JPS63128535A - Ｘ線源 - Google Patents
Ｘ線源Info
- Publication number
- JPS63128535A JPS63128535A JP27476986A JP27476986A JPS63128535A JP S63128535 A JPS63128535 A JP S63128535A JP 27476986 A JP27476986 A JP 27476986A JP 27476986 A JP27476986 A JP 27476986A JP S63128535 A JPS63128535 A JP S63128535A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- generating
- target
- efficiency
- ray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000013077 target material Substances 0.000 claims abstract description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はレーザー・プラズマＸ線源のレーザー照射構成
に関する。
に関する。
従来、レーザー・プラズマＸ線源は１本のレーザー光線
をターゲットに照射するのが通例であったＯ 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし、上記従来技術によると、ｘｍ発生効率が悪く（
１０％程度）、且つレーザー光源に大型の装置を必要と
する等の問題点があった。
をターゲットに照射するのが通例であったＯ 〔発明が解決しようとする問題点〕 しかし、上記従来技術によると、ｘｍ発生効率が悪く（
１０％程度）、且つレーザー光源に大型の装置を必要と
する等の問題点があった。
本発明はかかる従来技術の問題点をなくシ、小型で高効
率のＸＩＩ源を提供する事を目的とする。
率のＸＩＩ源を提供する事を目的とする。
上記問題点を解決するために、本発明はレニザー・プラ
ス１１１８発生装置に於て、少くとも一つのレーザー光
線を二つ以上に分割して□、ターゲットの一点に集光す
る手段をとる。
ス１１１８発生装置に於て、少くとも一つのレーザー光
線を二つ以上に分割して□、ターゲットの一点に集光す
る手段をとる。
以下、本発明の実施例を第１図により詳述する。
第１図において、１はレーザー発生源、２はレーザー、
３はプリズム（またはビームスプリッタ等でも良い）、
４は反射鏡、５，６は分割されたレーザー、７はレーザ
ー通過窓、８は容器、９はターゲ７）、１０はｘｉ、１
゛１はＸ＃ｉ１通過窓である。
３はプリズム（またはビームスプリッタ等でも良い）、
４は反射鏡、５，６は分割されたレーザー、７はレーザ
ー通過窓、８は容器、９はターゲ７）、１０はｘｉ、１
゛１はＸ＃ｉ１通過窓である。
このようにレーザー発生源１から出力されたレーザー２
は、プリズム３によりレーザー５に分けられ、さらに反
射鏡４によりレーザー６に分けられる＠そしてレーザー
通過窓７を通ってターゲット９に照射され、ピンチ効果
によりＸ＠１０が、Ｘ線通過窩１１から出力される。
は、プリズム３によりレーザー５に分けられ、さらに反
射鏡４によりレーザー６に分けられる＠そしてレーザー
通過窓７を通ってターゲット９に照射され、ピンチ効果
によりＸ＠１０が、Ｘ線通過窩１１から出力される。
いま、アルミニウム、ターゲットにエキシマ・レーザー
を照射してアルミニウムのプラズマヲ発生させてピンチ
させ、ｘｌｆｌＪを発生させると、エキシマ・レーザー
を一方向から照射させた場合、Ｘ線化効率が１０％程度
であるのに対し、エキシマ・レーザーを２つに分割して
アルミニウム・ターゲットに照射すると、アルミニウム
・プラズマの発生効率の上昇と共に、レーザー光線の光
圧が増加し、プラズマのピンチ現象が起り易くなり、そ
れに伴うＸ線発生効率が２０％以上となる。
を照射してアルミニウムのプラズマヲ発生させてピンチ
させ、ｘｌｆｌＪを発生させると、エキシマ・レーザー
を一方向から照射させた場合、Ｘ線化効率が１０％程度
であるのに対し、エキシマ・レーザーを２つに分割して
アルミニウム・ターゲットに照射すると、アルミニウム
・プラズマの発生効率の上昇と共に、レーザー光線の光
圧が増加し、プラズマのピンチ現象が起り易くなり、そ
れに伴うＸ線発生効率が２０％以上となる。
本発明の如く、ターゲット材に対し複数個のレーザー・
ビーム照射によりプラズマ−ピンチを起す方式をとると
、Ｘ線の発生効率を上げる効果があると共に、レーザー
発生装置も小型ですむという効果もある。
ビーム照射によりプラズマ−ピンチを起す方式をとると
、Ｘ線の発生効率を上げる効果があると共に、レーザー
発生装置も小型ですむという効果もある。
第１図は、本発明の実施例によるｘｉ源を示す概略図で
ある。 １・・・レーザー発生源 ２・・・レーザー３・・
・プリズム（またはビームスプリッタ）４・・・反射鏡 ５．６・・・分割されたレーザー ７・・・レーザー通過窓 ８・・・容器９・・・タ
ーゲット １０・・・Ｘ＠１１・・Ｘ線通過窓 以 上
ある。 １・・・レーザー発生源 ２・・・レーザー３・・
・プリズム（またはビームスプリッタ）４・・・反射鏡 ５．６・・・分割されたレーザー ７・・・レーザー通過窓 ８・・・容器９・・・タ
ーゲット １０・・・Ｘ＠１１・・Ｘ線通過窓 以 上
Claims (1)
- レーザー光線をターゲットに照射し、ターゲット材のプ
ラズマを発生させると共に、該プラズマのピンチ現象に
よりＸ線を発生させるＸ線源に於て、少くとも一つのレ
ーザー光線を反射鏡等の光学系により二つ以上に分割し
て、ターゲットに一点に集光する事を特徴とするＸ線源
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27476986A JPS63128535A (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | Ｘ線源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27476986A JPS63128535A (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | Ｘ線源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63128535A true JPS63128535A (ja) | 1988-06-01 |
Family
ID=17546316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27476986A Pending JPS63128535A (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | Ｘ線源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63128535A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08167753A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-06-25 | Nec Corp | Ｘ線予備電離放電励起ガスレーザ装置及びその発振方法 |
-
1986
- 1986-11-18 JP JP27476986A patent/JPS63128535A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08167753A (ja) * | 1994-12-15 | 1996-06-25 | Nec Corp | Ｘ線予備電離放電励起ガスレーザ装置及びその発振方法 |
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