JPS63120112U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63120112U JPS63120112U JP1120787U JP1120787U JPS63120112U JP S63120112 U JPS63120112 U JP S63120112U JP 1120787 U JP1120787 U JP 1120787U JP 1120787 U JP1120787 U JP 1120787U JP S63120112 U JPS63120112 U JP S63120112U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- laser emitter
- optical system
- reflects
- divides
- Prior art date
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- Pending
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
図面は本考案の実施例の概念図を示す。
1…被測定物体、2…レーザー発光器、3…ラ
インセンサー、4…ハーフミラープリズム、A…
光学系。
インセンサー、4…ハーフミラープリズム、A…
光学系。
Claims (1)
- 長尺の被測定物体の表面に対し適宜の傾斜角に
向けられたレーザー発光器と、該レーザー発光器
と該被測定物体との間に設けられ、かつ、該レー
ザー発光器のビームを2分割するハーフミラープ
リズムと、これら2分割されたビームを該被測定
物体から反射して受光する2個のセンサーとから
なる光学系からなり、該光学系を該被測定物体の
全周において少なくとも2個以上配置した無接触
探針。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1120787U JPS63120112U (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1120787U JPS63120112U (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63120112U true JPS63120112U (ja) | 1988-08-03 |
Family
ID=30798210
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1120787U Pending JPS63120112U (ja) | 1987-01-28 | 1987-01-28 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63120112U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06194130A (ja) * | 1991-06-11 | 1994-07-15 | Hojo Tetsuya | Icパッケージの外観自動検査方法 |
-
1987
- 1987-01-28 JP JP1120787U patent/JPS63120112U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06194130A (ja) * | 1991-06-11 | 1994-07-15 | Hojo Tetsuya | Icパッケージの外観自動検査方法 |