JPS63128413U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の原理を説明するための説明図
、第２図はｘ方向へのみ移動がある場合の説明図
、第３図、第４図は第２図の一部拡大図、第５図
はｙ方向へのみ移動がある場合の説明図、第６図
、第７図は第５図の一部拡大図、第８図は本考案
の１つの具体例の平面図、第９図はダム断面内の
プライムライン装置を説明するためのダム提体の
断面斜視図、第１０図は移動量を測定するための
従来の顕微鏡方式を説明するための説明図、第１
１図は同じく差動トランス検出方式の説明図であ
る。 １，８Ａ：第１の光センサ、２，８Ｂ：第２の
光センサ、３，９Ａ：第１の光学系、４，９Ｂ：
第２の光学系、Ｐ_０，Ｐ：被測定点。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被測定点に対して異なる２方向にそれぞれ
   配置された被測定点の像の位置を検出する第１の
   光センサ及び第２の光センサと、１つの方向から
   の被測定点像を前記第１の光センサ上に結像させ
   る第１の光学系と、他の方向からの被測定点像を
   前記第２の光センサ上に結像させる第２の光学系
   とを備えてなることを特徴とする光学的移動量測
   定装置。 (2) 前記第１、第２の光センサ及び前記第１、
   第２の光学系は１つの光軸延長線上に配置される
   とともに、この光軸に直交しかつ被測定点を含む
   面に対称に配置されていることを特徴とする実用
   新案登録請求の範囲第１項記載の光学的移動量測
   定装置。 (3) 前記第１及び第２の光学系はミラーを有す
   ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
   項又は第２項記載の光学的移動量測定装置。