JPS63129643A - ウエ−ハキヤリア - Google Patents
ウエ−ハキヤリアInfo
- Publication number
- JPS63129643A JPS63129643A JP61276979A JP27697986A JPS63129643A JP S63129643 A JPS63129643 A JP S63129643A JP 61276979 A JP61276979 A JP 61276979A JP 27697986 A JP27697986 A JP 27697986A JP S63129643 A JPS63129643 A JP S63129643A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shape memory
- memory alloy
- door
- closing
- wafer carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910001285 shape-memory alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 53
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 56
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 17
- 230000007704 transition Effects 0.000 abstract description 9
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 239000000956 alloy Substances 0.000 abstract description 7
- 229910001000 nickel titanium Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- KHYBPSFKEHXSLX-UHFFFAOYSA-N iminotitanium Chemical compound [Ti]=N KHYBPSFKEHXSLX-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- HLXZNVUGXRDIFK-UHFFFAOYSA-N nickel titanium Chemical compound [Ti].[Ti].[Ti].[Ti].[Ti].[Ti].[Ti].[Ti].[Ti].[Ti].[Ti].[Ni].[Ni].[Ni].[Ni].[Ni].[Ni].[Ni].[Ni].[Ni].[Ni].[Ni].[Ni].[Ni].[Ni] HLXZNVUGXRDIFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 231100000989 no adverse effect Toxicity 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
ウェーハキャリアの扉の開閉を形状記憶合金を用いて行
い、発塵が少な（、簡単な装置で開閉が出来る。
い、発塵が少な（、簡単な装置で開閉が出来る。
〔産業上の利用分野］
本発明はウェーハキャリアに係り、詳しくは扉の開閉を
形状記憶合金を用いて行うウェーハキャリアに関する。
形状記憶合金を用いて行うウェーハキャリアに関する。
半導体ウェーハの表面を常に清浄に保つことは重要なこ
とで、そのためにウェーハプロセスは全て、塵埃を少な
くしたクリーンルームの内部やクリーンベンチの内部で
行われている。特に半導体装置の集積度が上がるに従っ
て、このウェーハ表面への塵埃付着防止はますます重要
になって来て ゛いる。
とで、そのためにウェーハプロセスは全て、塵埃を少な
くしたクリーンルームの内部やクリーンベンチの内部で
行われている。特に半導体装置の集積度が上がるに従っ
て、このウェーハ表面への塵埃付着防止はますます重要
になって来て ゛いる。
各ウェーハ処理工程間におけるウェーハの運搬および保
管は通常ウェーハキャリアにウェーハを収納して行われ
るが、この時においてもウェーハへの塵埃付着防止に細
心の注意を要することは勿論である。
管は通常ウェーハキャリアにウェーハを収納して行われ
るが、この時においてもウェーハへの塵埃付着防止に細
心の注意を要することは勿論である。
そのためには、ウェーハキャリアに塵埃侵入防止用の蓋
が必要であるが、従来は、この蓋の着脱を人手によるか
、あるいは機械で行っているが、前者は大きな発塵源で
ある人間が近くにあって操作するので好ましくない。ま
た、後者は複雑な機構の装置を要し、且つこ・の装置か
らの発塵防止にも留意が必要である。
が必要であるが、従来は、この蓋の着脱を人手によるか
