JPS63148818U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63148818U JPS63148818U JP4098287U JP4098287U JPS63148818U JP S63148818 U JPS63148818 U JP S63148818U JP 4098287 U JP4098287 U JP 4098287U JP 4098287 U JP4098287 U JP 4098287U JP S63148818 U JPS63148818 U JP S63148818U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measuring device
- probe
- dimensional
- dimensional measuring
- traveling direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
第１図は本考案の３次元測定装置の一実施例を
示す側面図、第２図は本考案の３次元測定装置の
他の実施例を示す側面図、第３図は従来の３次元
測定装置を示す側面図、第４図は第３図のプロー
ブ近傍を拡大して示す側面図である。 ２１……プローブ、２７……レーザセンサ、３
１……被測定物、４１……副プローブ。
示す側面図、第２図は本考案の３次元測定装置の
他の実施例を示す側面図、第３図は従来の３次元
測定装置を示す側面図、第４図は第３図のプロー
ブ近傍を拡大して示す側面図である。 ２１……プローブ、２７……レーザセンサ、３
１……被測定物、４１……副プローブ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 被測定物の表面に沿つてプローブを３次元
的に移動させ、このプローブの変位により前記被
測定物の３次元形状を測定する３次元測定装置に
おいて、前記プローブの進行方向に、このプロー
ブの進行方向に位置する被測定物の表面形状を、
前記プローブによる測定よりも低精度で測定する
測定器を配置し、この測定器からの信号に基づい
て前記プローブの移動速度を変化させることを特
徴とする３次元測定装置。 (2) 測定器は、レーザセンサである実用新案登
録請求の範囲第１項記載の３次元測定装置。 (3) 測定器は、副プローブである実用新案登録
請求の範囲第１項記載の３次元測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4098287U JPS63148818U (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4098287U JPS63148818U (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63148818U true JPS63148818U (ja) | 1988-09-30 |
Family
ID=30855562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4098287U Pending JPS63148818U (ja) | 1987-03-20 | 1987-03-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63148818U (ja) |
-
1987
- 1987-03-20 JP JP4098287U patent/JPS63148818U/ja active Pending