号が確実に伝達できるため特
に成形条件幅の狭いレジンや成形品の要求特性が
厳しい場合に有効である。

第６図は、本考案の他の実施例に係るものであ
つて、この場合は第３図に示した電池１３、発光
体１４は用いない。その代りにシールドケース１
６の一方側に発光部２１を、他方側に受光部２２
を配設し、タブレツトの加熱開始時には、発光部
２１から出た光が上部接点１１、下部接点１２の
間を通り、シールドケース１６の反対側に置かれ
た受光部２２へと入つている。タブレツト１が加
熱により所定の変形をし、上部接点１１、下部接
点１２が接触すると、光は遮断され、この信号は
受光部２２により電気信号に変換され、予熱機本
体１５の電源リレー１９を働かせ高周波予熱が終
了する。

この実施例の効果も第５図と同様である。

本実施例は電池を用いないが、光を遮断したと
きの判定に誤差がわずかに生じるため、比較的成
形条件幅を広くとれるレジンや、成形品の要求特
性があまり厳しくない場合に有効である。

以上、詳細に説明したように本考案によれば、
タブレツト状の熱硬化性樹脂を予備加熱する高周
波予熱機において、タブレツトに当接するタブレ
ツト押えローラと、該押えローラを前記タブレツ
トに押しつけるためのレバーと、該レバーが所定
距離だけ移動したことを検知し前記タブレツトの
加熱を停止させる制御機構を備えるようにしたの
で、レジンのロツドナンバーによらず、予熱中の
タブレツトが所定の柔かさになつたとき予熱を終
了し、常に所定の流動抵抗でレジンを金型内に充
填することによつてボイドや未充填部の発生を防
止し、レジンモールド半導体成形品の信頼性、歩
留りを大幅に向上することができる。

さらに、成形開始時や、ロツト変動時の試し打
ちのための捨てタブレツトを使用する必要がなく
なり、レジン使用量も大幅に減少する。そして従
来の赤外線センサによる温度管理の場合は設備費
が莫大な価格になり、現実問題としてすべての高
周波予熱機に適用するわけにはいかないが、本考
案に係るものは、赤外線センサによる方式の1/10
〜1/20程度の費用である。また従来のタイマーに
よる時間設定方式の高周波予熱機に取りつけられ
るため、わずかな設備費の投資で大きな効果を上
げることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、タイマーによる時間設定方式のタブ
レツト予熱管理状態図、第２図は、赤外線検知に
よる温度管理方式によるタブレツト予熱管理状態
図、第３図は、本考案の一実施例におけるタブレ
ツト固さ検出装置の側面図、第４図は、本実施例
の制御機構を示す略示構成図、第５図は、本考案
の高周波予熱機を使用した場合のタブレツト予熱
温度管理状態図、第６図は本考案の他の実施例に
係るものの制御機構を示す略示構成図である。 １……タブレツト、３……タブレツト押えロー
ラ、５……レバー、１８……光、電気信号変換
部、２１……発光部、２２……受光部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ タブレツトに当接するタブレツト押えローラ
   と、該押えローラを前記タブレツトに押しつけ
   るためのレバーと、該レバーが所定距離だけ移
   動したことを検知し前記タブレツトの加熱を停
   止させる制御機構とを備えたことを特徴とする
   高周波予熱機。 ２ 制御機構は、レバーが所定距離だけ移動した
   ことを検知し、これを光信号に変換する回路
   と、該回路からの光信号を検知してタブレツト
   の加熱を停止させる光、電気信号変換部とを備
   えたものである実用新案登録請求の範囲第１項
   記載の高周波予熱機。 ３ 制御機構は、レバーが所定距離だけ移動する
   ことにより、該レバーを挾んで配設された発光
   部と受光部との間の光信号を遮断し、この遮断
   信号によつてタブレツトの加熱を停止させるも
   のである実用新案登録請求の範囲第１項記載の
   高周波予熱機。