、あるいは機械で行っているが、前者は大きな発塵源で
ある人間が近くにあって操作するので好ましくない。ま
た、後者は複雑な機構の装置を要し、且つこ・の装置か
らの発塵防止にも留意が必要である。
本発明は極めて簡単な構造の、蓋となるべき扉を開閉出
来るウェーハキャリアを提供しようとするものである。
来るウェーハキャリアを提供しようとするものである。
第５図は従来例におけるウェーハキャリアの斜視図であ
る。
る。
図において、１はウェーハキャリア本体で、これの側板
内側には横方向に刻んだ多数の溝が設けてあり、この溝
にウェーハ３を挿入する。９は蓋で、ウェーハキャリア
本体１のウェーハ出し入れ口に被せると塵埃の侵入を防
止することが可能となる。しかし、この蓋９の着脱を人
手で行うので、このとき、人間からの発塵が可成りある
。
内側には横方向に刻んだ多数の溝が設けてあり、この溝
にウェーハ３を挿入する。９は蓋で、ウェーハキャリア
本体１のウェーハ出し入れ口に被せると塵埃の侵入を防
止することが可能となる。しかし、この蓋９の着脱を人
手で行うので、このとき、人間からの発塵が可成りある
。
従来のウェーハキャリアの蓋の開閉は、人手によるもの
は発塵がある。
は発塵がある。
上記問題点の解決は、ウェーハを収納するウェーハキャ
リア本体と、これの側面を覆う扉を有し、この扉の開閉
を行う形状記憶合金部材を有してなる本発明によるウェ
ーハキャリアにより達成される。
リア本体と、これの側面を覆う扉を有し、この扉の開閉
を行う形状記憶合金部材を有してなる本発明によるウェ
ーハキャリアにより達成される。
特に、前記形状記憶合金部材を加熱することにより扉を
閉じる閉用形状記憶合金部材と、加熱することにより扉
を開く閉用形状記憶合金部材のうちの少なくとも一つを
有してなるものとすることにより本発明は容易に実施す
ることが出来る。
閉じる閉用形状記憶合金部材と、加熱することにより扉
を開く閉用形状記憶合金部材のうちの少なくとも一つを
有してなるものとすることにより本発明は容易に実施す
ることが出来る。
形状記憶合金をその遷移温度以上に加熱すると記憶した
形状に戻る性質を利用して、ウェーハキャリアの扉の開
閉を行うもので、人手によらないため発塵が少なく、ま
たその開閉装置も簡単な加熱装置でよい。
形状に戻る性質を利用して、ウェーハキャリアの扉の開
閉を行うもので、人手によらないため発塵が少なく、ま
たその開閉装置も簡単な加熱装置でよい。
第１図は本発明の実施例（１）におけるウェーハキャリ
アの構造図で、（ａ）は上面断面図、（ｂ）は正面図で
ある。
アの構造図で、（ａ）は上面断面図、（ｂ）は正面図で
ある。
これら図において、１はウェーハキャリア本体で、これ
の側板内側には横方向に刻んだ多数の溝が設けてあり、
この溝にウェーハ３を挿入する。
の側板内側には横方向に刻んだ多数の溝が設けてあり、
この溝にウェーハ３を挿入する。
２は、ウェーハ出し入れ口を覆い、塵埃の侵入を防止す
るための扉で、ウェーハキャリア本体の左右の側板に、
縦に交互に配設した閉用形状記憶合金部材４と閉用形状
記憶合金部材５を介して止めを上方から見た図である。
るための扉で、ウェーハキャリア本体の左右の側板に、
縦に交互に配設した閉用形状記憶合金部材４と閉用形状
記憶合金部材５を介して止めを上方から見た図である。
又、第１図（ａ） 、（ｂ）共に左の扉は開いた状態を
、右の扉は閉じた状態を示している。
、右の扉は閉じた状態を示している。
第２図は各形状記憶合金部材の記憶形状図である。
この図において、左に示すものは、閉用形状記憶合金部
材４が記憶している形状を上からみたもので、Ｌ字型で
ある。右に示すものは、閉用形状記憶合金部材５が記憶
している形状を上からみたもので、１字型である。
材４が記憶している形状を上からみたもので、Ｌ字型で
ある。右に示すものは、閉用形状記憶合金部材５が記憶
している形状を上からみたもので、１字型である。
これら形状記憶合金としては、例えば、ニチノール（Ｎ
ｉ−Ｔｉ合金、Ｎｉ ５０％、Ｔｉ ５０％）を使用し
、３００〜１０００℃で約３０分加熱して、夫々の形状
を記憶させる。これらの合金は常温で変形させても遷移
温度の８０℃以上に加熱すると、高温で記憶した形状に
戻る性質がある。
ｉ−Ｔｉ合金、Ｎｉ ５０％、Ｔｉ ５０％）を使用し
、３００〜１０００℃で約３０分加熱して、夫々の形状
を記憶させる。これらの合金は常温で変形させても遷移
温度の８０℃以上に加熱すると、高温で記憶した形状に
戻る性質がある。
第３図は本発明の実施例（１）におけるウェーハキャリ
ア開閉装置構造図である。
ア開閉装置構造図である。
ウェーハキャリアの扉２の開閉を行うときは、この専用
のウェーハキャリア開閉装置７の設置しであるクリーン
ネスの高い環境でのみ扉開閉操作を行うようにする。
のウェーハキャリア開閉装置７の設置しであるクリーン
ネスの高い環境でのみ扉開閉操作を行うようにする。
この図において、右側に示すものがウェーハキャリア開
閉装置７で、左側に示すものはウェーハキャリアの一部
