JPH01128108U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01128108U JPH01128108U JP2464388U JP2464388U JPH01128108U JP H01128108 U JPH01128108 U JP H01128108U JP 2464388 U JP2464388 U JP 2464388U JP 2464388 U JP2464388 U JP 2464388U JP H01128108 U JPH01128108 U JP H01128108U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- ball
- center position
- probe ball
- measured
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 22
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すブロツク図、
第２図、第３図及び第４図はそれぞれ本考案の一
実施例で使用するプローブの部分斜視図、要部斜
視図及び要部縦断面図、第５図及び第６図はそれ
ぞれ本考案の一実施例において、プローブボール
に加わる面垂直力Ｐと半導体力覚センサに加わる
力との関係を示す図、第７図はプローブボールの
中心位置ベクトルＱ、接触点における被測定面法
線ベクトルｎ及びプローブボール半径Ｒ０とプロ
ーブボールの接触位置ベクトルＭとの関係を示す
図、第８図は従来の三次元座標測定機におけるプ
ローブの概略的構成図、第９図は第８図例におけ
る力作用点ｐ、面垂直力Ｐ、力検出点ｑ及び検出
力Ｐ′の関係を示す図である。 １……ロツド、２……プローブボール、７……
半導体力覚センサ、８……プローブ、９……プロ
ーブ駆動手段、１０……プローブボール中心位置
測定手段、１１……演算手段。
第２図、第３図及び第４図はそれぞれ本考案の一
実施例で使用するプローブの部分斜視図、要部斜
視図及び要部縦断面図、第５図及び第６図はそれ
ぞれ本考案の一実施例において、プローブボール
に加わる面垂直力Ｐと半導体力覚センサに加わる
力との関係を示す図、第７図はプローブボールの
中心位置ベクトルＱ、接触点における被測定面法
線ベクトルｎ及びプローブボール半径Ｒ０とプロ
ーブボールの接触位置ベクトルＭとの関係を示す
図、第８図は従来の三次元座標測定機におけるプ
ローブの概略的構成図、第９図は第８図例におけ
る力作用点ｐ、面垂直力Ｐ、力検出点ｑ及び検出
力Ｐ′の関係を示す図である。 １……ロツド、２……プローブボール、７……
半導体力覚センサ、８……プローブ、９……プロ
ーブ駆動手段、１０……プローブボール中心位置
測定手段、１１……演算手段。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ロツドの先端部にプローブボールを設けると共
に上記ロツドの後端部に三次元力覚センサを配し
てなるプローブと、 該プローブを駆動するプローブ駆動手段と、 上記プローブボールの中心位置を測定するプロ
ーブボール中心位置測定手段と、 該プローブボール中心位置測定手段によつて測
定されるプローブボールの中心位置、及び上記三
次元力覚センサによつて検出される上記プローブ
ボールが被測定面から受ける面垂直力に基づいて
上記プローブボールと被測定面との接触位置を演
算する演算手段とを 具備してなる三次元座標測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2464388U JPH01128108U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2464388U JPH01128108U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01128108U true JPH01128108U (ja) | 1989-09-01 |
Family
ID=31244666
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2464388U Pending JPH01128108U (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01128108U (ja) |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP2464388U patent/JPH01128108U/ja active Pending