で、第１図（ｂ）正面図の右端の部分である。
閉装置７で、左側に示すものはウェーハキャリアの一部
で、第１図（ｂ）正面図の右端の部分である。
ウェーハキャリアの複数個の閉用形状記憶合金部材４に
対向し、これに近接した位置に夫々開用加熱器１４があ
り、また同様に、複数個の閉用形状記憶合金部材５に対
しては、それぞれ開用加熱器１５が対応している。
対向し、これに近接した位置に夫々開用加熱器１４があ
り、また同様に、複数個の閉用形状記憶合金部材５に対
しては、それぞれ開用加熱器１５が対応している。
いまウェーハキャリアの扉２を閉めたいときは、この開
用加熱器１４に通電することにより、閉用形状記憶合金
部材４の温度を、遷移温度の８０℃以上にする。これに
より閉用形状記憶合金部材４はその記憶しているＬ字型
の形状に戻ろうとする強い力が働き、扉２は閉まる。こ
のとき、閉用形状記憶合金部材５は開用加熱器１５に通
電していないので、輻射および伝導で常温より、若干の
温度上昇があっても、充分遷移温度以下の温度であるた
め軟らかい状態にあり、閉用形状記憶合金部材４の記憶
形状に戻る力に負けて了い、Ｌ字型に変形したままとな
る。
用加熱器１４に通電することにより、閉用形状記憶合金
部材４の温度を、遷移温度の８０℃以上にする。これに
より閉用形状記憶合金部材４はその記憶しているＬ字型
の形状に戻ろうとする強い力が働き、扉２は閉まる。こ
のとき、閉用形状記憶合金部材５は開用加熱器１５に通
電していないので、輻射および伝導で常温より、若干の
温度上昇があっても、充分遷移温度以下の温度であるた
め軟らかい状態にあり、閉用形状記憶合金部材４の記憶
形状に戻る力に負けて了い、Ｌ字型に変形したままとな
る。
開用加熱器１４への通電を止めると、閉用形状記憶合金
部材４の温度は常温に下がるが、画形状記憶合金部材４
．５共り字型のままとなる。即ち、扉２は閉まった状態
となる。
部材４の温度は常温に下がるが、画形状記憶合金部材４
．５共り字型のままとなる。即ち、扉２は閉まった状態
となる。
逆に、ウェーハキャリアの扉２を開いた状態にしたいと
きは、開用加熱器１５に通電することにより、閉用形状
記憶合金部材５の温度を、遷移温度の８０℃以上にする
。これにより閉用形状記憶合金部材５はその記憶してい
る１字型の形状に戻ろうとする強い力が働き、扉２は開
く。この時、閉用形状記憶合金部材４は遷移温度以下で
あるため軟らかい状態にあり、閉用形状記憶合金部材５
の記憶形状に戻る力に負けて、Ｌ字型から１字型に変形
する。
きは、開用加熱器１５に通電することにより、閉用形状
記憶合金部材５の温度を、遷移温度の８０℃以上にする
。これにより閉用形状記憶合金部材５はその記憶してい
る１字型の形状に戻ろうとする強い力が働き、扉２は開
く。この時、閉用形状記憶合金部材４は遷移温度以下で
あるため軟らかい状態にあり、閉用形状記憶合金部材５
の記憶形状に戻る力に負けて、Ｌ字型から１字型に変形
する。
開用加熱器１５への通電を止めると、閉用形状記憶合金
部材５の温度は下がるが、画形状記憶合金部材４．５共
■字型のままとなる。即ち、扉２は開いた状態となる。
部材５の温度は下がるが、画形状記憶合金部材４．５共
■字型のままとなる。即ち、扉２は開いた状態となる。
このように、ウェーハキャリア開閉装置７は、２種類の
加熱器と電流切り替えのための切替スイッチ６をもつ簡
単なものである。
加熱器と電流切り替えのための切替スイッチ６をもつ簡
単なものである。
この２種類の形状記憶合金部材４と５はウェーハキャリ
ア本体１および扉２に、鋲止め又は接着で取り付ければ
よい。
ア本体１および扉２に、鋲止め又は接着で取り付ければ
よい。
以上のような、ウェーハキャリアによれば、扉開閉を簡
単な装置で、人手によらず出来、発塵もない。また形状
記憶合金部材を一時的に８０〜１００℃程度に加熱する
だけなので、ウェーハの温度上昇はさ程ではなく、ウェ
ーハに対して悪影響を与えることはない。
単な装置で、人手によらず出来、発塵もない。また形状
記憶合金部材を一時的に８０〜１００℃程度に加熱する
だけなので、ウェーハの温度上昇はさ程ではなく、ウェ
ーハに対して悪影響を与えることはない。
この実施例では形状記憶合金部材は、扉の蝶番部に相当
する部位にしか使用していないが、扉の本体の部分を形
状記憶合金で形成することも出来る。例えば、閉用形状
記憶合金部材５と扉本体を一体に形成し、これに後から
閉用形状記憶合金部材４を取りつけるようにする。
する部位にしか使用していないが、扉の本体の部分を形
状記憶合金で形成することも出来る。例えば、閉用形状
記憶合金部材５と扉本体を一体に形成し、これに後から
閉用形状記憶合金部材４を取りつけるようにする。
第４図は本発明の実施例（２）におけるウェーハキャリ
ア構造図である。
ア構造図である。
この図において、第１図と同一の名称のものは同じ符号
で示す。
で示す。
これは、形状記憶合金部材を１種類、例えば１字型の形
状を記憶した閉用形状記憶合金部材５のみを使用するも
ので、扉２を閉める力はスプリング８による。
状を記憶した閉用形状記憶合金部材５のみを使用するも
ので、扉２を閉める力はスプリング８による。
このウェーハキャリアにあっては、扉２を開くには、閉
用形状記憶合金部材５を開用加熱器１５で加熱する。こ
れにより、閉用形状記憶合金部材５の温度が遷移温度８
０℃以上になると、スプリング８の力よりも強い力で、
記憶形状の１字型となり、扉２は開く。扉２を開いて起
きたい時間の間、開用加熱器１５で加熱して置く。
用形状記憶合金部材５を開用加熱器１５で加熱する。こ
れにより、閉用形状記憶合金部材５の温度が遷移温度８
０℃以上になると、スプリング８の力よりも強い力で、
記憶形状の１字型となり、扉２は開く。扉２を開いて起
きたい時間の間、開用加熱器１５で加熱して置く。
加熱を止めて閉用形状記憶合金部材５の温度が遷移温度
以下になると、形状記憶合金が軟らかくなり、スプリン
グ８の力が勝ち、扉２は閉じることになる。
以下になると、形状記憶合金が軟らかくなり、スプリン
グ８の力が勝ち、扉２は閉じることになる。
このウェーハキャリアの構造によると扉２を開放に保つ
間中、加熱が必要になると云う不便さはあるが、清浄性
については、実施例、（１）と同じ効果がある。
間中、加熱が必要になると云う不便さはあるが、清浄性
については、実施例、（１）と同じ効果がある。
以上詳細に説明したように、本発明によれば、人手によ
らないで、ウェーハキャリアの扉を開閉できるので、発
塵が少ない。また、それに使用する開閉装置も簡易な装
置で可動部がないので、発塵の恐れが殆どない。
らないで、ウェーハキャリアの扉を開閉できるので、発
塵が少ない。また、それに使用する開閉装置も簡易な装
置で可動部がないので、発塵の恐れが殆どない。
第１図は本発明の実施例（１）におけるウェーハキャリ
アの構造図で、（ａ）は上面断面図、（ｂ）は正面図、 第２図は各形状記憶合金部材の記憶形状図、第３図は本
発明の実施例（１）におけるウェーハキャリア開閉装置
構造図、 第４図は本発明の実施例（２）におけるウェーハキャリ
ア構造図、 第５図は従来例におけるウェーハキャリアの斜視図であ
る。 これら図において、 ｌはウェーハキャリア本体、 ２は扉、 ３はウェーハ、 ４は閉用形状記憶合金部材、 ５は閉用形状記憶合金部材、 ６は切替スイッチ、 ７はウェーハキャリア開閉装置、 ８はスプリング、 １４は開用加熱器、 １５は開用加熱器 ７ｉか目の匈栃査ｉＪ （１）峰、（４いエーノｄ押り
？刺（県田Ａ第 １＠ Ｑｙｐ≧ジーＬメミ暑て−・１（）二・イ＝９）づ≧５
４）Ｉ）νＬ二）・の世上−・トデに・Ｉトシ４メζ［
ジ？１悼Ｚ図 Ａ兇明の韓範存Ｊ（１］におけちへニーハキｈ・１″ｉ
′）＠田技里橢苛回寵３戸
アの構造図で、（ａ）は上面断面図、（ｂ）は正面図、 第２図は各形状記憶合金部材の記憶形状図、第３図は本
発明の実施例（１）におけるウェーハキャリア開閉装置
構造図、 第４図は本発明の実施例（２）におけるウェーハキャリ
ア構造図、 第５図は従来例におけるウェーハキャリアの斜視図であ
る。 これら図において、 ｌはウェーハキャリア本体、 ２は扉、 ３はウェーハ、 ４は閉用形状記憶合金部材、 ５は閉用形状記憶合金部材、 ６は切替スイッチ、 ７はウェーハキャリア開閉装置、 ８はスプリング、 １４は開用加熱器、 １５は開用加熱器 ７ｉか目の匈栃査ｉＪ （１）峰、（４いエーノｄ押り
？刺（県田Ａ第 １＠ Ｑｙｐ≧ジーＬメミ暑て−・１（）二・イ＝９）づ≧５
４）Ｉ）νＬ二）・の世上−・トデに・Ｉトシ４メζ［
ジ？１悼Ｚ図 Ａ兇明の韓範存Ｊ（１］におけちへニーハキｈ・１″ｉ
′）＠田技里橢苛回寵３戸
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 〔１〕ウェーハ（３）を収納するウェーハキャリア本体
（１）と、これの側面を覆う扉（２）を有し、 この扉（２）の開閉を行う形状記憶合金部材を有してな
る ことを特徴とするウェーハキャリア。 〔２〕前記形状記憶合金部材が加熱することにより扉（
２）を閉じる閉用形状記憶合金部材（４）と、加熱する
ことにより扉（２）を開く開用形状記憶合金部材（５）
のうちの少なくとも一つを有してなる ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウェーハ
キャリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61276979A JPS63129643A (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | ウエ−ハキヤリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61276979A JPS63129643A (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | ウエ−ハキヤリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63129643A true JPS63129643A (ja) | 1988-06-02 |
Family
ID=17577074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61276979A Pending JPS63129643A (ja) | 1986-11-20 | 1986-11-20 | ウエ−ハキヤリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63129643A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6218929B1 (en) | 1997-06-12 | 2001-04-17 | Nippon Soken Inc. | Door entry control by wireless communication |
-
1986
- 1986-11-20 JP JP61276979A patent/JPS63129643A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6218929B1 (en) | 1997-06-12 | 2001-04-17 | Nippon Soken Inc. | Door entry control by wireless communication |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW423030B (en) | Single wafer load lock chamber for pre-processing and post-processing wafers in a vacuum processing system | |
| TWI223364B (en) | Apparatus for heating and cooling semiconductor device in handler for testing semiconductor device | |
| US5669977A (en) | Shape memory alloy lift pins for semiconductor processing equipment | |
| WO2001024581A8 (en) | Multi-zone resistance heater | |
| TW469523B (en) | Substrate processing apparatus | |
| JPS63129643A (ja) | ウエ−ハキヤリア | |
| JPH10189429A (ja) | 基板加熱装置 | |
| TW448284B (en) | Heat treatment device and method | |
| US5876323A (en) | Heated, opened access door for incubator | |
| CN100367458C (zh) | 热处理装置和热处理方法 | |
| JPH11168131A (ja) | ウエハ搬送チャック | |
| JPH0234822Y2 (ja) | ||
| GB1068270A (en) | Improved titanium-based alloy | |
| JP3688098B2 (ja) | 基板処理装置 | |
| JP2795400B2 (ja) | ガラス基板のバッチ式熱処理炉 | |
| JP2001185600A (ja) | 加熱基板搬送機構及び搬送方法 | |
| BE1007977A6 (nl) | Modulair radiator systeem voor warmteoverdracht in de ruimte. | |
| JPS5979557A (ja) | サ−マルル−バ | |
| JPS6191441A (ja) | 空気調和機のヒ−タ過熱防止装置 | |
| JP2500082Y2 (ja) | 連続式脱脂焼結炉 | |
| CN113690157A (zh) | 一种晶圆加工单元用挡板控制方法及控制系统 | |
| JPS60205148A (ja) | 風向偏向装置 | |
| JPH0623259A (ja) | 真空容器 | |
| TWI310206B (en) | Directly heat wafer in rtp close-loop status to skip the uncertain transparent phenomena of low temperature of low temperature (<500) by extra pre-heat chamber | |
| JPS63271048A (ja) | シヤツタ装置 |